【技术实现步骤摘要】
(甲基)丙烯酸酯化合物、聚合物、抗蚀剂材料及(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法
本专利技术涉及一种(甲基)丙烯酸酯化合物、聚合物、抗蚀剂材料及(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法。
技术介绍
化学放大型感放射线性树脂组合物通过ArF准分子激光及KrF准分子激光等曝光光的照射，在曝光部中由感放射线性酸产生剂生成酸。通过以生成的酸为催化剂的反应，曝光部与未曝光部相对于显影液的溶解速度发生变化，在基板上形成抗蚀剂图案。以往使用的聚羟基苯乙烯等具有芳香族环的树脂中，对ArF准分子激光的透明性不充分，因此在以ArF准分子激光为光源的情况下不能使用。因此，不具有芳香族环的丙烯酸系树脂受到关注。但是，丙烯酸系树脂有耐干式蚀刻性低的缺点。相对于此，提出了兼具透明性与耐干式蚀刻性的丙烯酸系树脂。作为所述丙烯酸系树脂，例如在专利文献1中公开了酯部具有金刚烷骨架的单量体的聚合物。进而，作为所述丙烯酸系树脂，在专利文献2中示出了酯部具有金刚烷骨架的单量体与丙烯酸四氢吡喃酯的共聚物。另一方面，在使用ArF准分子激光的工艺中，...
【技术保护点】
1.一种(甲基)丙烯酸酯化合物，是由下述通式(1)所表示；/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
20181225 JP 2018-2409561.一种(甲基)丙烯酸酯化合物，是由下述通式(1)所表示；
式中，R1为氢或甲基，R2为氢、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基，R3为氢、卤素、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或者一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基或杂芳基，键结于同一碳上的两个R3的碳彼此可键结而形成环。
2.根据权利要求1所述的(甲基)丙烯酸酯化合物，其中
所述通式(1)中，R1和/或R2为氢或甲基，键结于同一碳上的两个R3的碳彼此不键结时的R3为氢、氯、甲基、乙基、苯基、4-羟基苯基、4-氨基苯基、4-甲氧基苯基、4-吡啶基环己基或4-羟基环己基，键结于同一碳上的两个R3的碳彼此键结而形成环时的环是将所述同一碳作为螺原子的环戊基或环己基。
3.一种(甲基)丙烯酸酯化合物的聚合物，含有下述通式(1a)所表示的重复单元，
重量平均分子量为2,000～100,000；
式中，R1为氢或甲基，R2为氢、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基，R3为氢、卤素、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或者一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基或杂芳基，键结于同一碳上的两个R3的碳彼此可键结而形成环。
技术研发人员：猪木大辅，佐藤祯治，林秀树，
申请(专利权)人：捷恩智株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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