一种新型水压传感器制造技术

本实用新型专利技术属于水压传感器技术领域，尤其为一种新型水压传感器，包括基座和陶瓷板，所述陶瓷板的上表面涂覆有胶，所述陶瓷板的上表面通过胶固定连接有PCB总成，所述PCB总成的上表面安装有MEMS，所述MEMS贯穿PCB总成与陶瓷板固定连接，所述陶瓷板的中心位置开设有硅油孔，所述硅油孔的内部设置有硅油，所述MEMS的上表面覆盖有硅凝胶，所述陶瓷板通过胶与基座的内底壁固定连接，所述基座螺纹端的进压口注入硅凝胶。本实用新型专利技术通过先将MEMS、PCB总成和陶瓷板固定成一个独立的模块，然后再通过胶固定在基座的内部，这样可批量使用机器化生产，这样可以有效的控制产品成品率，大大降低产品的成本，通过设置硅油和硅凝胶形成表压硅片，灵敏度高。

A new type of water pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
一种新型水压传感器
本技术涉及水压传感器
，具体为一种新型水压传感器。
技术介绍
水压传感器是工业实践中较为常用的一种压力传感器，其广泛应用于各种工业动化环境、水利水电工程、交通建筑设备、生产自控系统、航空航天技术、船舶技术、输送管道等区域。现有市场上测量水压的传感器大部分采用的芯片大部分是陶瓷压力传感器，这种芯体的灵敏度低，制作的工艺比较复杂，成本也相对不便宜。还有些有用冲油芯体压力传感器，这种芯体成本太高，用在民用市场简直是天价现有的水压传感器存在以下不足：1、现有的水压传感器用冲油芯体压力传感器，这种芯体成本高，不适民用普及；2、现有的水压传感器芯体的灵敏度低，制作的工艺比较复杂。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种新型水压传感器，解决了成本高、灵敏度低和工艺比较复杂的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型水压传感器，包括基座和陶瓷板，所述陶瓷板的上表面涂覆有胶，所述陶瓷板的上表面通过胶固定连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型水压传感器，包括基座(1)和陶瓷板(4)，其特征在于：所述陶瓷板(4)的上表面涂覆有胶(5)，所述陶瓷板(4)的上表面通过胶(5)固定连接有PCB总成(3)，所述PCB总成(3)的上表面安装有MEMS(2)，所述MEMS(2)贯穿PCB总成(3)与陶瓷板(4)固定连接，所述陶瓷板(4)的中心位置开设有硅油孔，所述硅油孔的内部设置有硅油(6)，所述MEMS(2)的上表面覆盖有硅凝胶(7)，所述陶瓷板(4)通过胶(5)与基座(1)的内底壁固定连接，所述基座(1)螺纹端的进压口注入硅凝胶(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型水压传感器，包括基座(1)和陶瓷板(4)，其特征在于：所述陶瓷板(4)的上表面涂覆有胶(5)，所述陶瓷板(4)的上表面通过胶(5)固定连接有PCB总成(3)，所述PCB总成(3)的上表面安装有MEMS(2)，所述MEMS(2)贯穿PCB总成(3)与陶瓷板(4)固定连接，所述陶瓷板(4)的中心位置开设有硅油孔，所述硅油孔的内部设置有硅油(6)，所述MEMS(2)的上表面覆盖有硅凝胶(7)，所述陶瓷板(4)通过胶(5)与基座(1)的内底壁固定连接，所述基座(1)螺纹端的进压口注入硅凝胶(7)。


2.根据权利要求1所述的一种新型水压传感器，其特征在于：所述MEMS(2)通过胶(5)固定在...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鑫，张科俊，
申请(专利权)人：无锡至鑫微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32