【技术实现步骤摘要】
一种宽波段光吸收纳米柱阵列
一种宽波段光吸收纳米柱阵列，属于实现抗反射、全吸收的纳米柱结构领域。
技术介绍
纳米柱是纳米结构领域内的一种新出现的技术。纳米柱阵列结构由不同排列组合的纳米柱构成，已在高效率太阳板应用、高分辨分析和抗细菌表面等方面表现出了优良的特性。纳米柱结构是一种源于“motheye”(蛾眼)的仿生结构；在蛾眼表面，存在顶端偏尖的柱体结构且柱体结构之间存在空隙，因而导致原同一方向的入射平行光在纳米柱结构中改变了入射角度。同理，在太阳能电池应用中，待入射光穿透到平面底部之前，它会沿着纳米柱或者在纳米柱之间反弹更多的次数，每一次反弹都会有更多的光子被吸收。不同材料的纳米柱结构，可以在不同的领域实现不同的应用；例如金纳米柱的表面等离子效应，硅纳米柱的抗反射层等。因此，纳米柱阵列结构可以通过结构内部的排列组合的改变和纳米柱材料的改变实现多种多样的功能，应用前景广阔。太阳能电池是新能源发展的重要一员，但在能量转换中存在转换极限，该极限限制了光伏电池的发展；因此，在光伏电池结构中引入抗反射结构，提供有效的光抗反射，...
【技术保护点】
1.一种宽波段光吸收纳米柱阵列，其特征在于该结构由单晶硅衬底上周期排列的硅纳米柱阵列小单元构成，其中硅纳米柱阵列小单元由多种具有不同尺寸的硅纳米柱组合构成，并且硅纳米柱在小单元中具有特定的占空比。/n
【技术特征摘要】
1.一种宽波段光吸收纳米柱阵列，其特征在于该结构由单晶硅衬底上周期排列的硅纳米柱阵列小单元构成，其中硅纳米柱阵列小单元由多种具有不同尺寸的硅纳米柱组合构成，并且硅纳米柱在小单元中具有特定的占空比。
2.根据权利要求1所述的一种宽波段光吸收纳米柱阵列，其特征在于硅纳米柱阵列小单元的长为Px,宽度为Py,且200nm≤Px≤1μm,100nm≤Py≤1μm。
3.根据权利要求1所述的一种宽波段光吸收纳米柱阵列，其特征在于硅纳米柱横截面为圆形，半径为R，且50nm≤R≤...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：杭州菲柏斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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