【技术实现步骤摘要】
基于激光测距和电接触感知的加工间隙给定方法及系统
本专利技术涉及微细特种加工领域,尤其涉及基于激光测距和电接触感知的加工间隙给定方法及系统。
技术介绍
放电辅助化学加工(SparkAssistedChemicalEngraving,SACE)可实现玻璃、石英、陶瓷等多种绝缘材料加工,其蚀除机理是在工具电极(阴极)上电解产生氢气,聚集形成气膜作为绝缘介质隔离工具电极和电解液。当气膜两端电压超过临界电压时,氢气膜被击穿产生放电现象,伴随产生的高温高压导致物理作用和化学作用实现工件材料的去除。在放电辅助化学加工中,工具电极与工件之间的加工间隙对加工稳定性、蚀除效率具有显著影响。为实现高精度连续地放辅助化学扫描加工,维持合理的加工间隙是十分必要的,需要在加工前给定初始加工间隙。对于导电材料工件可直接通过电接触感知法实现给定初始加工间隙,精度高且操作简单。其基本原理:工具电极和导电工件分别接电源正负极;工具电极在数控软件控制下按照预定速度、路线进给,当工具电极与工件表面接触的瞬间产生短路电信号,计算机检测到这个信号后记录当前工 ...
【技术保护点】
1.基于激光测距和电接触感知的加工间隙给定系统,其特征在于:包括激光位移传感器(1)、工具电极(2)、对准标准块(4)及电接触反馈系统(5),所述激光传感器(1)固接于带有工具电极(2)的Z轴上;所述电接触反馈系统(5)由控制系统(501)及电源(502)构成,所述电源(502)的正极与工具电极(2)电连接,所述电源(502)的负极与对准标准块(4)电连接。/n
【技术特征摘要】
1.基于激光测距和电接触感知的加工间隙给定系统,其特征在于:包括激光位移传感器(1)、工具电极(2)、对准标准块(4)及电接触反馈系统(5),所述激光传感器(1)固接于带有工具电极(2)的Z轴上;所述电接触反馈系统(5)由控制系统(501)及电源(502)构成,所述电源(502)的正极与工具电极(2)电连接,所述电源(502)的负极与对准标准块(4)电连接。
2.利用利要求1所述系统进行基于激光测距和电接触感知的加工间隙给定的方法,其特征在于包括以下步骤:
第一步:在带有工具电极的Z轴安装激光位移传感器;
第二步:标定工具电极和激光测距传感器的相对位置;
第三步:通过激光测距传感器精确定位绝缘工件表面并移动工具电极使其对准绝缘工件表面;
第四步:回退工具电极至给定初始加工间隙。
3.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员:佟浩,普玉彬,杨子豪,李勇,李宝泉,
申请(专利权)人:清华大学无锡应用技术研究院,无锡微研精微机械技术有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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