一种用于镀膜的基板横移夹紧机构制造技术

本发明专利技术涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，包括真空气缸、两套抱臂机构，真空气缸连接驱动两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中推动部件与真空气缸相传动配合，真空气缸可上下直线运动，推动部件可在真空气缸的驱动下可左右直线运动，推动部件通过连杆连接旋转轴，旋转轴可在推动部件的带动下旋转，抱臂与旋转轴相连接固定使抱臂在旋转轴的带动下旋转；两套抱臂机构的抱臂相向旋转实现基板的夹紧，两套抱臂机构的抱臂相背旋转实现基板的松开。本发明专利技术的优点是：结构简单合理，占用空间小，降低成本，简化动作流程，自动化程度及精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于镀膜的基板横移夹紧机构
本专利技术涉及薄膜制备
，尤其是一种用于镀膜的基板横移夹紧机构。
技术介绍
自动化连续式真空镀膜设备成为镀膜设备发展的趋势之一。为实现真空镀膜设备自动化连续式工作,其中一个关键是基板装卸方式的自动化。真空镀膜设备的基板自动装卸机构的设计需要考虑到与镀膜腔室的镀膜流程以及其他前道和后道流程的兼容性，并兼顾性能稳定性和成本因素。基板的装卸过程中，需要对基板进行夹紧，以保证其装卸的安全性。目前，常常通过自动化的夹紧装置来实现，但目前的夹紧机构的缺点往往在于占用空间大，成本也相应增加，另外一个设计难点则是输出力不足，无法夹紧基板，尤其是针对大面积的基板而言，其基板本身重量较大，在夹紧装卸中更容易发生危险。
技术实现思路
本专利技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，通过单气缸驱动两抱臂机构对基板进行旋转式夹紧，在保证基板夹紧稳定性的同时，节省占用空间，降低成本。本专利技术目的实现由以下技术方案完成：一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，用于对基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，用于对基板进行夹紧，其特征在于：包括真空气缸、两套抱臂机构，所述真空气缸连接驱动所述两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；所述抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中所述推动部件与所述真空气缸相传动配合，所述真空气缸可上下直线运动，所述推动部件可在所述真空气缸的驱动下可左右直线运动，所述推动部件通过所述连杆连接所述旋转轴，所述旋转轴可在所述推动部件的带动下旋转，所述抱臂与所述旋转轴相连接固定使所述抱臂在所述旋转轴的带动下旋转；两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转实现所述基板的夹紧，两套所述抱臂机构的抱臂相背旋转实现所述基板的松开。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，用于对基板进行夹紧，其特征在于：包括真空气缸、两套抱臂机构，所述真空气缸连接驱动所述两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；所述抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中所述推动部件与所述真空气缸相传动配合，所述真空气缸可上下直线运动，所述推动部件可在所述真空气缸的驱动下可左右直线运动，所述推动部件通过所述连杆连接所述旋转轴，所述旋转轴可在所述推动部件的带动下旋转，所述抱臂与所述旋转轴相连接固定使所述抱臂在所述旋转轴的带动下旋转；两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转实现所述基板的夹紧，两套所述抱臂机构的抱臂相背旋转实现所述基板的松开。


2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，其特征在于：两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转时，两所述抱臂上的夹持部经旋转相对，两者之间的相对距离满足于从两侧夹紧所述基板的要求。

【专利技术属性】
技术研发人员：戴晓东，戴秀海，余海春，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31