一种多检测电极的悬臂梁气体传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，包括悬臂梁，在所述悬臂梁上集成多个检测电极，多个检测电极分布在悬臂梁的不同位置，所述悬臂梁的不同位置温度不同。本发明专利技术多检测电极的气体传感器，多对检测电极分别分布在悬臂梁的不同位置，由于悬臂梁温度分布呈梯度变化，因此每一对检测电极所在区域的温度不同，即使使用同样的气敏材料，在气体来临时，每一对检测电极上获得的气体响应不同，可用于一定程度上的气体识别。

【技术实现步骤摘要】
一种多检测电极的悬臂梁气体传感器
本专利技术涉及MEMS(微机电系统)气体传感器
，具体为一种多检测电极的悬臂梁气体传感器。
技术介绍
基于金属氧化物半导体(MOS)材料的MEMS气体传感器以其低功耗、快响应、小尺寸、低成本、易与CMOS电路结合以及广泛的检测范围等优势，在物联网和气味智能识别上有着广阔的前景。传统的MOS类MEMS气体传感器主要以基于封闭膜式和悬浮膜式的研究居多，前者具有较高的机械强度，如公开号为CN105987935A提供的MEMS气体传感器及其制作方法，这种封闭膜式的气体传感器通常的功耗在50-100毫瓦，后者具有较低的功耗和较快的热响应速度，直流功耗可低至20毫瓦，热响应速度可达数十毫秒，如专利CN205449863U提供的一种具有4支撑悬臂梁4层结构的电阻式气体传感器和专利CN205449859U提供的一种具有两支撑悬臂梁4层结构的电阻式气体传感器。以上类型的气体传感器通常包括自下而上的硅衬底、支撑膜、加热器、隔离膜、叉指电极和敏感材料层。为了进一步降低功耗、提升热响应速度和提高集成度，专利CN2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，其特征在于：包括悬臂梁，在所述悬臂梁上集成多个检测电极，所述多个检测电极分布在悬臂梁的不同位置，所述悬臂梁的不同位置温度不同。/n

【技术特征摘要】
1.一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，其特征在于：包括悬臂梁，在所述悬臂梁上集成多个检测电极，所述多个检测电极分布在悬臂梁的不同位置，所述悬臂梁的不同位置温度不同。


2.根据权利要求1所述的一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，其特征在于：所述多个检测电极检测相同敏感材料或不同敏感材料。


3.根据权利要求1所述的一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，其特征在于：所述检测电极包括正端电极和负端电极，正端电极与负端电极之间具有间隙，形成检测点位，敏感材料涂覆在检测点位上，将正端电极与负端电极导通。


4.根据权利要求2所述的一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，其特征在于：所述负端电极为公共端，与多个正端电极组成多个电极对。


5.根据权利要求3所述的一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，其特征在于：所述正端电极通过正端导线与正端引脚电性连接，负端电极通过负端导线与负端引脚电性连接；所述正端引脚和负端引脚设置在悬臂梁以外的区域上。


6.根据权利要求5所述的一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，其特征在于：所述悬臂梁为长条形结构；多根所述正端导线和负端导线沿悬臂梁宽度方向间隔布设...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈栋梁，谢东成，荣钱，许磊，
申请(专利权)人：合肥微纳传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34