一种加热器导电纹路制备模具制造技术

一种加热器导电纹路制备模具，该模具包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2)；所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接；所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3)；所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。通过设计该加热器导电纹路制备模具，能够实现在涂层上进行喷砂雕刻，能够得到较为精确的导电隔离区，能够有效避免由于机械加工加热器导致的分层现象。

【技术实现步骤摘要】
一种加热器导电纹路制备模具
本技术涉及材料加工
，尤其是涉及一种加热器导电纹路制备模具。
技术介绍
现有技术中，有技术人员研究开发了一种多层加热器，该种加热器采用CVD法制作，以热解氮化硼为基底，热解石墨(PG)为导电陶瓷涂层，外面覆盖一层热解氮化硼为绝缘层，所用陶瓷材料的纯度均可高达99.999％，高温下热膨胀系数小，气体释放量少，而且为一体结构。但是该多层加热器本身还存在如下缺陷：热解氮化硼衬底与实现导电功能的热解石墨均为层状结构。为了对导电涂层进行加工，现有技术是以机械加工的方式对导电层处理，得到导电纹路，例如采用铣刀对导电层的一部分以切削加工撕裂层的方式去除，得到导电纹路，但是这种方式极易出现由于加工速度过快导致氮化硼层结构破损问题，从而导致氮化硼衬底表层与热解石墨导电层一起脱落的情况。还有的现有技术，在加工时会设置铣刀为高主轴转速，低进给的方式，对导电层进行机械加工，这样虽然在一定程度上可以减弱这种影响，但是会使得加工时间延长数十倍；而且采用这种高转速、低进给的加工方式也会使得加工位置粗糙度过小完成加工后需要对加工位置进行粗化处理，否则会导致最后的氮化硼涂层(绝缘层)出现分层的情况，并且这种加工方式也会使得刀具磨损加快，为了保证加工效果在使用过程需要更换大量的刀具。另外，由于加工速度过快，机械加工方式会使得加热器的导电层与衬底之间有一定的震动，长时间的加工也使得这种震动长时间的存在，这种震动的存在对这种多层结构极为不利，会导致多层结构分离。
技术实现思路
(一)技术目的本技术的目的是提供一种加热器导电纹路制备模具。该模具通过设置有第一模具单体和第二模具单体形成闭合的容纳空间，该空间用于容纳加热器，第一模具单体和第二模具单体的表面设置有通孔，通孔与加热器的导电隔离区对应设置，能够对通孔裸露出来的导电涂层进行喷砂雕刻。通过设计该加热器制备模具，能够实现在涂层上进行喷砂雕刻，能够得到较为精确的导电隔离区，能够有效避免由于机械加工加热器导致的分层现象。(二)技术方案为解决上述问题，一种加热器制备模具，包括第一模具单体和第二模具单体；所述第一模具单体与所述第二模具单体可拆卸连接；所述第一模具单体和第二模具单体围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；第一模具单体和所述第二模具单体的表面均设置有通孔；所述通孔与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。进一步地，所述通孔为长条状，个数设置为多个；在所述通孔的长度方向上，间隔设置有加强筋，所述加强筋连接所述通孔的两侧壁；和/或，所述加强筋的外表面与所述第一模具单体的外壁位于同一个面上，所述加强筋的内表面内缩于所述第一模具单体的内壁；或所述加强筋的外表面与所述第二模具单体的外壁位于同一个面上，所述加强筋的内表面内缩于所述第二模具单体的内壁。进一步地，所述第一模具单体和所述第二模具单体的厚度相同；所述加强筋的厚度为所述第一模具单体厚度的10％-50％。进一步地，所述加强筋的宽度为0.5-10mm。进一步地，所述加强筋在所述通孔的长度方向上按照10-100mm的间距布置。进一步地，所述第一模具单体和所述第二模具单体分别相对设置有与加热器表面的电极孔对应的定位孔，以对所述加热器定位；和/或所述第一模具单体和所述第二模具单体分别相对设置有与加热器表面的安装孔一一对应的定位孔。进一步地，还包括柔性缓冲层；所述柔性缓冲层的一面贴附在所述第一模具单体与所述第二模具单体形成有容纳空间的表面上，另一面与加热器抵接。进一步地，所述柔性缓冲层的厚度为0.05-10mm。进一步地，柔性缓冲层由海绵或喷砂胶带制成。进一步地，第一模具单体的形状为弧形结构；第二模具单体的形状为弧形结构；闭合的容纳空间为圆筒状。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：本技术的实施方式提供的加热器导电纹路制备模具，通过设置有第一模具单体和第二模具单体形成闭合的容纳空间，该空间用于容纳加热器，另外，第一模具单体和第二模具单体的表面设置有通孔，通孔与加热器的导电隔离区对应设置，能够对通孔裸露出来的导电涂层进行喷砂雕刻。通过设计该加热器制备模具，能够实现在涂层上进行喷砂雕刻，能够得到较为精确的导电隔离区，能够有效避免由于机械加工加热器导致的分层现象。附图说明图1是根据本技术第一实施方式的模具的结构示意图；图2是根据本技术第一实施方式的第一模具单体的主视图；图3是图2中A区的放大图；图4是根据本技术第一实施方式的第一模具单体的俯视图；图5是根据本技术第一实施方式的第一模具单体的左视图；图6是根据本技术第二实施方式的加热器制备方法的流程示意图。附图标记：1：第一模具单体；2：第二模具单体；3：通孔；4：加强筋；5：电极定位孔；6：待喷砂衬底；7：柔性缓冲层；8：第一螺母；9：第二螺母；10：弹簧垫片；11：第一螺栓；12：第一弧形垫片；13：垫片；14：第二螺栓；15：第二弧形垫片；16：法兰。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。在附图中示出了根据本技术实施例的结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。本技术的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。图1是根据本技术第一实施方式的模具的结构示意图。图2是根据本技术第一实施方式的第一模具单体的主视图；图3是图2中A区的放大图；图4是根据本技术第一实施方式的第一模具单体的俯视图；图5是根据本技术第一实施方式的第一模具单体的左视图。如图1-图5所示，该一种加热器制备模具包括第一模具单体1和第二模具单体2；第一模具单体1与所述第二模具单体2可拆卸连接；所述第一模具单体1和第二模具单体2围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；所述第一模具单体1和所述第二模具单体2的表面均设置有通孔3；所述通孔3与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。在图1所示的实施方式中，模具是圆筒状，也就是第一模具单体1和第二模具单体2是弧形的结构，例如“瓦片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器导电纹路制备模具，其特征在于，包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2)；/n所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接；/n所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；/n所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3)；/n所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。/n

【技术特征摘要】
1.一种加热器导电纹路制备模具，其特征在于，包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2)；
所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接；
所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；
所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3)；
所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。


2.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，所述通孔(3)为长条状，个数设置为多个；在所述通孔(3)的长度方向上，间隔设置有加强筋(4)，所述加强筋连接所述通孔(3)的两侧壁。


3.根据权利要求2所述的模具，其特征在于，
所述加强筋(4)的外表面与所述第一模具单体(1)的外壁位于同一个面上，所述加强筋(4)的内表面内缩于所述第一模具单体(1)的内壁；或，
所述加强筋(4)的外表面与所述第二模具单体(2)的外壁位于同一个面上，所述加强筋(4)的内表面内缩于所述第二模具单体(2)的内壁。


4.根据权利要求2所述的模具，其特征在于，
所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的厚度相同；
所述加强筋(4)的厚度为所述第一模具单体(1)厚度的10％-50％。


5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，博宇天津半导体材料有限公司，博宇朝阳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11