微机电加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种微机电加热装置，包括一中央部、一外围部、一缝隙及一第一连接部。中央部包含一质心、一加热器及一第一连接点。加热器设置于中央部内。第一连接点位于中央部的一边缘。当加热器加热中央部时，第一连接点产生一位移。外围部环绕中央部。缝隙环绕中央部。缝隙设置于该中央部与该外围部之间。第一连接部沿一轴线连接中央部及外围部，且包含一第一内连接端及一第一外连接端。第一内连接端连接第一连接点。第一外连接端连接外围部。轴线通过第一连接点，轴线与连接质心及第一连接点的一连接线不平行。

【技术实现步骤摘要】
微机电加热装置
本专利技术涉及一种微机电加热装置，特别是涉及一种减低热应力的影响的微机电加热装置。
技术介绍
在利用微机电传感器进行感测时，为了准确测量待测物的特性，有将微机电传感器及其周围环境加热至特定操作温度再进行感测的技术。现有将加热器埋设于电路板中，再将微机电传感器设置于电路板上且位置对应于加热器的装置，以实现对微机电传感器加热的技术。由于加热器埋设于电路板中，在加热器对微机电传感器进行加热时，也会对电路板进行局部加热，使得电路板受热不均。加热器附近的局部电路板因升温而热膨胀，而周围的电路板则因仍处于低温而未同步膨胀。如此一来，升温膨胀的电路板会向外推挤周围的低温电路板，低温电路板受到压缩而对升温膨胀的电路板施加属于反作用力的热应力。升温膨胀的电路板可能因受到周围热应力向内集中无法释放，而导致非预期地变形，例如翘曲。当升温膨胀的电路板非预期地变形时，微机电传感器也随之非预期地变形，如此会导致传感器的感测结果的准确度变差。变形过度时可能会导致传感器的材料被破坏，使传感器的可靠度降低，且结构微小破坏时，例如破裂、金属剥离等，也将造成传感器稳定度降低或甚至是失效。
技术实现思路
有鉴于以上的问题，本专利技术提出一种微机电加热装置，通过减低热应力的影响，以避免非预期地变形，进而提升设置于微机电加热装置的元件的可靠度与测量准确度。本专利技术的一实施例提出一种微机电加热装置，包括一中央部、一外围部及一第一连接部。中央部包含一质心、一加热器及一第一连接点。加热器设置于中央部内。第一连接点位于中央部的一边缘。当加热器加热中央部时，第一连接点产生一位移。外围部环绕中央部。缝隙环绕中央部。缝隙设置于该中央部与该外围部之间。第一连接部沿一轴线连接中央部及外围部，且包含一第一内连接端及一第一外连接端。第一内连接端连接第一连接点。第一外连接端连接外围部。轴线通过第一连接点，轴线与连接质心及第一连接点的一连接线不平行。根据本专利技术的一实施例的微机电加热装置，利用弯曲变形的等效刚性小于轴向变形的等效刚性的特性，故通过第一连接部的轴线与连接质心及第一连接点的连接线不平行，使第一连接部以较低的弯曲等效刚性的连接方式连接至中央部。当加热器加热中央部而使第一连接点产生位移时，第一连接部能通过低的弯曲等效刚性的特性而较易形变，以避免中央部因热应力集中而发生翘曲，进而提升设置于中央部的元件的可靠度与测量准确度。以上的关于本
技术实现思路
的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本专利技术的精神与原理，并且提供本专利技术的权利要求更进一步的解释。附图说明图1A为本专利技术的一实施例的微机电加热装置的立体剖面示意图；图1B为图1A的微机电加热装置的立体示意图；图1C为简化图1A的微机电加热装置的俯视示意图；图1D为简化本专利技术的另一实施例的微机电加热装置的俯视示意图；图2A为本专利技术的另一实施例的微机电加热装置的中央部与外围部的俯视示意图；图2B为图2A的微机电加热装置的俯视示意图；图3为本专利技术的另一实施例的微机电加热装置的俯视示意图；图4为本专利技术的另一实施例的微机电加热装置的俯视示意图；图5为本专利技术的另一实施例的微机电加热装置的俯视示意图。符号说明1、1’、2、3、4、5微机电加热装置10、20、30、40、50缝隙11基板12、12’、22、32、42、52中央部121座体122薄膜层123加热器13、23、33、43、53外围部131座体132薄膜层14、14’、24、34、44、54第一连接部14a、44a、54a第一内连接端14b、44b、54b第一外连接端14c、15c内边14d、15d外边15、15’、25、35、45、55第二连接部15a、45a、55a第二内连接端15b、45b、55b第二外连接端46、56第三连接部46a、56a第三内连接端46b、56b第三外连接端57第四连接部57a第四内连接端57b第四外连接端9感测元件AL1、AL2、AL3轴线C质心CL1、CL2、CL3连接线dC、d1、d2、d3、d4、dn-1、dn位移量H1、H2、H3、H4、H5、H6、H7、H8作用力H9、H10、H11、H12、H13作用力N1第一接触点N2第二接触点N3第三接触点N4第四接触点N5、N6连线PC1第一连接点PC2第二连接点PC3第三连接点P1、P2、P3、P4、Pn-1、Pn点具体实施方式以下在实施方式中详细叙述本专利技术的实施例的详细特征以及优点，其内容足以使任何本领域中具通常知识者了解本专利技术的实施例的
技术实现思路
并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求及附图，任何本领域中具通常知识者可轻易地理解本专利技术相关的目的及优点。以下的实施例是进一步详细说明本专利技术的观点，但非以任何观点限制本专利技术的范畴。在本说明书的所谓的示意图中，由于用以说明而可有其尺寸、比例及角度等较为夸张的情形，但并非用以限定本专利技术。在未违背本专利技术要旨的情况下能够有各种变更。实施例及附图的描述中所提及的上下前后方位为用以说明，而并非用以限定本专利技术。请参照图1A及图1B，图1A绘示依照本专利技术的一微机电加热装置的立体剖面示意图，图1B绘示依照图1A的微机电加热装置的立体示意图。在本实施例中，微机电加热装置1可包括基板11、中央部12、外围部13、第一连接部14及第二连接部15。中央部12包含座体121及薄膜层122。中央部12的座体121悬置于基板11上方，中央部12的薄膜层122设置于中央部12的座体121上。中央部12的薄膜层122的俯视尺寸及形状涵盖中央部12的座体121的俯视尺寸及形状。中央部12的薄膜层122之内设置有加热器123。感测元件9设置于中央部12的薄膜层122上。外围部13包含座体131及薄膜层132。外围部13的座体131设置于基板11上，外围部13的座体131的厚度大于中央部12的座体121的厚度。外围部13的薄膜层132设置于外围部13的座体131上。外围部13环绕中央部12，且外围部13与中央部12之间具有一缝隙10。如图1B所示，第一连接部14沿轴线AL1延伸，且第一连接部14连接中央部12的薄膜层122及外围部13的薄膜层132。第二连接部15沿轴线AL2延伸，且第二连接部15连接中央部12的薄膜层122及外围部13的薄膜层132。中央部12的薄膜层122、外围部13的薄膜层132、第一连接部14及第二连接部15可原自同一层薄膜层结构。请参照图1C，绘示简化图1A的微机电加热装置的俯视示意图。中央部12包含质心C、第一连接点PC1及第二连接点PC2。第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电加热装置，其特征在于，包括：/n中央部，包含：/n质心；/n加热器，设置于该中央部内；以及/n第一连接点，位于该中央部的边缘，其中当该加热器加热该中央部时，该第一连接点产生一位移；/n外围部，环绕该中央部；/n缝隙，环绕该中央部，其中该缝隙设置于该中央部与该外围部之间；以及/n第一连接部，沿第一轴线连接该中央部及该外围部，该第一连接部包含：/n第一内连接端，连接该第一连接点；以及/n第一外连接端，连接该外围部；/n其中，该第一轴线通过该第一连接点，该第一轴线与连接该质心及该第一连接点的连接线不平行。/n

