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本实用新型涉及半导体晶盘片量测设备技术领域，具体为一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体，量测设备主体的内部设有与外界相连通的空腔，空腔的底壁上设有量测平台，量测平台上紧密焊接有弧形块，弧形块内设有与外界相连通的弧形槽；空腔...
该专利属于江苏壹度科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏壹度科技股份有限公司授权不得商用。

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