【技术实现步骤摘要】
一种高硅铝电子封装材料及其制备方法
本专利技术属于电子封装材料
,尤其涉及一种高硅铝电子封装材料及其制备方法。
技术介绍
随着现代电子信息技术的迅速发展,电子系统及设备向大规模集成化、小型化、高效率和高可靠性方向发展。电子封装正在与电子设计及制造一起,共同推动着信息化社会的发展。由于电子器件和电子装置中元器件复杂性和密集性的日益提高,因此,迫切需要研究和开发性能优异、可满足各种需求的新型电子封装材料。中国专利CN109487130公开了一种用于电子封装的铝硅复合材料及其制备方法,其工艺是将纯铝粉和纯硅粉按比例进行混料,获得铝硅质量比为50~30:50~70的混合料;再将混合料装入铝包套中,置于预热后的模具于800MPa~1100MPa压制,真空度≤10-1Pa,以1~5℃/min升温至750~1000℃,保温1~4h。制得的用于电子封装的铝硅复合材料,其致密度≥95%、热导率为100~128W/m·K,热膨胀系数9.3~12.5×10-6℃-1。采用真空条件下进行热压烧结可以降低孔隙率,提高组织致密度。但是上述 ...
【技术保护点】
1.一种高硅铝电子封装材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:/n将Al粉末和Si粉末混合,在真空条件下,进行放电等离子烧结,得到高硅铝电子封装材料;/n所述放电等离子烧结的升温过程包括:以第一升温速率升温至中间温度、再以第二升温速率由所述中间温度升温至烧结温度;/n所述第一升温速率为30~100℃/min,所述中间温度为420~620℃;所述第二升温速率为5~30℃/min,所述烧结温度为450~650℃,所述保温的时间为0.5~2h;/n所述升温和保温的过程中,压力为10~60MPa/min。/n
【技术特征摘要】
1.一种高硅铝电子封装材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将Al粉末和Si粉末混合,在真空条件下,进行放电等离子烧结,得到高硅铝电子封装材料;
所述放电等离子烧结的升温过程包括:以第一升温速率升温至中间温度、再以第二升温速率由所述中间温度升温至烧结温度;
所述第一升温速率为30~100℃/min,所述中间温度为420~620℃;所述第二升温速率为5~30℃/min,所述烧结温度为450~650℃,所述保温的时间为0.5~2h;
所述升温和保温的过程中,压力为10~60MPa/min。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述Al粉末和Si粉末的质量比为(5~8):(5~2)。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述Al粉末的中位粒径为10~20μm。
4.根据权利要求1或2所述的制备方...
【专利技术属性】
技术研发人员:李润霞,孔昭阳,冀恩龙,于宝义,郑黎,姜雄华,李文芳,
申请(专利权)人:东莞理工学院,
类型:发明
国别省市:广东;44
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