【技术实现步骤摘要】
二氧化钛基气体传感器
本技术涉及一种二氧化钛基气体传感器，属于传感器
技术介绍
气敏材料的电阻主要由氧化物间的晶界电阻以及电极和氧化物之间的接触电阻这两种电阻构成，晶界电阻在总电阻当中的比重会随着电极间距的缩小而降低，因此可以通过降低两个电极间的间距来大幅提升元件的灵敏度，所以使用叉指电极结构的气敏元件可以进一步提升元件的灵敏度。通常气体传感器用叉指电极的制备需要借助单独的工艺方法，包括磁控溅射法、丝网印刷技术等，这些方法制作成本高，且面临着电极与气敏材料接触的可靠性等问题。所以，针对以上技术问题，有必要提出一种具有优良检测性能的二氧化钛基半导体气体传感器。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种二氧化钛基气体传感器，其气敏层具有大比表面积，且叉指电极与气敏层充分接触，具有优良综合检测性能。为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：一种二氧化钛基气体传感器，包括依次设置的二氧化钛气敏层、叉指电极层、绝缘层以及加热电极。进一步地，所述叉指电极层包括基板和设置在所述基板上的叉指电极...
【技术保护点】
1.一种二氧化钛基气体传感器，其特征在于，包括依次设置的二氧化钛气敏层、叉指电极层、绝缘层以及加热电极，所述叉指电极层包括基板和设置在所述基板上的叉指电极，所述叉指电极为梳状结构，所述叉指电极和所述二氧化钛气敏层贴合接触。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种二氧化钛基气体传感器，其特征在于，包括依次设置的二氧化钛气敏层、叉指电极层、绝缘层以及加热电极，所述叉指电极层包括基板和设置在所述基板上的叉指电极，所述叉指电极为梳状结构，所述叉指电极和所述二氧化钛气敏层贴合接触。
2.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述叉指电极包括交错对称分布的第一电极和第二电极。
3.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极之间间隔有二氧化钛。
4.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述叉指电极层的厚度为10～50μm。
技术研发人员：潘明强，盛军，刘吉柱，王阳俊，涂明会，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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