【技术实现步骤摘要】
一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液
本专利技术属于金属蚀刻领域，特别涉及一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液。
技术介绍
金属蚀刻也称光化学金属蚀刻，通常通过曝光制版、显影后，将要金属蚀刻区域的保护膜去除，在金属蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成需要成型的效果。该工艺目前已用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密金属蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，金属蚀刻更是不可或缺的技术。化学蚀刻就是将需要蚀刻的金属制件浸泡在由各种化学成分组成的蚀刻溶液中，经过一定时间的反应后，需要蚀刻部分的金属慢慢溶解，最终达到所需要的蚀刻深度，使金属制件表面形成需要成型的效果。化学蚀刻的过程实际上是金属在化学溶液中的自溶解，也就是腐蚀过程。通过大量的工艺试验和生产实践，总结形成了蚀刻液成份、浓度、温度和工件传输速度的多参数动态综合控制技术，这些参数是动态变化的，其设定与调整与产品材质和厚薄、产品大小和形式、感光胶膜材质和厚薄有关，与一次配置的蚀刻液蚀刻的产品总量有关，对蚀刻质量、效率和侧蚀量有直接影响。常用的化学蚀刻剂有氢氟酸、过氧...
【技术保护点】
1.一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液，其特征在于：由三氯化铁、氯化铜、硫化氢和水组成。/n
【技术特征摘要】
1.一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液，其特征在于：由三氯化铁、氯化铜、硫化氢和水组成。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述三氯化铁浓度为30％～35％。
3.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹国钦，任忠平，
申请(专利权)人：宁波福至新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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