硅片制绒装置制造方法及图纸

本申请提供了一种硅片制绒装置，包括花篮、机械臂、第一反应槽与第二反应槽，所述机械臂或第一反应槽上设有限位杆。所述机械臂用以将所述花篮放入、提出第一反应槽，所述第一反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第一次表面处理，所述第二反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第二次表面处理，所述硅片进行第一次表面处理过程中，所述限位杆位于所述硅片上方，限制硅片移动。本申请硅片制绒装置既能有效避免硅片第一次表面处理过程中出现漂浮移动，又能避免限位杆在后续制程中影响硅片表面处理的均匀性，改善制绒效果与硅片外观。

【技术实现步骤摘要】
硅片制绒装置
本申请涉及光伏生产设备领域，特别涉及一种硅片制绒装置。
技术介绍
制绒是指在硅片表面形成既定的绒面结构，以降低硅片反射率，提高光生电流，采用酸、碱溶液对硅片进行湿法制绒仍是业界的主流工艺方法。黑硅制绒主要包括：预处理去除硅片表面损伤层、金属催化化学腐蚀法(metalcatalyzedchemicaletching，MCCE)制备黑硅、后清洗等步骤。预处理过程所采用的高温碱液与硅片反应极其剧烈，硅片表面会产生大量的气泡，需要在承载硅片的花篮上方设置压杆进行固定，防止硅片漂浮。但，后续MCCE制备黑硅过程中，硅片与槽内药液的反应较为平稳，无漂片隐患，反而会因为压杆在提蓝过程中带液，导致硅片上缘与压杆邻近的位置可能出现竖直方向的黑线；且压杆在长期使用过程中，由于卡齿缺损、脏污等，还会影响压杆下方硅片处的药液均匀性，导致硅片表面形成卡点印。鉴于此，有必要提供一种新的硅片制绒装置。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种硅片制绒装置，能够有效改善硅片制绒效果，使得制绒后的硅片更为均匀美观。为实现上述目的，本申请提供了一种硅片制绒装置，包括花篮、机械臂、第一反应槽与第二反应槽，所述机械臂用以将所述花篮放入、提出第一反应槽，所述第一反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第一次表面处理，所述第二反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第二次表面处理；所述硅片制绒装置还包括设置在所述机械臂或第一反应槽上的限位杆，所述硅片进行第一次表面处理过程中，所述限位杆位于所述硅片上方并用以限制硅片移动。作为本申请的进一步改进，所述机械臂具有沿第一方向相对设置的两个承重架、固定在所述承重架下方的挂钩，所述限位杆设置在两个所述承重架上。作为本申请的进一步改进，所述限位杆沿高度方向可活动设置在所述承重架上。作为本申请的进一步改进，所述机械臂还包括设置在所述挂钩上的压力传感器。作为本申请的进一步改进，所述硅片制绒装置还包括另一机械臂，所述另一机械臂用以将所述花篮放入、提出所述第二反应槽。作为本申请的进一步改进，所述第一反应槽包括槽体与盖板，所述限位杆设置在所述盖板下方。作为本申请的进一步改进，所述限位杆沿高度方向可活动设置在所述盖板上。作为本申请的进一步改进，所述花篮具有沿第一方向相对设置的两个侧壁、连接在两个所述侧壁之间的支撑杆；所述侧壁的上缘向下凹陷形成有配合所述限位杆的卡槽，所述卡槽的底部不低于放置在花篮内的硅片的上缘。作为本申请的进一步改进，所述第一反应槽用以盛放既定浓度、温度的碱溶液。本申请的有益效果是：本申请硅片制绒装置既能有效避免硅片第一次表面处理过程中出现漂浮与位置移动，又能避免限位杆在第二次表面处理及其它后续制程中影响硅片表面的均匀性，改善制绒效果与硅片外观。附图说明图1是本申请硅片制绒装置的结构示意图；图2是本申请硅片制绒装置一较佳实施例中机械臂与花篮的配合示意图；图3是本申请硅片制绒装置的花篮的侧面结构示意图；图4是本申请硅片制绒装置另一较佳实施例的结构示意图；图5是采用本申请硅片制绒装置进行硅片制绒的主要流程示意图。100-硅片制绒装置；10-花篮；11-侧壁；12-支撑杆；111-挂持臂；112-卡槽；113-开口；20-机械臂；21-承重架；22-挂钩；23-连接杆；30-第一反应槽；31-槽体；32-盖板；40-第二反应槽；50-限位杆；60-另一机械臂；200-硅片。具体实施方式以下将结合附图所示的实施方式对本申请进行详细描述。但该实施方式并不限制本申请，本领域的普通技术人员根据该实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本申请的保护范围内。参图1至图3所示，本申请提供的硅片制绒装置100包括用以承载硅片200的花篮10、转移所述花篮10的机械臂20、第一反应槽30与第二反应槽40，所述第一反应槽30用以对放置在所述花篮10内的硅片200进行第一次表面处理，所述第二反应槽40用以对放置在所述花篮10内的硅片200进行第二次表面处理。