非对称平面外加速度计制造技术

一种微机电(MEMS)加速度计，其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。对称轴线垂直于旋转轴线。检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分，所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】非对称平面外加速度计相关申请的交叉引用本申请要求2017年11月30日提交的美国申请No.15/828,304的优先权，其全部内容通过引用合并于此。
技术介绍
诸如智能电话、智能手表、平板电脑、汽车、空中无人机、电器、飞行器、运动辅助设备、以及游戏控制器的许多物品可以在它们的运行期间利用运动传感器。在许多应用中，可以独立地或一起分析各种类型的运动传感器，例如加速度计和陀螺仪，以便针对特定的应用确定各种各样的信息。例如，陀螺仪和加速度计可以被用于游戏应用(例如，智能电话或游戏控制器)中以捕获使用者的复杂运动，无人机和其它飞行器可以基于陀螺仪测量确定取向(例如，滚转、俯仰以及偏航)，并且车辆可以利用测量来确定方向(例如，用于航位推测法)以及安全性(例如，以识别打滑或翻滚状况)。诸如加速度计和陀螺仪的运动传感器可以被制造为使用半导体制造技术制造的微机电(MEMS)传感器。MEMS传感器可以包括可移动的检测质量块(proofmass)，其可响应诸如线性加速度(例如，对于MEMS加速度计)、角速度(例如，对于MEMS陀螺仪)、磁场的力以及许多其他力。可基于检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电(MEMS)加速度计，包括：/n一个或多个锚固件；/n位于微机电装置层内的检测质量块，包括多个毗邻部分，所述多个毗邻部分响应于沿着感测轴线的线性加速度而围绕旋转轴线共同旋转，其中，所述检测质量块的所述多个毗邻部分包括：/n关于对称轴线对称的对称部分，其中所述对称轴线垂直于所述旋转轴线；和/n关于所述对称轴线不对称的非对称部分；以及/n位于微机电装置层内的一个或多个弹簧，所述一个或多个弹簧将所述检测质量块联接到所述一个或多个锚固件，其中，所述一个或多个弹簧将所述检测质量块联接到所述一个或多个锚固件，使得所述检测质量块响应于沿着所述感测轴线的线性加速度而围绕所述旋转轴线旋转。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171130 US 15/828,3041.一种微机电(MEMS)加速度计，包括：
一个或多个锚固件；
位于微机电装置层内的检测质量块，包括多个毗邻部分，所述多个毗邻部分响应于沿着感测轴线的线性加速度而围绕旋转轴线共同旋转，其中，所述检测质量块的所述多个毗邻部分包括：
关于对称轴线对称的对称部分，其中所述对称轴线垂直于所述旋转轴线；和
关于所述对称轴线不对称的非对称部分；以及
位于微机电装置层内的一个或多个弹簧，所述一个或多个弹簧将所述检测质量块联接到所述一个或多个锚固件，其中，所述一个或多个弹簧将所述检测质量块联接到所述一个或多个锚固件，使得所述检测质量块响应于沿着所述感测轴线的线性加速度而围绕所述旋转轴线旋转。


2.根据权利要求1所述的微机电加速度计，其中，所述非对称部分不延伸穿过所述旋转轴线。


3.根据权利要求1所述的微机电加速度计，其中，围绕所述旋转轴线的旋转使所述检测质量块移出平面。


4.根据权利要求3所述的微机电加速度计，其中，所述对称部分响应于所述旋转而同时在所述微机电装置平面的上方和下方旋转，并且所述非对称部分在任何一个时间仅在所述微机电装置平面的上方或下方移动。


5.根据权利要求3所述的微机电加速度计，其中，所述检测质量块响应于所述微机电装置平面中的力而在所述微机电装置平面中经历旋转运动。


6.根据权利要求5所述的微机电加速度计，还包括多个缓冲挡块，其中所述多个缓冲挡块中的至少一个邻近所述非对称部分定位，以阻止所述微机电装置平面中的旋转运动。


7.根据权利要求6所述的微机电加速度计，其中，所述多个缓冲挡块中的至少一个响应于所述微机电装置平面中的旋转运动而以至少15度角与所述非对称部分接触。


8.根据权利要求1所述的微机电加速度计，其中，所述非对称部分的质量为所述对称部分的质量的至少20％。


9.根据权利要求1所述的微机电加速度计，其中，所述对称部分包括与所述一个或多个锚固件的至少三个侧面相邻的多个延伸部。


10.根据权利要求9所述的微机电加速度计，其中，所述非对称部分不与所述一个或多个锚固件的任何侧面相邻。


11.根据权利要求10所述的微机电加速度计，其中，所述多个延伸部的形状为基本上矩形的。


12.根据权利要求10所述的微机电加速度计，其中，所述非对称部分的形状为基本上矩形的。


13.根据权利要求1所述的微机电加速度计，还包括：
一个或多个第二锚固件；
位于微机电装置层内的第二检测质量块，所述第二检测质量块包括多个第二毗邻部分，所述多个第二毗邻部分响应于沿着感测轴线的线性加速度而围绕第二旋转轴线共同旋转，其中，所述第二检测质量块的所述多个第二毗邻部分包括：
关于第二对称轴线对称的第二对称部分，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·汤普森，H·乔哈里加勒，L·巴尔达萨雷，S·尼灿，K·威廉姆斯，
申请(专利权)人：应美盛股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US