一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法,在使用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S)的过程中,在静置的状态下,在浸入到所述沉积液中的CIGS待成品上沉积生长所述缓冲层Zn(O,S)。最优地,静置的同时还将CIGS待成品在溶液以倾斜方式放置。本方法能够改善在利用化学水浴沉积法(CBD)制备Zn(O,S)薄膜时出现的表面不均匀现象,提高基于Zn(O,S)缓冲层的CIGS薄膜太阳能电池的性能。
A method of improving the quality of solar cells with CIS buffer layer
【技术实现步骤摘要】
一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法
本专利技术涉及CIGS薄膜太阳能电池,特别是涉及一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法。
技术介绍
通常,Zn(O,S)薄膜通常在CIGS薄膜太阳能电池中作为缓冲层存在,其薄膜的质量关乎整个电池的性能。但是,在化学水浴沉积法(chemicalbathdeposition,CBD)中,通常在Zn(O,S)薄膜表面会存在大量的白色颗粒或者是团簇,这会影响Zn(O,S)薄膜的表面平整度,从而影响CIGS薄膜太阳能电池的性能,然而这个问题长期被业界忽略。事实上如何去除Zn(O,S)薄膜表面的颗粒或者团簇是一个长期存在的问题。现有的CBD方法中,搅拌或摇动溶液被视作提高质量的常规且有用的实践。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有技术的不足,提供一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法,改善在利用化学水浴沉积法(CBD)制备Zn(O,S)薄膜时出现的表面不均匀现象,提高基于Zn(O,S)缓冲层的CIGS薄膜太阳能电池的性能。为实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法,其中,在使用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S)的过程中,在静置的状态下,控制水浴加热的温度和时间,在浸入到所述沉积液中的CIGS待成品上沉积生长所述缓冲层Zn(O,S)。进一步地:浸入到所述沉积液中的CIGS待成品的放置方式为倾斜放置、水平放置、垂直放置中的任一种,最优选为倾斜放置。所述倾斜放置的倾斜角度在45-90°之间。所述沉积液的配方包括:有络合剂的Zn(AC)2-TAA配方、有络合剂的ZnSO4-TAA配方、无络合剂的Zn(AC)2-TAA配方、无络合剂的Zn(AC)2-TU配方、无络合剂的ZnSO4-TU配方、无络合剂的ZnSO4-TAA配方中的任一种。所述络合剂为C6H8O7·H2O。所述方法具体可以包括以下步骤:步骤一、在衬底上沉积背电极Mo层;步骤二、在Mo层上沉积CIGS光吸收层;步骤三、配置氨水溶液,将步骤二获得的CIGS待成品放入配置好的氨水溶液中,将溶液加热到设定温度,进行刻蚀清洗处理,取出后去离子水清洗,用氮气吹干后真空保存;步骤四、利用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S),沉积结束后取出CIGS待成品,用去离子水清洗,再利用氨水清洗,之后再去离子水清洗并用氮气吹干。步骤五、将步骤四获得的CIGS待成品放置空气中加热预定时间;步骤六、通过磁控溅射沉积镁掺杂的氧化锌(ZnMgO)和掺铝氧化锌(Al:ZnO);步骤七、电子束蒸发Ni-Al栅极。步骤四中,首先取0.04M*37.5ml的醋酸锌溶液和0.52M*2.5ml的柠檬酸溶液混合搅拌5min,然后同时加入0.24M*6.25ml的硫代乙酰胺溶液和14M*18.5ml的氨水溶液,混合搅拌30s,得到沉积液;再将步骤三获得的CIGS待成品浸入到沉积液中,通过水浴加热,加热温度85-90℃,加热时间15-30min。步骤三中,氨水溶液浓度为1M,加热到65℃。步骤五中,将经水浴沉积的CIGS待成品放置在150℃的加热板上,空气中加热2min。一种制作CIGS薄膜太阳能电池的方法,包括制备Zn(O,S)缓冲层的步骤,其中使用前述的方法提高基于所述Zn(O,S)缓冲层的所述CIGS薄膜太阳能电池的性能。本专利技术具有如下有益效果:本专利技术在化学水浴沉积法制备CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)的过程中,通过改善在沉积过程中CIGS待成品的溶液扰动,采用静置的方式进行沉积生长,有利于减少CBD方法生长中带来的表面颗粒问题。而扰动CBD溶液通常会引入大颗粒/簇以吸附在Zn(O,S)薄膜上,导致结的质量降低,光浸泡效应,使器件性能变差。本专利技术有效地改善了上述缺陷。进一步确定,独立于沉积液配方,通过同时优化在沉积过程中CIGS待成品的放置方式和溶液扰动方式(通过设置CIGS衬底的取向和溶液静置/运动),沉积缓冲层Zn(O,S)薄膜与衬底在静态溶液中倾斜可以最小化颗粒/簇的形成,从而在CIGS待成品上产生具有最佳器件性能的均匀和高质量的缓冲层。