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二氧化钛基气体传感器制造技术
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下载二氧化钛基气体传感器的技术资料
文档序号:24869337
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本实用新型涉及一种二氧化钛基气体传感器,其包括依次设置的二氧化钛气敏层、叉指电极层、绝缘层以及加热电极。该二氧化钛基气体传感器采用二氧化钛作为气敏层,具有多孔洞,并在其上设置叉指电极层,其气敏层具有大比表面积,为气体提供更多的吸附位点和反应...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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