一种用于MPCVD的张紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及MPCVD设备技术领域，具体是一种用于MPCVD的张紧装置，用于解决现有技术中不能及时的测量和调节MPCVD设备中连杆张紧力的问题。本实用新型专利技术包括反应腔体、波导腔体和连杆，所述连杆上还安装有位于波导腔体下方的张紧装置，所述张紧装置包括张紧组件、弹性元件、托盘、预紧件、张紧件和称重传感器，所述称重传感器与显示器电性连接。本实用新型专利技术中由于连杆的张紧力发生变化会导致弹性元件的预紧力发生变化，而通过张紧装置中的重力传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化，从而可以及时的测量出连杆张紧力的变化，进而可以及时的对连杆的张紧力进行调整。

A tension device for MPCVD

【技术实现步骤摘要】
一种用于MPCVD的张紧装置
本技术涉及MPCVD设备
，更具体的是涉及一种用于MPCVD的张紧装置。
技术介绍
金刚石具有极高的硬度和导热率，优异的光学透过性能，高的禁带宽度和场发射特性等极其优异的性质，因此在光学、半导体、真空微电子学、平面显示、机械及航空、航天和国防等领域都有十分广泛的用途。在这些领域的应用，将会对国防、电子、光学和机械等领域的高科技发展带来巨大的经济放益和社会效益。天然的金刚石是比较少的，为了满足需求需要人造金刚石晶体，而制造金刚石晶体可以使用MPCVD设备。如图1所示，现有技术中的MPCVD设备包括反应腔体、波导腔体等，反应腔体和波导腔体被同一连杆穿过，且在连杆的上端安装有平面板，在平面板的底面安装有密封环，密封环可以阻止反应腔体和波导腔体内的气体相互流通，为了使密封环可以更好的对反应腔体和波导腔体进行密封，使反应腔体和波导腔体的气压不相通，就需要给连杆一个向下的预紧力，因此在连杆上位于波导腔体的底面安装有张紧螺母，张紧螺母与连杆通过螺纹连接，从而给连杆一个向下的张紧力，使密封环能对反应腔体和波导腔体间起到更好的密封作用。但是，现有技术中不能及时的测量出连杆的张紧力，时间久了连杆会发生蠕变，从而会使张紧力下降，当连杆向下的张紧力下降后，密封环就不能对反应腔体和波导腔体起到密封作用，从而会使反应腔体和波导腔体内的气压相通。因此，我们迫切的需要一种可以及时测量出连杆的张紧力并能及时的对连杆的张紧力进行调整的张紧装置。
技术实现思路
基于以上问题，本技术提供了一种用于MPCVD的张紧装置，用于解决现有技术中不能及时的测量和调节MPCVD设备中连杆张紧力的问题。本技术中由于连杆的张紧力发生变化会导致弹性元件的预紧力发生变化，而通过张紧装置中的重力传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化，从而可以及时的测量出连杆张紧力的变化，进而可以及时的对连杆的张紧力进行调整。本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：一种用于MPCVD的张紧装置，包括反应腔体和波导腔体，所述反应腔体和波导腔体被同一连杆穿过，所述连杆上还安装有位于波导腔体下方的张紧装置，所述张紧装置包括安装在连杆上的张紧组件，所述张紧组件内开有多个预紧室，每个所述预紧室内均安装有位于竖直方向上的弹性元件，所述张紧组件的底面安装有托盘，所述托盘上安装有与弹性元件一一对应的多个预紧件，所述连杆上还安装有位于托盘底面的张紧件，所述张紧组件的顶面安装有称重传感器，所述称重传感器与显示器电性连接。工作原理：通过预紧件调节弹性元件的预紧力，连杆的张紧力可以通过张紧件调节，由于张紧件安装在托盘的底面，所以张紧件对连杆的张紧力发生变化时，张紧件与托盘之间的预紧力会发生变化，由于预紧件安装在托盘上，预紧件与弹性元件对应并可对弹性元件的预紧力进行调节，所以当张紧件对连杆的张紧力发生变化时，弹性元件的预紧力也会给着发生变化，而称重传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，称重传感器和显示器不涉及改进，使用目前常规称重传感器和常规显示器即可，通过显示器内部对应的处理元件将预紧力信号转换显示出来，这里的显示器可以是电脑，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化。张紧件与连杆是通过螺纹连接的，当看到连杆的张紧力发生变化并需要进行调节时，可以旋转张紧件及时的对连杆的张紧力进行调整，调节到合适的张紧力后，固定张紧件即可。通过上述技术方案，可以通过及时的测量出弹性元件预紧力的变化来测量出连杆张紧力的变化，从而可以及时的对连杆的张紧力进行调整，进而确保反应腔体和波导腔体间良好的密封性。作为一种优选的方式，所述张紧组件包括张紧盘和盖板，所述盖板安装在张紧盘的顶面，所述张紧盘安装在托盘顶面，所述弹性元件与盖板的底面接触。作为一种优选的方式，所述托盘上开有与预紧室一一对应的预紧孔，所述预紧件通过螺纹安装在预紧孔内，所述预紧室内还安装有调节块，所述弹性元件安装在调节块上，所述预紧件与调节块接触。作为一种优选的方式，所述预紧室的数量为六个，六个所述预紧室均匀的开在张紧盘上。作为一种优选的方式，所述连杆上还安装有位于称重传感器顶面的封闭盖，所述封闭盖延伸至反应腔体内。