一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，属于晶硅加工设备技术领域，包括粗磨主轴机构和精磨主轴机构，所述粗磨主轴机构包括粗磨头组件和与粗磨头组件连接的粗磨主轴组件，所述精磨主轴机构包括精磨头组件和与精磨头组件连接的精磨主轴组件，精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构中并与所述驱动组件相连接，用于对晶硅进行粗磨和精磨，可在晶硅的同一位置进行粗磨及精磨加工，精磨加工余量小，效率大大提高，具有广阔的市场前景。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴
本技术属于晶硅加工设备
，具体地说涉及一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴。
技术介绍
晶硅在切片工序之前，需要对切方后的单晶硅棒，进行磨面抛光倒角，通常磨头主轴单元上均安装一个砂轮(粗磨砂轮或精磨砂轮)，势必导致硅棒的粗磨及精磨不在一个位置上，由于加工位置的变化，导致精磨硅棒时需要更大的精磨余量才可以保证工件的加工，怎样能够减少磨削余量更加高效节能的对晶硅进行磨削是我们需要解决的问题。
技术实现思路
针对现有技术的种种不足，现提供一种精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构内的磨削主轴。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，包括粗磨主轴机构和精磨主轴机构，所述粗磨主轴机构包括粗磨头组件和与粗磨头组件连接的粗磨主轴组件，所述精磨主轴机构包括精磨头组件和与精磨头组件连接的精磨主轴组件，精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构中并与驱动组件相连接，用于对晶硅进行粗磨和精磨。进一步，所述粗磨主轴组件包括粗磨主轴，所述精磨主轴组件包括精磨主轴和偏心轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，其特征在于，包括粗磨主轴机构和精磨主轴机构，所述粗磨主轴机构包括粗磨头组件(1)和与粗磨头组件(1)连接的粗磨主轴组件(2)，所述精磨主轴机构包括精磨头组件(3)和与精磨头组件(3)连接的精磨主轴组件(4)，精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构中并与驱动组件(5)相连接，用于对晶硅进行粗磨和精磨。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，其特征在于，包括粗磨主轴机构和精磨主轴机构，所述粗磨主轴机构包括粗磨头组件(1)和与粗磨头组件(1)连接的粗磨主轴组件(2)，所述精磨主轴机构包括精磨头组件(3)和与精磨头组件(3)连接的精磨主轴组件(4)，精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构中并与驱动组件(5)相连接，用于对晶硅进行粗磨和精磨。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，其特征在于，所述粗磨主轴组件(2)包括粗磨主轴(201)，所述精磨主轴组件(4)包括精磨主轴(401)和偏心轴(402)，所述精磨主轴(401)套设于粗磨主轴(201)内，并与粗磨主轴(201)同轴转动，所述粗磨主轴(201)的末端设置有皮带轮(202)，所述精磨主轴(401)外套设有主轴压缩弹簧，且其与粗磨主轴(201)固连，所述偏心轴(402)沿着与粗磨主轴(201)和精磨主轴(401)相垂直的方向设置。


3.根据权利要求2所述的一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，其特征在于，所述粗磨主轴(201)上设置有容纳主轴压缩弹簧(403)的弹簧固定槽(404)，所述主轴压缩弹簧(403)的一端与弹簧固定槽(404)相抵，其另一端与精磨主轴(401)固连。


4.根据权利要求3所述的一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，其特征在于，所述精磨主轴(401)的末端设置有推力轴承(405)...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭世锋，徐公志，王永华，尹美玲，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37