炉设备及炉设备的干燥处理方法技术

一种炉设备，其划分炉（Ａ）内外的由侧壁部（１）、顶壁部（２）及炉底面壁部（３）构成的炉壁和划分炉内区域内外的隔壁由壁材（５）构成，该壁材（５）具有：面向炉（Ａ）内和炉内区域内的内表面板部（５ａ）及面向该炉（Ａ）外和该炉内区域外的外表面板部（５ｂ），且该壁材（５）内部收容有绝热材（６），在壁材的内表面板部形成有能够封口的通气通路（７），并且在壁材的外表面板部形成有能够封口的吸气通路（８），在吸气通路上连接有吸取壁材内气氛的吸取机构（９）。从而，提供在通过干燥处理从绝热材除去污染物质而维持炉内气氛洁净时，能够废除在干燥处理后将炉内再洁净化的作业，并且与炉内外的温度差无关，通过短期的干燥处理，能够有效地除去从绝热材产生的污染物质的炉设备及炉设备的干燥处理方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在通过干燥处理(seasoning)从绝热材除去污染物质而维持炉内气氛洁净时，在干燥处理后能够废除将炉内再洁净化的作业，并且与炉内外的温度差无关，通过短期的干燥处理，能够有效地除去从绝热材产生的污染物质的。
技术介绍
在热处理炉等各种炉设备中，在将炉的内部从外部绝热，或将为了温度管理等而把炉内划分形成的区域从其他区域绝热的情况下，将炉壁或划分炉内的隔壁做成绝热结构。例如，在专利文献1中，在封接处理等离子显示器面板等的中空平板的连续式热处理炉配备的排气推车(cart)中，具备堵塞炉底面开口部的同时，进行绝热的绝热结构。以往，这种炉设备的绝热结构中，将炉壁或构成隔壁的壁材形成为中空结构，在该中空结构的壁材的内部设置绝热材。专利文献1特开2002-373586号公报然而，通常的绝热材一加热，则形成该绝热材的、或含在该绝热材中的各种物质气化而发散到周围。例如，上述的制造等离子显示器面板等的热处理炉等的炉内必须避免杂质混入，若在这种炉设备的炉壁或隔壁上使用这样的绝热材，则炉内气氛被污染。因此，作为对策，对炉设备进行跑合运行(干燥处理)。通过该跑合运行时的加热操作，预先使污染物质从绝热材发散，使得在正式运行时能够维持炉内气氛洁净。然而，在该方法中，跑合运行中，在该运行期间发散的污染物质发散到炉内，从而存在，正式运行前不得不将炉内再次洁净化的不妥情况。另外，即使在跑合运行中加热绝热材，也由于划分炉内外的炉壁的壁材的内部存在有绝热材，因此，面向炉外的外表面与面向炉内的内表面相比为低温，从位于该低温外表面侧的绝热材部分发散污染物质，故存在需要强行地长期执行干燥处理，或不能充分发散的问题。尤其对于这样的炉壁的内外的温度差引起的问题，为了避免外表面的温度降低，而在壁材外表面安装保温材而进行保温，或为了提高外表面的温度，而配备加热器或使用热风来加热壁材外表面，这样一来，花费成本，并且作业也烦杂。而且，即使采取这样的对策，还是需要在跑合运行后将炉内再次洁净化的作业，而且需要结合跑合运行期间的长期化或保温、加热的作业，在时间、费用、劳力上需要承担极大的负担。另一方面，还有为了阻止来自绝热材的污染物质发散到炉内的情况，而将设置绝热材的壁材做成气密结构的方法，但将壁材做成这样的结构，则导致非常高的成本的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述以往的问题而做成的，目的在于提供在通过干燥处理从绝热材除去污染物质而维持炉内气氛洁净时，能够废除在干燥处理后将炉内再洁净化的作业，并且与炉内外的温度差无关，通过短期的干燥处理，能够有效地除去从绝热材产生的污染物质的。本专利技术的炉设备，划分炉内外的炉壁和划分炉内区域内外的隔壁由壁材构成，该壁材具有面向该炉内和该炉内区域内的内表面板部及面向该炉外和该炉内区域外的外表面板部，且该壁材内部收容有绝热材，该炉设备的特征在于，在所述壁材的内表面板部形成有能够封口的通气通路，并且在该壁材的外表面板部形成有能够封口的吸气通路，该吸气通路与吸取壁材内气氛的吸取机构连接。本专利技术的炉设备的特征在于，所述通气通路为了将所述壁材内部的绝热材从所述炉内和所述炉内区域隐蔽而具有弯曲部。本专利技术的炉设备的特征在于，在所述通气通路和所述吸气通路设有通气性罩。本专利技术的炉设备的特征在于，在所述绝热材形成有将所述通气通路和所述吸气通路连续连通的贯通部。本专利技术的炉设备的特征在于，在所述绝热材和所述壁材的外表面板部之间，形成有与所述吸气通路连通，且通过通气使所述绝热材的温度上升的通气空间。