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本发明公开了一种多检测电极的悬臂梁气体传感器，包括悬臂梁，在所述悬臂梁上集成多个检测电极，多个检测电极分布在悬臂梁的不同位置，所述悬臂梁的不同位置温度不同。本发明多检测电极的气体传感器，多对检测电极分别分布在悬臂梁的不同位置，由于悬臂梁温度...
该专利属于合肥微纳传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥微纳传感技术有限公司授权不得商用。

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