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一种宽波段光吸收纳米柱阵列制造技术
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文档序号:24803372
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本发明为一种宽波段光吸收纳米柱阵列。该结构由单晶硅衬底上周期排布的硅纳米柱阵列小单元构成。通过综合利用不同种类的纳米柱结构的优秀性能,将不同的纳米柱组合促使优异的性能进行累加,从而在可见光波段内实现较宽范围的低反射率。本发明在叠层太阳能电池...
该专利属于杭州菲柏斯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州菲柏斯科技有限公司授权不得商用。
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