另外，本专利技术的炉设备的干燥处理方法，该炉设备的划分炉内外的炉壁和划分炉内区域内外的隔壁由壁材构成，该壁材具有面向该炉内和该炉内区域内的内表面板部及面向该炉外和该炉内区域外的外表面板部，且该壁材内部收容有绝热材，该炉设备的干燥处理方法的特征在于，该炉设备具备形成在所述壁材的内表面板部的能够封口的通气通路及形成在该壁材的外表面板部的能够封口的吸气通路，在干燥处理时，在开放这些吸气通路及通气通路的状态下，通过与该吸气通路连接的吸取机构吸取壁材内气氛。(专利技术的效果)本专利技术的中，在通过干燥处理从绝热材除去污染物质而维持炉内气氛洁净时，能够废除在干燥处理后将炉内再洁净化的作业，并且与炉内外的温度差无关，通过短期的干燥处理，能够有效地除去从绝热材产生的污染物质。附图说明图1是表示本专利技术的炉设备的适当的一个实施方式的推车式炉设备的正面剖视图。图2是表示本专利技术的炉设备的其他实施方式的推车式炉设备的侧剖视图。图3是图1或图2的推车式炉设备的壁材的要部放大剖视图。图4是表示图1或图2的推车式炉设备的壁材的其他例子的要部放大剖视图。图5是表示图1或图2的推车式炉设备的壁材的另一例的要部放大剖视图。具体实施例方式以下，参照附图，详细说明本专利技术的的适合的一实施方式。本实施方式的炉设备基本上，如图1及图2所示，是一种具有如下结构的炉设备，即划分炉A内外的由侧壁部1、顶壁部2及炉底面壁部3构成的炉壁和划分炉内区域B内外的隔壁部4由壁材5构成，该壁材5具有面向炉A内和炉内区域B内的内表面板部5a及面向该炉A外和该炉内区域B外的外表面板部5b，且该壁材内部收容有绝热材6，在壁材5的内表面板部5a形成有能够封口的通气通路7，并且在壁材5的外表面板部5b形成有能够封口的吸气通路8，在吸气通路8上连接有吸取壁材内气氛的吸取机构9。在本实施方式中，作为炉设备，例示如下所述的推车式炉设备，即在通过加热升温的炉A内，使搭载有等离子显示器面板等的中空平板10的推车11行驶，由此进行对该中空平板10的封接处理或排气处理。图1中表示了该推车式炉设备的一例的主视图，另外，在图2中表示了其他的例子的侧剖视图。图1的炉设备主要包括推车11，其搭载中空平板10的同时，通过行驶车轮12行驶；炉体15，其通过由脚部13支承的左右一对侧壁部1及顶壁部2以包围推车11的周围的方式构成，且其内部具备有效引导炉内气氛的循环的循环挡板14；炉底面壁部3，其设于推车11，与炉体15一同划分形成炉A；以及设在顶壁部2下方的加热器16及循环风扇17，中空平板10在按照推车11的行驶而经过炉体15内的过程中，通过被加热器16加热并由循环风扇17经由循环挡板14循环的炉内气氛进行加热处理。另外，图2的炉设备在炉体15内行驶的推车11上设有隔壁部4，其从推车11的炉底面壁部3朝向炉体15的顶壁部2竖立，且在相邻接的推车11之间划分炉A内而形成炉内区域B。还有，在本实施方式中，构成炉体15的炉壁即侧壁部1、顶壁部2、推车11的炉底面壁部3、以及隔壁部4以相当的厚度形成，通过在内部收容有一般周知的通常的绝热材6的中空盒状的耐热金属制的壁材5构成。构成这些侧壁部1、顶壁部2、炉底面壁部3、以及隔壁部4的壁材5在划分炉A内外、还划分炉内区域B内外的关系上，一面具有面向炉A内和炉内区域B内的内表面板部5a，另一面具有面向炉A外和炉内区域B外的外表面板部5b。还有，在这些侧壁部1、顶壁部2、炉底面壁部3、以及隔壁部4的壁材5上，在内表面板部5a形成有使壁材5内部、炉A内和炉内区域B内相连通的通气通路7，并且在外表面板部5b形成有使壁材5内部、炉A外和炉内区域B外相连通的吸气通路8。通气通路7为贯穿设置在内表面板部5a的孔或切口，在内表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉设备，划分炉内外的炉壁和划分炉内区域内外的隔壁由壁材构成，该壁材具有：面向该炉内和该炉内区域内的内表面板部及面向该炉外和该炉内区域外的外表面板部，且该壁材内部收容有绝热材，该炉设备的特征在于，在所述壁材的内表面板部形成有能够封 口的通气通路，并且在该壁材的外表面板部形成有能够封口的吸气通路，该吸气通路与吸取壁材内气氛的吸取机构连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木曾田欣弥，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]