一种真空气压调节装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域。且公开了一种真空气压调节装置，包括外腔室，所述外腔室内部设置有内腔室，且所述内腔室与所述外腔室固定连接，所述内腔室底端设置有有限联通管，且所述有限联通管与所述内腔室固定连接。该一种真空气压调节装置，通过有限联通管，有限联通管为有底管状结构，和内腔室直接相连，底部部分镂空，镂空部分和外腔室相连，盖板为圆形薄板，可盖在有限联通管的镂空部分，且可以自由上下移动，盖板下落将有限联通管的镂空部分盖住，内外腔隔绝(或有微小泄漏)，盖板状态和内腔室和外腔室压差，有限联通管镂空面积及盖板重量有关，当压差较大时，推动盖板上升，压差较小时盖板下落，可以实现内外压差恒定，而不随腔室压力变化。

【技术实现步骤摘要】
一种真空气压调节装置
本专利技术涉及半导体制造
，具体为一种真空气压调节装置。
技术介绍
气压是作用在单位面积上的大气压力，即等于单位面积上向上延伸到大气上界的垂直空气柱的重量，著名的马德堡半球实验证明了它的存在，气压的国际制单位是帕斯卡，简称帕，符号是Pa，从分子动理论可知，气体的压强是大量分子频繁地碰撞容器壁而产生的，单个分子对容器壁的碰撞时间极短，作用是不连续的，但大量分子频繁地碰撞器壁，对器壁的作用力是持续的、均匀的，这个压力与器壁面积的比值就是压强大小。目前，现有的气压调节装置是通过设置两个有限联通管，两个有限联通管之间是通过调节阀进行开启和关闭的，采用调控阀时时反馈调节的功能，可实现内外压差不随腔室压力波动的效果，但结构和控制方式都相对复杂，且气体扩散速度增加不均匀性，导致空气中的杂质对产品污染，但腔室压力有波动时，无法实现内外压差的恒定，因此需要对该气压调节装置进行改进。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种真空气压调节装置，具备现内外压差不随腔室压力波动和可通过更换盖板调节和精本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空气压调节装置，包括外腔室(6)，其特征在于：所述外腔室(6)内部设置有内腔室(3)，且所述内腔室(3)与所述外腔室(6)固定连接，所述内腔室(3)底端设置有有限联通管(2)，且所述有限联通管(2)与所述内腔室(3)固定连接，所述有限联通管(2)内部设置有盖板(1)，且所述盖板(1)与所述有限联通管(2)滑动连接，所述外腔室(6)一端设置有外腔室进气口(5)，且所述外腔室进气口(5)与所述外腔室(6)固定连接，所述内腔室(3)一端设置有内腔室进气口(4)，且所述内腔室进气口(4)与所述内腔室(3)固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空气压调节装置，包括外腔室(6)，其特征在于：所述外腔室(6)内部设置有内腔室(3)，且所述内腔室(3)与所述外腔室(6)固定连接，所述内腔室(3)底端设置有有限联通管(2)，且所述有限联通管(2)与所述内腔室(3)固定连接，所述有限联通管(2)内部设置有盖板(1)，且所述盖板(1)与所述有限联通管(2)滑动连接，所述外腔室(6)一端设置有外腔室进气口(5)，且所述外腔室进气口(5)与所述外腔室(6)固定连接，所述内腔室(3)一端设置有内腔室进气口(4)，且所述内腔室进气口(4)与所述内腔室(3)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种真空气压调节装置，其特征在于：所述有限联通管(2)为有底管状结构，和所述内腔室(3)直接相连，所述有限联通管(2)底部部分镂空，镂空部分和所述外腔室(...

【专利技术属性】
技术研发人员：宣荣卫，吕俊，
申请(专利权)人：艾华无锡半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32