【技术特征摘要】
1.一种微机电加热装置，其特征在于，包括：
中央部，包含：
质心；
加热器，设置于该中央部内；以及
第一连接点，位于该中央部的边缘，其中当该加热器加热该中央部时，该第一连接点产生一位移；
外围部，环绕该中央部；
缝隙，环绕该中央部，其中该缝隙设置于该中央部与该外围部之间；以及
第一连接部，沿第一轴线连接该中央部及该外围部，该第一连接部包含：
第一内连接端，连接该第一连接点；以及
第一外连接端，连接该外围部；
其中，该第一轴线通过该第一连接点，该第一轴线与连接该质心及该第一连接点的连接线不平行。


2.如权利要求1所述的微机电加热装置，其中该第一轴线为通过该第一连接点的切线。


3.如权利要求1所述的微机电加热装置，其中该第一连接点的该位移为最小位移。


4.如权利要求2所述的微机电加热装置，其中该第一连接部另包含内边及外边，该内边的长度大于该外边的长度。


5.如权利要求4所述的微机电加热装置，还包括第二连接部，其中该中央部还包含位于该边缘的第二连接点，该第二连接部连接该第二连接点及该外围部，该第一连接点与该第二连接点的连线通过该质心。


6.如权利要求1所述的微机电加热装置，还包括第二连接部及第三连接部，其中该中央部还包含位于该边缘的第二连接点及第三连接点，该第二连接部沿第二轴线连接该中央部及该外围部，该第二连接部包含第二内连接端及第二外连接端，该第二内连接端连接该第二连接点，该第二外连接端连接该外围部，该第三连接部沿一第三轴线连接该中央部及该外围部，该第三连接部包含第三内连接端及第三外连接端，该第三内连接端连接该第三连接点，该第三外连接端连接该外围部，该第一连接点、该第二连接点及该第三连接点连接至该质心的多个连线彼此不重合。


7.如权利要求1所述的微机电加热装置，还包括第二连接部、第三连接部及第四连接部，其中该中央部还包含位于该边缘的第二连接点，该第三连接部沿该第一轴线连接该中央部及该外围部，该第三连接部包含第三内连接端及第三外连接端，该第三内连接端连接该第一连接点，该第三外连接端连接及该外围部，该第二连接部及该第四连接部沿第二轴线连接该中央部及该外围部，该第二连接部包含第二内连接端及第二外连接端，该第二内连接端连接该第二连接点，该第二外连接端连接该外围部，该第四连接部包含第四内连接端及第四外连接端，该第四内连接端连接该第二连接点，该第四外连接端连接该外围部。


8.一种微机电加热装置，其特征在于，包括：
基板；
中央部，包含：
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鹏仁，李柏勋，黄肇达，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71