【技术实现步骤摘要】
一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构
本专利技术涉及硅片加工领域,具体涉及一种单驱动两侧夹紧装置及整片机构。
技术介绍
硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是PN结。在现有技术中,硅片在前后或左右方向进行整片时,通常是通过两个气缸分别驱动前后或左右两个推板对硅片进行整片,使用的气缸的数量多,且同步控制两个气缸误差大,直接用气缸进行驱动,推板与硅片之间容易产生碰撞,会造成硅片的损坏。专利技 ...
【技术保护点】
1.一种单驱动两侧夹紧装置,其特征在于,所述的单驱动两侧夹紧装置包括升降板、安装在所述的升降板上的第二气缸、安装在所述的第二气缸上的能够在第二气缸的驱动下沿Y向移动的驱动板,所述的驱动板为楔形结构,驱动板的前后两侧具有一斜边,所述的驱动板的小头位于驱动板的伸出方向,所述的驱动板的大头位于驱动板缩回方向,所述的升降板上设有一沿X向延伸的滑轨、两个分别位于驱动板前后两侧的夹紧组件,所述的驱动板的前后两侧还分别设置有弹簧拉力机构,所述的弹簧拉力机构的一端固定于所述的升降板上,另一端固定在所述的夹紧组件上。/n
【技术特征摘要】
1.一种单驱动两侧夹紧装置,其特征在于,所述的单驱动两侧夹紧装置包括升降板、安装在所述的升降板上的第二气缸、安装在所述的第二气缸上的能够在第二气缸的驱动下沿Y向移动的驱动板,所述的驱动板为楔形结构,驱动板的前后两侧具有一斜边,所述的驱动板的小头位于驱动板的伸出方向,所述的驱动板的大头位于驱动板缩回方向,所述的升降板上设有一沿X向延伸的滑轨、两个分别位于驱动板前后两侧的夹紧组件,所述的驱动板的前后两侧还分别设置有弹簧拉力机构,所述的弹簧拉力机构的一端固定于所述的升降板上,另一端固定在所述的夹紧组件上。
2.如权利要求1所述的单驱动两侧夹紧装置,其特征在于,所述的夹紧组件包括设于能够沿滑轨滑动的滑块、设于滑块上的滑轮、设于滑块上的沿Y向设置的挡臂,所述的挡臂上设置有第一推板,两个夹紧组件的第一推板相对设置。
3.如权利要求2所述的单驱动两侧夹紧装置,其特征在于,所述的单驱动两侧夹紧装置具有夹紧位置和张开位置,
当所述的单驱动两侧夹紧装置处于夹紧位置时,两个滑轮分别位于驱动块的小头两侧,两个夹紧组件相对靠近,两个所述的弹簧拉力机构分别对两个夹紧组件施加一拉力,使夹紧组件从前后两侧夹紧硅片装载装置,对硅片装载装置上的硅片进行整片,
当所述的单驱动两侧夹紧装置处于张开位置时,所述的驱动板在第二气缸的驱动下沿Y向伸出,插入两个滑轮之间,两个滑轮分别沿驱动板的两个侧面滑动至相互分开,使两个夹紧组件处于张开位置,所述的第一推板与硅片装载装置分离,所述的弹簧拉力机构对夹紧组件施加一回复力,使夹紧组件具有一回到夹紧位置的趋势。
4.如权利要求2所述的单驱动两侧夹紧装置,其特征在于,所述的弹簧拉力机构包括固定在所述的升降板上的第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴廷斌,张学强,张建伟,罗银兵,
申请(专利权)人:罗博特科智能科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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