废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种废气处理装置，其包括：燃烧室，沿废气传输方向被划分为至少两个区域；燃气输送管路，包括至少两个支路，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气。本发明专利技术优点在于，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不能够在燃烧室的侧壁沉积，避免形成颗粒堆积，延长了燃烧室的清洗周期，提高废气处理装置的尾气处理能力，增加燃烧室的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
废气处理装置
本专利技术涉及废气处理领域，尤其涉及一种废气处理装置。
技术介绍
对于大多数半导体设备而言，以集成电路芯片作为一例，在制造集成电路芯片的过程中会使用很多反应气体和化学产品(chemical)，因此会产生很多工艺废气。人们对环境保护越来越重视，如何将工艺废气妥善处理，避免其污染环境成为工业生产中至关重要的一环。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种废气处理装置，其能够避免形成颗粒堆积，延长燃烧室的清洗周期，提高尾气处理能力，增加使用寿命。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种废气处理装置，其包括：燃烧室，沿废气传输方向被划分为至少两个区域；燃气输送管路，包括至少两个支路，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气。进一步，在所述支路上设置有压力调节装置，以调节所述支路的压力。进一步，所述燃气输送管路还包括混气腔，所述支路与所述混气腔连通，燃气及助燃气体在所述混气腔内形成混合气体，混合气体经所述支路输送至所述燃烧室。进一步，所述燃烧室侧壁具有衬垫，所述衬垫为多孔结构，所述燃气通过所述衬垫的孔输送至所述燃烧室内。进一步，所述燃烧室具有外壳，所述衬垫设置在所述外壳的内侧壁，所述燃气输送管路的各个支路的燃气出口设置在所述外壳上。进一步，所述废气处理装置包括两个区域，分别为第一区域及第二区域，在所述第一区域，所述燃烧室具有一第一内径，在所述第二区域，所述燃烧室具有一第二内径，所述第二内径大于所述第一内径。进一步，所述第一区域与所述第二区域的分界线设置为，在假设所述第二区域的所述第二内径与所述第一区域的所述第一内径相等的情况下，废气燃烧副产物在所述燃烧室侧壁附着的起始线。进一步，所述第二内径为所述第一内径的1.4～1.6倍。进一步，所述第二区域包括依次设置的过渡段及平稳段，所述过渡段的内径由第一内径逐渐增大至第二内径，所述平稳段的内径为所述第二内径。进一步，与所述第二区域连通的支路的压力大于与所述第一区域连通的支路的压力。进一步，所述第一区域的高度大于或者等于所述第二区域的高度。本专利技术废气处理装置将所述燃烧室分割为至少两个区域，每个区域均具有燃气输入，能够增大该区域输入的燃气压力，利用燃气的压力使得废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不能够在燃烧室的侧壁沉积，从而避免形成颗粒堆积，延长了燃烧室的清洗周期，例如，燃烧室的清洗周期可由三个月延长至6个月；同时，没有颗粒堆积堵塞燃气入口，增大了燃烧室内的燃气的输入量，使废气燃烧更充分，提高废气处理装置的尾气处理能力，例如，尾气处理能力能够提升30％～50％；另外，也能够增加燃烧室的使用寿命，例如，燃烧室的使用寿命可由一年延长至3到5年。附图说明图1是现有的废气处理装置的燃烧室的结构示意图；图2是本专利技术废气处理装置的第一具体实施方式的结构示意图；图3是本专利技术废气处理装置的第二具体实施方式的结构示意图；图4是本专利技术废气处理装置的第三具体实施方式的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术提供的废气处理装置的具体实施方式做详细说明。在现有的废气处理装置中，当废气在燃烧室内燃烧时，会有颗粒积聚在燃烧室的侧壁，导致侧壁被堵塞，减少进入燃烧室的燃气的体积，造成废气燃烧不充分，燃烧室内的压力升高，影响废气处理装置的性能。图1是现有的废气处理装置的燃烧室的结构示意图，请参阅图1，在燃烧室10内，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒会积聚在燃烧室10的侧壁，在燃烧室10的侧壁形成堆积11，该堆积11会阻碍燃烧气体进入燃烧室，减少进入燃烧室的燃气的体积，同时也会影响进入燃烧室的废气的流动，使废气燃烧不充分。经研究，专利技术人发现，燃气仅经一个燃气输送管路100输送至燃烧室10侧壁，在燃气输送管路100对应的区域，燃气的压力较大，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不会沉积，而在远离燃气输送管路的区域，燃气的压力较小，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒会沉积而形成所述堆积11。