一种物料传输装置及系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种物料传输装置及系统，所述物料传输装置包括：传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。由于所述物料传输装置使得物料在传输过程中始终保持悬浮状态，故可避免物料发生破碎和被污染；同时，通过所述位置调整单元使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，能够对物料的位置进行调整，故可解决现有物料传输系统定位精度低会偏心的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种物料传输装置及系统
本专利技术涉及光刻设备
，特别涉及一种物料传输装置及系统。
技术介绍
在光刻
中，基板的处理过程中需要进行多种工艺，例如，清洗涂布、曝光、显影等，在各个工序之间需要经过物料传输系统进行传输。现有物料传输系统多采用接触式的传输方法，会污染物料，且通过真空吸附装置、气浮传送台、旋转夹紧机构等实现基板的交接和预对准，存在曝光等待时间长、定位精度低、工作效率低、基板易碎等缺点，在传输过程中会面临碎片的风险，同时会污染物料。另外，通过物料传输系统将物料运输到承载台进行曝光时，只有当承载台尽量布置满，才能达到相对高的产率。然而，实际生产时，物料不仅可能以整板物料存在，也可能以半板物料存在，整板物料由于面积相对较大，而且一般地，面积大小与承载台的承载面的大小相匹配，故可通过现有的物料传输系统将承载台布置满，半板物料却只能通过现有物料传输系统传输至承载台的近端工作区，而不能传输至承载台的远端工作区，故不可能使承载台布置满，因此，产率受到了很大的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种物料传输装置及系统，以解决现有物料传输系统定位精度低物料会偏心、物料存在碎片风险且易被污染的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种物料传输装置，所述物料传输装置包括传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。可选地，在所述的物料传输装置中，所述传输单元包括一振动板以及分别固定于所述振动板的两端下方的两个超声单元，所述振动板用于承载物料，两个所述超声单元分别通过发送和接收超声使得所述振动板和物料之间形成气膜，所述气膜通过给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力使得物料以悬浮状态被传输。可选地，在所述的物料传输装置中，所述位置调整单元包括两组垂向运动组件和两组水平运动组件；每个所述超声单元分别对应一组所述垂向运动组件和一组所述水平运动组件；所述超声单元通过所述垂向运动组件实现垂向运动；以及，通过所述水平运动组件实现水平第二方向的运动。可选地，在所述的物料传输装置中，所述垂向运动组件包括连接板、竖直固定在所述连接板上的弹簧组件和固定在所述连接板上的第一直线电机，所述水平运动组件包括所述连接板、固定在所述连接板下方的滑轨和固定在所述连接板上的第二直线电机；所述连接板通过所述弹簧组件固定于所述超声单元的下方，在所述第一直线电机的作用下带动所述超声单元做垂向运动以及在所述第二直线电机的作用下带动所述超声单元沿着所述滑轨做水平第二方向的运动。一种物料传输系统，其特征在于，所述物料传输系统包括：承载台和如上所述的物料传输装置；所述承载台用于承载经所述物料传输装置传输的物料；所述承载台具有开口，所述物料传输装置的传输单元能够经由所述开口做垂向运动。可选地，在所述的物料传输系统中，所述承载台的上表面分为第一工作区和第二工作区；所述物料传输装置的数量为至少2个，分别包括第一物料传输装置和第二物料传输装置；物料在所述第一物料传输装置的作用下保持悬浮状态传输到所述第一工作区；或，物料依次在所述第一物料传输装置和所述第二物料传输装置的作用下保持悬浮状态经所述第一工作区传输到所述第二工作区。可选地，在所述的物料传输系统中，所述第一物料传输装置一部分设于所述承载台外，另一部分设于所述承载台内且位于所述第一工作区的下方；所述第二物料传输装置设于所述承载台内，且一部分位于所述第一工作区的下方，另一部分位于所述第二工作区的下方。可选地，在所述的物料传输系统中，所述物料传输系统还包括限位组件，用于限制物料的运动。可选地，在所述的物料传输系统中，所述限位组件的数量为4个，其中两个所述限位组件设于所述第一工作区和所述第二工作区交界处，用于限制物料在第一工作区的运动，另外两个所述限位组件设于远离所述第一工作区的所述第二工作区的边缘，用于限制物料在第二工作区的运动。可选地，在所述的物料传输系统中，所述限位组件包括气缸和限位块；所述限位块能够在所述气缸的作用下做垂向运动，当所述限位块上升到所述承载台上方时起到限制物料的运动的作用。在本专利技术提供的物料传输装置及系统中，所述系统包括承载台和所述物料传输装置，所述物料传输装置包括：传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。由于所述物料传输装置使得物料在传输过程中始终保持悬浮状态，故可避免物料发生破碎和被污染；同时，通过所述位置调整单元使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，能够对物料的位置进行调整，故可解决现有物料传输系统定位精度低会偏心的问题。进一步地，所述物料传输系统中，所述物料传输装置的数量为至少2个，包括第一物料传输装置和第二物料传输装置，其中所述第一物料传输装置一部分设于所述承载台外，另一部分设于所述承载台内，所述第二物料传输装置设于所述承载台内，通过所述第一物料传输装置实现整板物料的传输，通过所述第一物料传输装置和所述第二物料传输装置实现两块半板物料的传输，因此，对于同一承载台，不论是半板物料还是整板物料，都可被布置满，即本专利技术提供的物料传输系统解决了现有物料传输系统传输半板物料无法将承载台布置满的问题。附图说明图1是本专利技术实施例提供的物料传输装置的结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的物料传输系统的结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的物料传输系统的另一种结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的限位组件的结构示意图。其中，各附图标记说明如下：1-物料传输装置；11-传输单元；12-位置调整单元；111-振动板；112-超声单元；121-连接板；122-弹簧组件；123-第一直线电机；124-滑轨；125-第二直线电机；2-承载台；21-开口；2a-第一工作区；2b-第二工作区；1a-第一物料传输装置；1b-第二物料传输装置；3-限位组件；31-气缸；32-限位块。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的物料传输装置及系统作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。请参考图1，本实施例提供一种物料传输装置1。所述物料传输装置1包括传输单元11和固定于所述传输单元11下方的位置调整单元12；所述传输单元11用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；所述位置调整单元12用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物料传输装置，其特征在于，所述物料传输装置包括传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；/n所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；/n所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。/n

