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本发明涉及半导体制造技术领域。且公开了一种真空气压调节装置，包括外腔室，所述外腔室内部设置有内腔室，且所述内腔室与所述外腔室固定连接，所述内腔室底端设置有有限联通管，且所述有限联通管与所述内腔室固定连接。该一种真空气压调节装置，通过有限联通...
该专利属于艾华(无锡)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾华(无锡)半导体科技有限公司授权不得商用。

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