下载一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液的技术资料

文档序号:24882671

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本发明涉及一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液,由三氯化铁、氯化铜、硫化氢和水组成。本发明可明显降低三氯化铁蚀刻剂的蚀刻温度,加快整体蚀刻速度,进而大大提高产品的蚀刻质量,侧蚀质量可达到0.01mm以下,具有良好的应用前景。...
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