所述硅片制绒装置100还包括设置在所述机械臂20上的限位杆50，所述机械臂20用以将承载有硅片200的花篮10放入第一反应槽30内进行第一次表面处理，并在所述硅片200完成第一次处理后，将所述花篮10自所述第一反应槽30内提拉出来。所述第一次表面处理过程中的硅片200反应较为剧烈，因而在此反应过程中可能会出现硅片200移动、漂浮等情况。在此，所述硅片200进行第一次表面处理过程中，所述机械臂20上的限位杆50保持在硅片200的上方，限制硅片200移动。换言之，在所述第一次表面处理过程中，所述机械臂20与花篮10保持连接状态。本实施例中，所述第一反应槽30设置为预处理槽，通过其所盛放的既定浓度、温度的碱溶液对硅片200表面进行刻蚀，去除损伤层。第二反应槽40设置为制绒槽，所述硅片200在所述第二反应槽内生成相应的绒面结构，如通过MCCE方法制备得到黑硅绒面。所述第一反应槽30与第二反应槽40之间、所述第二反应槽40后端通常还设有清洗槽，此处不再具体介绍。具体地，所述机械臂20具有沿第一方向相对设置的两个承重架21、固定在所述承重架21下方的挂钩22，所述承重架22上还设有用以安装所述限位杆50的连接杆23，所述限位杆50通过连接杆23安装设置在两个所述承重架21的下方。优选地，所述限位杆50沿高度方向可活动设置在所述承重架21上；所述挂钩22上还可以设置用以检测该挂钩22工作状态的压力传感器。所述花篮10具有沿第一方向相对设置的两个侧壁11、连接在两个所述侧壁11之间的支撑杆12，所述支撑杆12朝向硅片200的一侧通常还设有卡齿。所述侧壁11形成有配合所述挂钩22的挂持臂111，且所述侧壁11的上缘还向下凹陷形成有配合所述限位杆50的卡槽112，所述卡槽112的底部不低于放置在花篮10内的硅片200的上缘。所述挂持臂111的旁侧设有开口113，所述挂钩22自所述开口113移动至挂持臂111的下方，再将花篮10向上提起。特别地，当所述限位杆50固定设置在所述机械臂20上时，所述挂钩22在将花篮10提起时的位置与其在硅片200反应时的位置的高度差大于所述卡槽112的凹陷深度，既能避免所述限位杆50影响挂钩22移动至与挂持臂111相配合，又使得所述挂钩22在将花篮10放入第一反应槽30后，可向下移动，并使得所述限位杆50向下抵压在所述卡槽112内，实现硅片200的良好限位。此处，参图3所示，所述挂钩22与挂持臂111的移动配合过程中具有依次经过第一位置a、第二位置b、第三位置c。其中，所述挂钩22先向下移动至第一位置a；再横向移动至所述挂持臂111下方，向上提拉便可将花篮10提起，此时，所述挂钩22处于第二位置b；所述花篮10放入第一反应槽30后，所述挂钩22向下移动至第三位置c，所述限位杆50抵压至所述卡槽112内。第一位置a、第三位置c两者沿高度方向的间距大于所述卡槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片制绒装置，包括花篮、机械臂、第一反应槽与第二反应槽，其特征在于：所述机械臂用以将所述花篮放入、提出第一反应槽，所述第一反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第一次表面处理，所述第二反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第二次表面处理；所述硅片制绒装置还包括设置在所述机械臂或第一反应槽上的限位杆，所述硅片进行第一次表面处理过程中，所述限位杆位于所述硅片上方并用以限制硅片移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片制绒装置，包括花篮、机械臂、第一反应槽与第二反应槽，其特征在于：所述机械臂用以将所述花篮放入、提出第一反应槽，所述第一反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第一次表面处理，所述第二反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第二次表面处理；所述硅片制绒装置还包括设置在所述机械臂或第一反应槽上的限位杆，所述硅片进行第一次表面处理过程中，所述限位杆位于所述硅片上方并用以限制硅片移动。


2.根据权利要求1所述的硅片制绒装置，其特征在于：所述机械臂具有沿第一方向相对设置的两个承重架、固定在所述承重架下方的挂钩，所述限位杆设置在两个所述承重架上。


3.根据权利要求2所述的硅片制绒装置，其特征在于：所述限位杆沿高度方向可活动设置在所述承重架上。


4.根据权利要求2所述的硅片制绒装置，其特征在于：所述机械臂还包括设置在所述挂钩...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶晓亚，曹芳，邹帅，王栩生，邢国强，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32