一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，属于高精度镀膜技术领域。所述可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置包括工件盘、镀膜夹具和光学元件；所述工件盘开有旋转空腔，所述镀膜夹具放置于所述旋转空腔中，所述镀膜夹具与所述工件盘转动连接；所述光学元件放置于所述镀膜夹具中，并通过滑动卡扣机构固定安装。该可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置通过电机控制旋转所述镀膜夹具既能够保证光学元件的双面受热均匀，还能保证光学元件两面的镀膜环境相同；在完成双面镀膜之后，两面光学薄膜同时应力释放，并且保持几乎完全等同的应力释放速率；在实现超高面形偏差精度的同时还能减少镀膜返工次数，降低了时间和资金成本。

【技术实现步骤摘要】
一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置
本专利技术涉及高精度镀膜
，特别涉及一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置。
技术介绍
面形偏差是评估光学元件成像质量的重要指标。光学元件的面形偏差对光束线的焦点尺寸有极大影响。目前，最常规的操作是将产品镀完一面之后从炉腔中取出翻面再重新进炉对另外一面进行镀膜。然而，由于薄膜在两次镀膜间隔中应力缓慢释放，最终产品的面形偏差难以精准控制以至于时常需要返工，这无疑增加了时间与资金成本。因此对于光学膜产品（特别是薄膜基底），低成本、高精准实现高质量面形偏差控制是亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，以解决由于光学元件正反两面依次镀膜间隔中应力会缓慢释放所导致面形偏差难以精准控制的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，包括工件盘、镀膜夹具和光学元件；所述工件盘开有旋转空腔，所述镀膜夹具放置于所述旋转空腔中，所述镀膜夹具与所述工件盘转动连接；所述光学元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，包括工件盘（1）、镀膜夹具（2）和光学元件（3）；/n所述工件盘（1）开有旋转空腔（11），所述镀膜夹具（2）放置于所述旋转空腔（11）中，所述镀膜夹具（2）与所述工件盘（1）转动连接；/n所述光学元件（3）放置于所述镀膜夹具（2）中，并通过滑动卡扣机构（4）固定安装。/n

【技术特征摘要】
1.一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，包括工件盘（1）、镀膜夹具（2）和光学元件（3）；
所述工件盘（1）开有旋转空腔（11），所述镀膜夹具（2）放置于所述旋转空腔（11）中，所述镀膜夹具（2）与所述工件盘（1）转动连接；
所述光学元件（3）放置于所述镀膜夹具（2）中，并通过滑动卡扣机构（4）固定安装。


2.如权利要求1所述的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜夹具（2）两侧分别通过转轴（5）转动连接。


3.如权利要求2所述的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，所述转轴（5）外部连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈清，李旭光，
申请(专利权)人：无锡奥夫特光学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32