一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体晶盘片量测设备技术领域，具体为一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体，量测设备主体的内部设有与外界相连通的空腔，空腔的底壁上设有量测平台，量测平台上紧密焊接有弧形块，弧形块内设有与外界相连通的弧形槽；空腔内还设有轨道输送装置，轨道输送装置包括紧密焊接在空腔一侧腔壁上的滑轨，滑轨的一端部设有微型马达，微型马达的输出轴末端紧密焊接有丝杆，底板上设有液压缸。本实用新型专利技术省时省力，便于将半导体晶盘片输送至量测平台上，给使用者带来便利。

【技术实现步骤摘要】
一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元
本技术涉及半导体晶盘片量测设备
，具体为一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元。
技术介绍
随着科技的不断发展，半导体的应用也越来越广泛，半导体晶盘片也是半导体的一种，半导体晶盘片的厚度较薄且呈圆饼状，半导体晶盘片在生产加工过程中，需要进行量测处理，在进行量测处理的时候需要用到半导体晶盘片量测单元，而一般的半导体晶盘片量测单元上未设有输送轨道，在使用时，不便于将半导体晶盘片输送至量测平台上，进而会给工作人员带来一定的不便。鉴于此，我们提出一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，以解决上述
技术介绍
中提出的一般的半导体晶盘片量测单元上未设有输送轨道，在使用时，不便于将半导体晶盘片输送至量测平台上，进而会给工作人员带来一定不便的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体，所述量测设备主体的内部设有与外界相连通的空腔，所述空腔的底壁上设有量测平台，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体(1)，其特征在于：所述量测设备主体(1)的内部设有与外界相连通的空腔(10)，所述空腔(10)的底壁上设有量测平台(2)，所述量测平台(2)上紧密焊接有弧形块(20)，所述弧形块(20)内设有与外界相连通的弧形槽(21)；所述空腔(10)内还设有轨道输送装置(3)，所述轨道输送装置(3)包括紧密焊接在所述空腔(10)一侧腔壁上的滑轨(30)，所述滑轨(30)内设有沿着滑轨(30)长度方向设置且与外界相连通的滑槽(31)，所述滑槽(31)的截面呈T字形，所述滑轨(30)的一端部设有微型马达(32)，所述微型马达(32)的输出轴末端紧密焊...

【技术特征摘要】
1.一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体(1)，其特征在于：所述量测设备主体(1)的内部设有与外界相连通的空腔(10)，所述空腔(10)的底壁上设有量测平台(2)，所述量测平台(2)上紧密焊接有弧形块(20)，所述弧形块(20)内设有与外界相连通的弧形槽(21)；所述空腔(10)内还设有轨道输送装置(3)，所述轨道输送装置(3)包括紧密焊接在所述空腔(10)一侧腔壁上的滑轨(30)，所述滑轨(30)内设有沿着滑轨(30)长度方向设置且与外界相连通的滑槽(31)，所述滑槽(31)的截面呈T字形，所述滑轨(30)的一端部设有微型马达(32)，所述微型马达(32)的输出轴末端紧密焊接有丝杆(33)，所述丝杆(33)位于所述滑槽(31)内，所述滑槽(31)内设有滑块(34)，所述滑块(34)的尺寸与所述滑槽(31)的尺寸相适配，所述滑块(34)内设有与外界相连通的螺纹孔(341)，所述丝杆(33)穿过所述螺纹孔(341)并与所述螺纹孔(341)之间螺纹连接，所述滑块(34)上紧密焊接有呈水平状设置的底板(35)，所述底板(35)上设有液压缸(36)，所述液压缸(36)的伸缩轴末端紧密焊...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫文军，张勇，杜良辉，
申请(专利权)人：江苏壹度科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32