【技术实现步骤摘要】
微机电加热装置
本专利技术涉及一种微机电加热装置，特别是涉及一种减低热应力的影响的微机电加热装置。
技术介绍
在利用微机电传感器进行感测时，为了准确测量待测物的特性，有将微机电传感器及其周围环境加热至特定操作温度再进行感测的技术。现有将加热器埋设于电路板中，再将微机电传感器设置于电路板上且位置对应于加热器的装置，以实现对微机电传感器加热的技术。由于加热器埋设于电路板中，在加热器对微机电传感器进行加热时，也会对电路板进行局部加热，使得电路板受热不均。加热器附近的局部电路板因升温而热膨胀，而周围的电路板则因仍处于低温而未同步膨胀。如此一来，升温膨胀的电路板会向外推挤周围的低温电路板，低温电路板受到压缩而对升温膨胀的电路板施加属于反作用力的热应力。升温膨胀的电路板可能因受到周围热应力向内集中无法释放，而导致非预期地变形，例如翘曲。当升温膨胀的电路板非预期地变形时，微机电传感器也随之非预期地变形，如此会导致传感器的感测结果的准确度变差。变形过度时可能会导致传感器的材料被破坏，使传感器的可靠度降低，且结构微小破坏时，例...
【技术保护点】
1.一种微机电加热装置，其特征在于，包括：/n中央部，包含：/n质心；/n加热器，设置于该中央部内；以及/n第一连接点，位于该中央部的边缘，其中当该加热器加热该中央部时，该第一连接点产生一位移；/n外围部，环绕该中央部；/n缝隙，环绕该中央部，其中该缝隙设置于该中央部与该外围部之间；以及/n第一连接部，沿第一轴线连接该中央部及该外围部，该第一连接部包含：/n第一内连接端，连接该第一连接点；以及/n第一外连接端，连接该外围部；/n其中，该第一轴线通过该第一连接点，该第一轴线与连接该质心及该第一连接点的连接线不平行。/n
【技术特征摘要】
1.一种微机电加热装置，其特征在于，包括：
中央部，包含：
质心；
加热器，设置于该中央部内；以及
第一连接点，位于该中央部的边缘，其中当该加热器加热该中央部时，该第一连接点产生一位移；
外围部，环绕该中央部；
缝隙，环绕该中央部，其中该缝隙设置于该中央部与该外围部之间；以及
第一连接部，沿第一轴线连接该中央部及该外围部，该第一连接部包含：
第一内连接端，连接该第一连接点；以及
第一外连接端，连接该外围部；
其中，该第一轴线通过该第一连接点，该第一轴线与连接该质心及该第一连接点的连接线不平行。
2.如权利要求1所述的微机电加热装置，其中该第一轴线为通过该第一连接点的切线。
3.如权利要求1所述的微机电加热装置，其中该第一连接点的该位移为最小位移。
4.如权利要求2所述的微机电加热装置，其中该第一连接部另包含内边及外边，该内边的长度大于该外边的长度。
5.如权利要求4所述的微机电加热装置，还包括第二连接部，其中该中央部还包含位于该边缘的第二连接点，该第二连接部连接该第二连接点及该外围部，该第一连接点与该第二连接点的连线通过该质心。
6.如权利要求1所述的微机电加热装置，还包括第二连接部及第三连接部，其中该中央部还包含位于该边缘的第二连接点及第三连接点，该第二连接部沿第二轴线连接该中央部及该外围部，该第二连接部包含第二内连接端及第二外连接端，该第二内连接端连接该第二连接点，该第二外连接端连接该外围部，该第三连接部沿一第三轴线连接该中央部及该外围部，该第三连接部包含第三内连接端及第三外连接端，该第三内连接端连接该第三连接点，该第三外连接端连接该外围部，该第一连接点、该第二连接点及该第三连接点连接至该质心的多个连线彼此不重合。
7.如权利要求1所述的微机电加热装置，还包括第二连接部、第三连接部及第四连接部，其中该中央部还包含位于该边缘的第二连接点，该第三连接部沿该第一轴线连接该中央部及该外围部，该第三连接部包含第三内连接端及第三外连接端，该第三内连接端连接该第一连接点，该第三外连接端连接及该外围部，该第二连接部及该第四连接部沿第二轴线连接该中央部及该外围部，该第二连接部包含第二内连接端及第二外连接端，该第二内连接端连接该第二连接点，该第二外连接端连接该外围部，该第四连接部包含第四内连接端及第四外连接端，该第四内连接端连接该第二连接点，该第四外连接端连接该外围部。
8.一种微机电加热装置，其特征在于，包括：
基板；
中央部，包含：
...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鹏仁，李柏勋，黄肇达，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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