温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供与其他感光性树脂的相容性优异且可赋予聚合物高透明性的(甲基)丙烯酸酯化合物、聚合物、抗蚀剂材料及(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法。所述(甲基)丙烯酸酯化合物，是由下述通式(1)所表示。...
该专利属于捷恩智株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过捷恩智株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。