下载一种可无线通讯植入式压力传感器的结构及制备方法的技术资料

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一种可无线通讯植入式压力传感器的结构,包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材,L‑C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中,形成可感应绝对压力变化的薄膜层,在空腔内加入吸气层。一种可无线通讯植入式压力...
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