在最佳的方案中,采用“倾斜+静置”的沉积生长方式,所制备的Zn(O,S)薄膜具有最好的表面平整度,大幅度减小了表面颗粒度,Zn(O,S)薄膜质量最高,制备的CIGS薄膜太阳能电池的性能最好,电池效率是最高的。另外,专利技术人研究发现,在采用不同的沉积液配方(recipes)的制备条件下,本专利技术的方法均具有很好的适用性,尤其是采用“倾斜+静置”的沉积生长方式的适用性最广,经实验测试,这种方式在各类不同配方下均得到最好的电池性能。使用本专利技术的方法制备得到CIGS薄膜太阳能电池,还能够减弱光浸泡效应,尤其是采用“倾斜+静置”的沉积生长方式得到的CIGS薄膜太阳能电池,它的光浸泡效应(Light-soakingeffect)最小。总之,利用本专利技术的方法制备的Zn(O,S)薄膜来制备CIGS薄膜太阳能电池,显著减少了CBD方法生长中带来的表面颗粒,大大提高了CIGS薄膜太阳能电池的效率和稳定性,提升了电池的性能。附图说明图1为使用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S)的水平、垂直、倾斜三种放置方式示意图;图2为使用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S)的水平放置和摇动溶液的组合示意图;图3a至图3g为实例一中各种模式制备的Zn(O,S)薄膜SEM图像;图4为实例一中各种模式制备的基于Zn(Ac)2-TAA的方案制备的电池性能汇总;图5a至图5g为实例一中各种模式制备基于Zn(Ac)2-TAA的方案的电池光浸泡效应数据汇总;图6a至图6c为实例二中各种模式制备的基于ZnSO4-TU的方案的薄膜和电池性能汇总;图7为实例二中各种模式制备的基于ZnSO4-TU的方案的薄膜和电池性能汇总;图8a至图8d为实例三中各种模式制备的基于无络合剂的Zn-TAA的方案制备的薄膜和电池性能汇总;图9为实例三中各种模式制备的基于无络合剂的Zn-TAA的方案的薄膜和电池性能汇总。具体实施方式以下对本专利技术的实施方式作详细说明。应该强调的是,下述说明仅仅是示例性的,而不是为了限制本专利技术的范围及其应用。在一种实施例中,一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法,其中,在使用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S)的过程中,在静置的状态下,控制水浴加热的温度和时间,在浸入到所述沉积液中的CIGS待成品上沉积生长所述缓冲层Zn(O,S)。在不同的实施例中,浸入到所述沉积液中的CIGS待成品的放置方式可以为倾斜放置、水平放置、垂直放置中的任一种,最优选为倾斜放置。即,最佳的实施例为倾斜+静置的模式。如图1本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法,其特征在于,在使用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S)的过程中,在静置的状态下,在浸入到所述沉积液中的CIGS待成品上沉积生长所述缓冲层Zn(O,S)。/n
【技术特征摘要】
1.一种改善CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层Zn(O,S)质量的方法,其特征在于,在使用化学水浴沉积法制备缓冲层Zn(O,S)的过程中,在静置的状态下,在浸入到所述沉积液中的CIGS待成品上沉积生长所述缓冲层Zn(O,S)。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,浸入到所述沉积液中的CIGS待成品的放置方式为倾斜放置、水平放置、垂直放置中的任一种,最优选为倾斜放置。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述倾斜放置的倾斜角度在45-90°之间。
4.根据权利要求1至3任一项所述的方法,其特征在于,所述沉积液的配方包括有络合剂的Zn(AC)2-TAA配方、有络合剂的ZnSO4-TAA配方、无络合剂的Zn(AC)2-TAA配方、无络合剂的Zn(AC)2-TU配方、无络合剂的ZnSO4-TU配方、无络合剂的ZnSO4-TAA配方中的任一种。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述络合剂为C6H8O7·H2O。
6.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、在衬底上沉积背电极Mo层;
步骤二、在Mo层上沉积CIGS光吸收层;
步骤三、配置氨水溶液,将步骤二获得的CIGS待成品放入配置好的氨水溶液中,将溶液加热到设定温度,进行刻蚀清洗处理,取出后去离子水清洗,用氮气吹干后...
【专利技术属性】
技术研发人员:李建民,吴肖,宫俊波,孔一帆,钮佳斌,肖旭东,
申请(专利权)人:香港中文大学,
类型:发明
国别省市:中国香港;81
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