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微机电加热装置制造方法及图纸
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文档序号:24807005
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本发明公开一种微机电加热装置,包括一中央部、一外围部、一缝隙及一第一连接部。中央部包含一质心、一加热器及一第一连接点。加热器设置于中央部内。第一连接点位于中央部的一边缘。当加热器加热中央部时,第一连接点产生一位移。外围部环绕中央部。缝隙环绕...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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