一种显示面板及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种显示面板及其制备方法，通过曝光蚀刻工艺将扇出区的第一金属层与直线区的第二金属层分开，避免扇出区的热量传递至直线区，避免扇出区的热量加速直线区的公共电极与第二金属层的第三过孔的热固化制程，进而避免公共电极与第二金属层的第三过孔发生侧壁陡峭的现象，改善公共电极的成膜连续性，提高显示面板的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制备方法
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种显示面板及其制备方法。
技术介绍
显示装置可以把计算机的数据变换成各种文字、数字、符号或直观的图像显示出来，并且可以利用键盘等输入工具把命令或数据输入计算机，借助系统的硬件和软件随时增添、删改、变换显示内容。显示装置根据所用之显示器件分为等离子、液晶、发光二极管和阴极射线管等类型。LCD(英文全称：LiquidCrystalDisplay，液晶显示器)。液晶显示器是以液晶材料为基本组件，在两块平行板之间填充液晶材料，通过电压来改变液晶材料内部分子的排列状况，以达到遮光和透光的目的来显示深浅不一，错落有致的图象，而且只要在两块平板间再加上三原色的滤光层，就可实现彩色图象的显示。为实现液晶显示和触控功能的集成，在中小尺寸显示领域，一般通过将公共电极图案化，既作为液晶显示的公共电极，又作为触控功能的感应电极，通过分时作业同时驱动显示和触控功能。根据感应电极在液晶面板中的内嵌程度分为OnCellTP(英文全称：TouchPanel，触控面板)技术和InCellTP技术。其中，InCellTP技术将触控功能完全内嵌到液晶像素中，因此具有整机厚度薄、显示效果优、穿透率佳等突出优点，是高端市场的首选方案。具体地，InCellTP技术根据工作原理不同分为互电容式触控技术和自电容式触控技术。自电容式InCellTP技术通过图形化方法将感应电极分割成棋盘排列的sensorpad，每个sensorpad通过布置一根或多根金属引线单独接出形成触控通道。一般地，金属引线层与公共电极层之间用平坦层间隔绝缘，通过在特定位置制作连接孔以实现金属引线层对特定sensorpad输入控制信号。平坦层通常为有机材料，其固化速率受温度影响。在实际制程中，由于触控面板扇出区的金属引线密度较大，吸热传导能力较强，因此在平坦层高温固化过程中，与金属引线层相连的连接孔由缓慢加热固化转化为快速加热固化，导致连接孔的侧壁固化过程中流动性降低，进而导致连接孔侧壁较为陡峭，导致公共电极在成膜时连续性较差，极易发生膜层断裂导致触控面板功能不良等现象。因此，需要寻求一种新型的显示面板以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种显示面板，其能够解决现有的显示面板中存在的连接孔侧壁较为陡峭，公共电极在成膜时连续性较差，易发生膜层断裂导致触控面板功能不良现象等问题。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种显示面板，其包括：基板，包括扇出区和直线区；层间绝缘层，设置于所述基板上；第一金属层，设置于所述扇出区的所述层间绝缘层上；第二金属层，设置于所述直线区的所述层间绝缘层上，所述第二金属层与所述第一金属层之间设有间隙；平坦层，设置于所述第一金属层以及第二金属层上，且延伸至所述层间绝缘层上；钝化层，设置于所述平坦层上；以及第三金属层，设置于所述钝化层上，且通过第一过孔连接至所述第一金属层，通过第二过孔连接至所述第二金属层。进一步的，其中所述显示面板还包括：缓冲层，设置于所述基板上；以及栅极绝缘层，设置于所述缓冲层上；其中，所述层间绝缘层设置于所述栅极绝缘层上。进一步的，其中所述显示面板还包括：公共电极，其设置于所述直线区远离所述扇出区的一侧的平坦层上，且通过第三过孔连接至所述第二金属层上；其中，所述钝化层设置于所述公共电极上。进一步的，其中所述第一金属层与所述第二金属层的材质均包括：铝、铜、银、钼中的一种或多种。进一步的，其中所述第三金属层的材质包括：铝、铜、银、钼、氧化铟锡中的一种或多种。为了解决上述问题，本专利技术还提供了一种本专利技术所涉及的显示面板的制备方法，其包括以下步骤：提供一基板，包括扇出区和直线区；在所述基板上表面制备层间绝缘层；在所述扇出区的所述层间绝缘层上表面制备第一金属层，在所述直线区的所述层间绝缘层上表面制备第二金属层，所述第二金属层与所述第一金属层之间设有间隙；在所述第一金属层以及第二金属层上表面制备平坦层，所述平坦层延伸至所述层间绝缘层上；在所述平坦层上表面制备钝化层；以及在所述钝化层上表面制备第三金属层，所述第三金属层通过第一过孔连接至所述第一金属层，且通过第二过孔连接至所述第二金属层。进一步的，在所述第一金属层、所述第二金属层的制备步骤中，具体包括如下步骤：利用物理气相沉积工艺在所述层间绝缘层上制备金属层薄膜；利用曝光蚀刻工艺将金属层薄膜进行图案化处理；以及将扇出区的金属层薄膜与直线区的金属层薄膜进行断开处理。进一步的，在所述平坦层的制备步骤中，具体包括如下步骤：在所述第一金属层、第二金属层以及层间绝缘层上涂布有机平坦层材料；使用曝光显影工艺在对应于所述第一金属层以及第二金属层的位置处分别形成第一通孔和第二通孔；以及利用快速退火炉加热使平坦层、第一通孔以及第二通孔固化成型。进一步的，在所述钝化层的制备步骤中，具体包括：利用化学气相沉积工艺在所述平坦层、第一通孔内以及第二通孔内制备钝化层，利用曝光蚀刻工艺在对应于所述第一通孔以及第二通孔的位置处分别形成贯穿所述钝化层、所述平坦层的第一过孔和第二过孔。进一步的，在所述第三金属层的制备步骤中，具体包括：利用物理气相沉积工艺在所述钝化层、第一过孔以及第二过孔内制备第三金属层。本专利技术的优点是：本专利技术涉及一种显示面板及其制备方法，通过曝光蚀刻工艺将扇出区的第一金属层与直线区的第二金属层分开，避免扇出区的热量传递至直线区，避免扇出区的热量加速直线区的公共电极与第二金属层的第三过孔的热固化制程，进而避免公共电极与第二金属层的第三过孔发生侧壁陡峭的现象，改善公共电极的成膜连续性，提高显示面板的功能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一个优选实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实施例所述显示面板的结构示意图。图2为本实施例所述显示面板的制备方法的步骤流程图。图中部件标识如下：100、显示面板101、扇出区102、直线区1、基板2、缓冲层3、栅极绝缘层4、层间绝缘层5、第一金属层6、第二金属层7、平坦层8、公共电极9、钝化层10、第三金属层具体实施方式以下结合说明书附图详细说明本专利技术的优选实施例，以向本领域中的技术人员完整介绍本专利技术的
技术实现思路
，以举例证明本专利技术可以实施，使得本专利技术公开的
技术实现思路
更加清楚，使得本领域的技术人员更容易理解如何实施本专利技术。然而本专利技术可以通过许多不同形式的实施例来得以体现，本专利技术的保护范围并非仅限于文中提到的实施例，下文实施例的说明并非用来限制本专利技术的范围。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是附图中的方向，本文所使用的方向用语是用来解释和说明本专利技术，而不是用来限定本专利技术的保护范本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：/n基板，包括扇出区和直线区；/n层间绝缘层，设置于所述基板上；/n第一金属层，设置于所述扇出区的所述层间绝缘层上；/n第二金属层，设置于所述直线区的所述层间绝缘层上，所述第二金属层与所述第一金属层之间设有间隙；/n平坦层，设置于所述第一金属层以及第二金属层上，且延伸至所述层间绝缘层上；/n钝化层，设置于所述平坦层上；以及/n第三金属层，设置于所述钝化层上，且通过第一过孔连接至所述第一金属层，通过第二过孔连接至所述第二金属层。/n

