一种加热器导电纹路制备模具制造技术

一种加热器导电纹路制备模具，该模具包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2)；所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接；所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3)；所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。通过设计该加热器导电纹路制备模具，能够实现在涂层上进行喷砂雕刻，能够得到较为精确的导电隔离区，能够有效避免由于机械加工加热器导致的分层现象。

【技术实现步骤摘要】
一种加热器导电纹路制备模具
本技术涉及材料加工
，尤其是涉及一种加热器导电纹路制备模具。
技术介绍
现有技术中，有技术人员研究开发了一种多层加热器，该种加热器采用CVD法制作，以热解氮化硼为基底，热解石墨(PG)为导电陶瓷涂层，外面覆盖一层热解氮化硼为绝缘层，所用陶瓷材料的纯度均可高达99.999％，高温下热膨胀系数小，气体释放量少，而且为一体结构。但是该多层加热器本身还存在如下缺陷：热解氮化硼衬底与实现导电功能的热解石墨均为层状结构。为了对导电涂层进行加工，现有技术是以机械加工的方式对导电层处理，得到导电纹路，例如采用铣刀对导电层的一部分以切削加工撕裂层的方式去除，得到导电纹路，但是这种方式极易出现由于加工速度过快导致氮化硼层结构破损问题，从而导致氮化硼衬底表层与热解石墨导电层一起脱落的情况。还有的现有技术，在加工时会设置铣刀为高主轴转速，低进给的方式，对导电层进行机械加工，这样虽然在一定程度上可以减弱这种影响，但是会使得加工时间延长数十倍；而且采用这种高转速、低进给的加工方式也会使得加工位置粗糙度过小完成加工后需要对加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器导电纹路制备模具，其特征在于，包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2)；/n所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接；/n所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；/n所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3)；/n所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。/n

【技术特征摘要】
1.一种加热器导电纹路制备模具，其特征在于，包括第一模具单体(1)和第二模具单体(2)；
所述第一模具单体(1)与所述第二模具单体(2)可拆卸连接；
所述第一模具单体(1)和第二模具单体(2)围成有闭合的容纳空间，所述容纳空间用于容纳加热器；
所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的表面均设置有通孔(3)；
所述通孔(3)与加热器的导电隔离区对应设置，用于对通孔裸露出的导电涂层进行喷砂雕刻。


2.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，所述通孔(3)为长条状，个数设置为多个；在所述通孔(3)的长度方向上，间隔设置有加强筋(4)，所述加强筋连接所述通孔(3)的两侧壁。


3.根据权利要求2所述的模具，其特征在于，
所述加强筋(4)的外表面与所述第一模具单体(1)的外壁位于同一个面上，所述加强筋(4)的内表面内缩于所述第一模具单体(1)的内壁；或，
所述加强筋(4)的外表面与所述第二模具单体(2)的外壁位于同一个面上，所述加强筋(4)的内表面内缩于所述第二模具单体(2)的内壁。


4.根据权利要求2所述的模具，其特征在于，
所述第一模具单体(1)和所述第二模具单体(2)的厚度相同；
所述加强筋(4)的厚度为所述第一模具单体(1)厚度的10％-50％。


5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，博宇天津半导体材料有限公司，博宇朝阳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11