【技术特征摘要】
1.一种物料传输装置，其特征在于，所述物料传输装置包括传输单元和固定于所述传输单元下方的位置调整单元；
所述传输单元用于给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力以使物料以悬浮状态被传输；
所述位置调整单元用于使所述传输单元做垂向运动和/或水平第二方向的运动，所述水平第二方向和所述水平第一方向相垂直。


2.如权利要求1所述的物料传输装置，其特征在于，所述传输单元包括一振动板以及分别固定于所述振动板的两端下方的两个超声单元，所述振动板用于承载物料，两个所述超声单元分别通过发送和接收超声使得所述振动板和物料之间形成气膜，所述气膜通过给予物料一向上的托力以及一水平第一方向的推力使得物料以悬浮状态被传输。


3.如权利要求2所述的物料传输装置，其特征在于，所述位置调整单元包括两组垂向运动组件和两组水平运动组件；每个所述超声单元分别对应一组所述垂向运动组件和一组所述水平运动组件；所述超声单元通过所述垂向运动组件实现垂向运动；以及，通过所述水平运动组件实现水平第二方向的运动。


4.如权利要求3所述的物料传输装置，其特征在于，所述垂向运动组件包括连接板、竖直固定在所述连接板上的弹簧组件和固定在所述连接板上的第一直线电机，所述水平运动组件包括所述连接板、固定在所述连接板下方的滑轨和固定在所述连接板上的第二直线电机；所述连接板通过所述弹簧组件固定于所述超声单元的下方，在所述第一直线电机的作用下带动所述超声单元做垂向运动以及在所述第二直线电机的作用下带动所述超声单元沿着所述滑轨做水平第二方向的运动。


5.一种物料传输系统，其特征在于，所述物料传输系统包括：承...

【专利技术属性】
技术研发人员：王继明，朱岳彬，廖飞红，张飞，王理华，卢彧文，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31