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：
基板，包括扇出区和直线区；
层间绝缘层，设置于所述基板上；
第一金属层，设置于所述扇出区的所述层间绝缘层上；
第二金属层，设置于所述直线区的所述层间绝缘层上，所述第二金属层与所述第一金属层之间设有间隙；
平坦层，设置于所述第一金属层以及第二金属层上，且延伸至所述层间绝缘层上；
钝化层，设置于所述平坦层上；以及
第三金属层，设置于所述钝化层上，且通过第一过孔连接至所述第一金属层，通过第二过孔连接至所述第二金属层。


2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，还包括：
缓冲层，设置于所述基板上；以及
栅极绝缘层，设置于所述缓冲层上；
其中，所述层间绝缘层设置于所述栅极绝缘层上。


3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，还包括：
公共电极，其设置于所述直线区远离所述扇出区的一侧的平坦层上，且通过第三过孔连接至所述第二金属层上；
其中，所述钝化层设置于所述公共电极上。


4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层与所述第二金属层的材质均包括：铝、铜、银、钼中的一种或多种。


5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第三金属层的材质包括：铝、铜、银、钼、氧化铟锡中的一种或多种。


6.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供一基板，包括扇出区和直线区；
在所述基板上表面制备层间绝缘层；
在所述扇出区的所述层间绝缘层上表面制备第一金属层，在所述直线区的所述层间绝缘层上表面制备第二金属层，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂晓辉，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42