作为一种优选的方式，所述封闭盖包括相互成型为一体的封闭盘和封闭柱，所述封闭盘安装在波导腔体底面，所述封闭柱延伸至波导腔体内。作为一种优选的方式，所述弹性元件为弹簧，所述预紧件为预紧螺栓，所述张紧件为张紧螺母。作为一种优选的方式，所述称重传感器套设在连杆上，且称重传感器通过压差机构可测量波导腔体内的压力。作为一种优选的方式，所述压差机构包括安装在连杆顶面且位于反应腔体内的平面板，所述平面板的底面设有压差腔，所述压差腔和波导腔体通过连接环连通。作为一种优选的方式，所述压差腔的侧壁为安装在平面板底面且可阻隔波导腔体和反应腔体气体流通的封闭环。本技术的有益效果如下：(1)本技术中由于连杆的张紧力发生变化会导致弹性元件的预紧力发生变化，而通过张紧装置中的重力传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化，从而可以及时的测量出连杆张紧力的变化，进而可以及时的对连杆的张紧力进行调整。(2)本技术中在MPCVD的工作过程中，通过称重传感器可以测量波导腔体内压力的数值，通过显示器可实时的监测波导腔体内的压力变化，以便调整工艺参数。(3)本技术中平面板的顶面受到反应腔体内向下的压力，平面板的底面受到波导腔体内向上的压力，由于平面板顶面和底面的面积是已知的，反应腔体内的压力也是已知的，所以平面板顶面和底面的压强变化，可以推导出波导腔体内压力的具体变化。(4)本技术中预紧室的数量为六个，六个预紧室均匀的开在张紧盘上，这样弹簧的预紧力更加均匀，显示在显示器上的预紧力也更加稳定。附图说明图1为本技术现有技术的正面剖视结构简图；图2为本技术的立体结构简图；图3为本技术图2中A-A处的剖视结构简图；图4为本技术张紧装置的立体结构简图；图5为本技术张紧装置的正面结构简图；图6为本技术图5中B-B处剖视结构简图；图7为本技术张紧装置的底面结构简图；图8为本技术封闭盖的立体结构简图；图9为本技术图8中C-C处剖视结构简图；图10为本技术盖板的立体结构简图；图11为本技术张紧盘的立体结构简图；图12为本技术托盘的立体结构简图；附图标记：1波导腔体，2连杆，3连接环，4反应腔体，5平面板，6封闭环，61压差腔，7张紧装置，71预紧件，72托盘，721预紧孔，73张紧盘，731预紧室，74盖板，75称重传感器，76封闭盖，761封闭盘，762封闭柱，77弹性元件，78张紧件，79调节块。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于MPCVD的张紧装置，包括反应腔体(4)和波导腔体(1)，所述反应腔体(4)和波导腔体(1)被同一连杆(2)穿过，其特征在于：所述连杆(2)上还安装有位于波导腔体(1)下方的张紧装置(7)，所述张紧装置(7)包括安装在连杆(2)上的张紧组件，所述张紧组件内开有多个预紧室(731)，每个所述预紧室(731)内均安装有位于竖直方向上的弹性元件(77)，所述张紧组件的底面安装有托盘(72)，所述托盘(72)上安装有与弹性元件(77)一一对应的多个预紧件(71)，所述连杆(2)上还安装有位于托盘(72)底面的张紧件(78)，所述张紧组件的顶面安装有称重传感器(75)，所述称重传感器(75)与显示器电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于MPCVD的张紧装置，包括反应腔体(4)和波导腔体(1)，所述反应腔体(4)和波导腔体(1)被同一连杆(2)穿过，其特征在于：所述连杆(2)上还安装有位于波导腔体(1)下方的张紧装置(7)，所述张紧装置(7)包括安装在连杆(2)上的张紧组件，所述张紧组件内开有多个预紧室(731)，每个所述预紧室(731)内均安装有位于竖直方向上的弹性元件(77)，所述张紧组件的底面安装有托盘(72)，所述托盘(72)上安装有与弹性元件(77)一一对应的多个预紧件(71)，所述连杆(2)上还安装有位于托盘(72)底面的张紧件(78)，所述张紧组件的顶面安装有称重传感器(75)，所述称重传感器(75)与显示器电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述张紧组件包括张紧盘(73)和盖板(74)，所述盖板(74)安装在张紧盘(73)的顶面，所述张紧盘(73)安装在托盘(72)顶面，所述弹性元件(77)与盖板(74)的底面接触。


3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述托盘(72)上开有与预紧室(731)一一对应的预紧孔(721)，所述预紧件(71)通过螺纹安装在预紧孔(721)内，所述预紧室(731)内还安装有调节块(79)，所述弹性元件(77)安装在调节块(79)上，所述预紧件(71)与调节块(79)接触。


4.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述预紧室(731)的数量为六个，...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁博，刘虎，陈实，
申请(专利权)人：四川三三零半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51