一种显示面板的制备方法、显示面板技术

本发明专利技术涉及一种显示面板的制备方法、显示面板，通过曝光、蚀刻工艺在所述缓冲层上设置沟槽，将所述缓冲层分隔成相互独立的单元，使得缓冲层之上的栅极绝缘层、介电层以及钝化层由连续成膜转换为在相互独立的缓冲层上成膜，从而减小栅极绝缘层、介电层以及钝化层的薄膜面积，从而减小独立单元内积累的异质界面应力，以有效防止玻璃基板产生形变，保护玻璃基板，减少破片现象，提高制程可靠性和良品率。

The invention relates to a preparation method and a display panel of a display panel

【技术实现步骤摘要】
一种显示面板的制备方法、显示面板
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种显示面板的制备方法、显示面板。
技术介绍
显示装置可以把计算机的数据变换成各种文字、数字、符号或直观的图像显示出来，并且可以利用键盘等输入工具把命令或数据输入计算机，借助系统的硬件和软件随时增添、删改、变换显示内容。显示装置根据所用之显示器件分为等离子、液晶、发光二极管和阴极射线管等类型。LTPS-TFT(英文全称：LowTemperaturePoly-SiThinFilmTransistor，低温多晶硅薄膜晶体管)具有载流子迁移率高，器件尺寸小等突出优点，是发展低功耗、高集成度显示面板的关键技术。LTPS显示面板的结构类似三明治模型，由不同功能的膜层叠加而成。组成这些膜层的材料按照成分不同可以分为无机材料，包括SiNx，SiOx，Poly-Si；金属材料包括Mo，Ti/Al/Ti合金，Mo/Al/Mo合金以及高分子聚合物。由于显示面板的制备过程中涉及高温制程，不同材料的的晶格常数不一样、热膨胀系数也不一样，因此在高温制程后，不同材料制成的膜层热胀冷缩的尺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括：/n提供一玻璃基板，将所述玻璃基板区分为至少两个显示面板区域以及相邻两个显示面板区域之间的连接区域；/n在所述玻璃基板上制备一缓冲层；/n在所述连接区域的缓冲层上设置至少一沟槽；以及/n在所述缓冲层上制备至少一膜层，且延伸至所述沟槽内。/n

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括：
提供一玻璃基板，将所述玻璃基板区分为至少两个显示面板区域以及相邻两个显示面板区域之间的连接区域；
在所述玻璃基板上制备一缓冲层；
在所述连接区域的缓冲层上设置至少一沟槽；以及
在所述缓冲层上制备至少一膜层，且延伸至所述沟槽内。


2.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，
在所述玻璃基板上制备一缓冲层的步骤之前，还包括
在所述玻璃基板上制备一金属遮光层的步骤；
所述缓冲层设于所述玻璃基板及金属遮光层上。


3.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，
在所述缓冲层上制备至少一膜层的步骤，具体包括：
在所述缓冲层上表面制备栅极绝缘层；
在所述栅极绝缘层上表面制备介电层；以及
在所述介电层上表面制备钝化层。


4.根据权利要求3所述的显示面板的制备方法，其特征在于，
在所述缓冲层上表面制备栅极绝缘层的步骤之前，还包括
在所述缓冲层上制备多晶硅层的步骤；以及
在所述缓冲层上表面制备栅极绝缘层的步骤之后，还包括
在所述栅...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂晓辉，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42