鉴于上述原因，本专利技术提供一种废气处理装置，其能够避免废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒在燃烧室10侧壁的积聚，从而使废气能够充分燃烧，提高废气处理装置的尾气处理能力。图2是本专利技术废气处理装置的第一具体实施方式的结构示意图。请参阅图2，本专利技术废气处理装置包括燃烧室10及燃气输送管路20。所述燃烧室10具有废气入口12，待处理的废气自所述废气入口12进入所述燃烧室10内。所述燃烧室10具有燃烧产物出口13，所述燃烧产物出口13可与处理室连通，所述燃烧产物自所述燃烧产物出口13排入至所述处理室，以进行后续处理。燃烧产物可在处理室内溶解在溶剂中，形成溶液，以便于后续处理。沿所述废气的传输方向(如废气进入至燃烧产物排出的方向)，所述燃烧室10至少被划分为两个区域。可以理解的是，所述区域仅用于区分所述燃烧室10的不同位置，区域与区域之间可不存在实质上的间隔。具体地说，在本具体实施方式中，沿所述废气的传输方向，所述燃烧室10被划分为第一区域10A及第二区域10B，所述废气入口12与所述第一区域10A对应，所述燃烧产物出口13与所述第二区域10B对应。所述燃气输送管路20用于向所述燃烧室10输送燃气。所述燃气输送管路20包括至少两个支路，其中，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气，也就是说，每一个所述区域至少与一个所述支路连通，以使得每一个区域均有燃气通入。具体地说，在本具体实施方式中，所述燃气输送管路20包括两个支路，分别为第一支路201及第二支路202。所述第一支路201与所述第一区域10A连通，并能够向所述第一区域10A输送燃气，所述第二支路202与所述第二区域10B连通，并能够向所述第二区域10B输送燃气。可以理解的是，在本专利技术其他具体实施方式中，也可为两个及以上的支路与所述区域连通，例如，两个支路与所述第一区域10A连通，向所述第一区域10A输送燃气，三个支路与所述第二区域10B连通，向所述第二区域10B输送燃气。本专利技术废气处理装置将所述燃烧室10分割为至少两个区域，每个区域均具有燃气输入，增大了该区域输入的燃气压力，利用燃气的压力使得废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不能够在燃烧室10的侧壁沉积，从而避免形成颗粒堆积，增大了燃气的输入量，使废气燃烧更充分，提高废气处理装置的尾气处理能力，且能够增加燃烧室的使用寿命。进一步，所述燃烧室10侧壁具有衬垫14，所述衬垫14为多孔结构，所述燃气通过所述衬垫14的孔输送至所述燃烧室10内。所述衬垫14可为多孔陶瓷结构。所述燃气经所述衬垫14的孔均匀输送至所述燃烧室10内，进一步使废气燃烧更充分。同时，所述燃气被所述衬底14的孔分散为多股燃气，其能够大面积冲刷衬垫14朝向燃烧室10的侧壁区域，防止废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒在所述衬垫14侧壁沉积。进一步，所述燃烧室10具有外壳110，所述衬垫14设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：/n燃烧室，沿废气传输方向被划分为至少两个区域；/n燃气输送管路，包括至少两个支路，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气。/n

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：
燃烧室，沿废气传输方向被划分为至少两个区域；
燃气输送管路，包括至少两个支路，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气。


2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，在所述支路上设置有压力调节装置，以调节所述支路的压力。


3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述燃气输送管路还包括混气腔，所述支路与所述混气腔连通，燃气及助燃气体在所述混气腔内形成混合气体，混合气体经所述支路输送至所述燃烧室。


4.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述燃烧室侧壁具有衬垫，所述衬垫为多孔结构，所述燃气通过所述衬垫的孔输送至所述燃烧室内。


5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，所述燃烧室具有外壳，所述衬垫设置在所述外壳的内侧壁，所述燃气输送管路的各个支路的燃气出口设置在所述外壳上。


6.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，陈涛，程媛，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42