一种可无线通讯植入式压力传感器的结构及制备方法技术

一种可无线通讯植入式压力传感器的结构，包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材，L‑C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中，形成可感应绝对压力变化的薄膜层，在空腔内加入吸气层。一种可无线通讯植入式压力传感器的结构的制备方法，电感作为天线来感知外部的无线信号，一个外部的读取器是用来测量L‑C振荡频率，从而测量压力，对一片玻璃晶圆进行了减薄，形成可感应绝对压力变化的薄膜层。本发明专利技术的优点：芯片从晶圆上切割下来之后，可以在边缘预留的位置做钛引线。压力传感器可以在医学中得到应用，测得心脏、头部、脊髓和膀胱中的血液、尿、脊液的压力值，也可用于工业腔室的压力值测量。

【技术实现步骤摘要】
一种可无线通讯植入式压力传感器的结构及制备方法
本专利技术涉及植入式压力传感器领域，特别涉及了一种可无线通讯植入式压力传感器的结构及制备方法。
技术介绍
植入式微型传感器能代替昂贵的检查方法，并借助于手中仪器在短短几秒钟内获得人的健康状况，目前，传感器的精准性和经济性是殷切解决的两大难题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服上述问题，特提供了一种可无线通讯植入式压力传感器的结构及制备方法。本专利技术提供了一种可无线通讯植入式压力传感器的结构，其特征在于：所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构，包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材，其中一片晶圆淀积多晶硅或钛后可用于阳极键合的导电衬底，和另一片玻璃晶圆键合，形成空腔，L-C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中；对一片玻璃晶圆进行减薄，形成可感应绝对压力变化的薄膜层，在空腔内加入吸气层。所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构，分为单腔，双腔压力传感器；其中单、双腔压力传感器又各分为单面线圈结构和双面线圈结构两种类型本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可无线通讯植入式压力传感器的结构，其特征在于：所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构，包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材，其中一片晶圆淀积多晶硅或钛后可用于阳极键合的导电衬底，和另一片玻璃晶圆键合，形成空腔，L-C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中；对一片玻璃晶圆进行减薄，形成可感应绝对压力变化的薄膜层，在空腔内加入吸气层。/n

【技术特征摘要】
1.一种可无线通讯植入式压力传感器的结构，其特征在于：所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构，包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材，其中一片晶圆淀积多晶硅或钛后可用于阳极键合的导电衬底，和另一片玻璃晶圆键合，形成空腔，L-C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中；对一片玻璃晶圆进行减薄，形成可感应绝对压力变化的薄膜层，在空腔内加入吸气层。


2.按照权利要求1所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构，其特征在于：所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构，分为单腔，双腔压力传感器；其中单、双腔压力传感器又各分为单面线圈结构和双面线圈结构两种类型。


3.按照权利要求1所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构，其特征在于：所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构中，采用玻璃电容绝压传感器，其具体结构，包括玻璃衬底晶圆(1)，电容下极板(2)，下极板线圈(3)，键合界面(4)，上极板线圈(5)，电容上极板(6)，玻璃盖板晶圆(7)，金属连接线接触孔(8)，金属接触区(9)，金属线(10)，吸气剂(11)，真空腔室一(12)，真空腔室二(13)；
玻璃衬底晶圆(1)带有凹槽，作为真空腔(12)的主要材料层，电容下极板(2)作为压力传感器敏感部分，下极板线圈(3)作为电感线圈，组成电感器，与电容器组成振荡电路，作为压力传感器的天线；键合界面(4)是两片玻璃晶圆阳极键合的界面部分，上极板线圈(5)作为压力传感器敏感部分；电容上极板(6)作为电容的上极板，作为压力传感器敏感部分；玻璃盖板晶圆(7)作为盖板，与玻璃衬底晶圆(1)形成真空腔(12)；金属连接线接触孔(8)是在键合后的玻璃晶圆叠层上打的孔，作为金属线(12)的连接孔；金属接触区(9)是在玻璃衬底晶圆(1)和玻璃盖板晶圆(7)上沉积的金属薄膜；玻璃衬底晶圆(1)和玻璃盖板晶圆(7)上的金属薄膜互相压在一起，形成金属接触区(9)；金属线(10)与金属连接线接触孔(8)连接，吸气剂(11)为薄膜状；真空腔室一(12)为玻璃衬底晶圆(1)和玻璃盖板晶圆(7)形成的真空腔室，作为电容器上下极板间隙，和绝压传感器真空腔；真空腔室二(13)为玻璃衬底晶圆(1)和玻璃盖板晶圆(7)形成的真空腔室，作为电容器上下极板间隙，和绝压传感器真空腔。


4.一种如权利要求1所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构的制备方法，其特征在于：所述的可无线通讯植入式压力传感器的结构的制备方法，具体为，应用两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材。其中一片晶圆淀积多晶硅或钛后可用于阳极键合的导电衬底，和另一片玻璃晶圆键合，形成空腔。L-C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中；两个玻璃晶圆中的金属部分会在键合过程中被压，从而形成欧姆接触，使得两个晶圆上的电路形成电学连接。电感作为天线来感知外部的无线信号，一个外部的读取器是用来测量L-C振荡频率，从而测量压力，对一片玻璃晶圆进行了减薄，从而形成可感应绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄向向，杨敏，道格拉斯·雷·斯巴克斯，关健，陈琳，
申请(专利权)人：罕王微电子辽宁有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21