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非对称平面外加速度计制造技术
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下载非对称平面外加速度计的技术资料
文档序号:24895404
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一种微机电(MEMS)加速度计,其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。对称轴线垂直于旋转轴线。检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分,所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部...
该专利属于应美盛股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应美盛股份有限公司授权不得商用。
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