正型光敏组合物以及使用其的固化膜制造技术

本发明专利技术涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述组合物包含含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物。因此，通过所述粘合剂树脂(即硅氧烷共聚物)与所述光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分(即曝光的部分)，这增加了在显影剂中的溶解性，由此可以增强敏感性。另外，可以通过使用适当量的所述光活性化合物来形成能够实现图案的大边缘角的固化膜。

【技术实现步骤摘要】
正型光敏组合物以及使用其的固化膜
本专利技术涉及一种能够形成在敏感性、分辨率和膜保留率方面优异的固化膜的正型光敏树脂组合物，以及一种由其制备的待用于液晶显示器、有机EL显示器等中的固化膜。
技术介绍
一般来说，需要较少加工步骤的正型光敏树脂组合物广泛用于液晶显示装置、有机EL显示装置等中。然而，使用常规正型光敏树脂组合物的平坦化膜或显示元件具有比使用负型光敏树脂组合物的平坦化膜和显示元件更低的敏感性。因此，前者的敏感性需要得到改进。同时，常规正型光敏树脂组合物通常包含作为粘合剂树脂的碱溶性树脂(如硅氧烷聚合物和丙烯酸类聚合物)连同光敏剂(如基于醌二叠氮的化合物、芳族醛等)(参见日本公开专利公开号1996-234421)。然而，当使用此种正型光敏树脂组合物形成固化膜时，在显影步骤期间由显影剂引起的固化膜厚度损失率是大的，并且实现足够令人满意的膜保留率、敏感性、分辨率等存在限制。同时，固化膜要求图案的尺寸小且图案的边缘角大以便获得高分辨率。具体地，为了获得高分辨率，重要的是在形成固化膜时施加的掩模中的孔的尺寸达到临界本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种正型光敏树脂组合物，其包含：/n(A)硅氧烷共聚物；/n(B)光活性化合物，所述光活性化合物包含含有由以下式1表示的重复单元的化合物：/n[式1]/n

【技术特征摘要】
20181228 KR 10-2018-0171927;20191025 KR 10-2019-011.一种正型光敏树脂组合物，其包含：
(A)硅氧烷共聚物；
(B)光活性化合物，所述光活性化合物包含含有由以下式1表示的重复单元的化合物：
[式1]



在上式1中，
A1和A2各自独立地是氢、羟基、酚基、C1-4烷基、C6-15芳基、或C1-4烷氧基，
R1是氢或并且
n是3至15的整数。


2.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述硅氧烷聚合物(A)包含衍生自由以下式2表示的硅烷化合物的结构单元：
[式2]
(R2)mSi(OR3)4-m
在上式2中，
m是0至3的整数，
R2各自独立地是C1-12烷基、C2-10烯基...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁钟韩，许槿，罗钟昊，申佳姬，金莲玉，
申请(专利权)人：罗门哈斯电子材料韩国有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR