一种多功能真空泵测试罩制造技术

本发明专利技术涉及真空泵测试领域，具体地说是一种多功能真空泵测试罩，包括外壳、水冷管、加热丝和反射罩，所述外壳外侧设有水冷管，所述外壳内部设有反射罩和加热丝，所述外壳一端设有可打开的第一密封盖，另一端闭合且设有待测泵口；所述外壳上设有进气口、测温口、测压口、PIV观测口和多个抽气口，其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口和与粗抽泵连接的粗抽口。本发明专利技术集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身，能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求，同时其测试结果的稳定性和准确性也得到提高。

A multifunctional vacuum pump test cover

【技术实现步骤摘要】
一种多功能真空泵测试罩
本专利技术涉及真空泵测试领域，具体地说是一种多功能真空泵测试罩。
技术介绍
近年来，随着半导体电子、光伏、平板显示、半导体照明、太阳能光伏等新兴战略行业的大规模兴起，以及化工、制药和食品包装等传统行业的产业升级，各行业对于真空泵的需求越来越多，并且对于真空泵的要求也越来越苛刻，因此为了保证产品质量，真空泵在出厂前的性能测试愈发重要。目前绝大多数真空泵厂家都需要按照相关技术标准对真空泵产品进行抽气性能指标，抽气性能指标包括抽速、极限真空度、电机功率、噪声等多个指标，而目前进行抽气性能测试时所使用的真空泵测试罩，其结构比较简单，在测试结果的准确度及可靠性方面很难得到保障，并且功能相对单一，大多只能对常温下的气体进行测试。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种多功能真空泵测试罩，集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身，能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求，同时也保证了测试结果的稳定性和准确性。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种多功能真空泵测试罩，包括外壳、水冷管、加热丝和反射罩，所述外壳外侧设有水冷管，所述外壳内部设有反射罩和加热丝，所述外壳一端设有可打开的第一密封盖，另一端闭合且设有待测泵口；所述外壳上设有进气口、测温口、测压口、PIV观测口和多个抽气口，其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口和与粗抽泵连接的粗抽口。所述进气口与一个进气管道相连，且所述进气管道置于所述外壳内，所述进气管道出气端折弯使管道出气口位于外壳的中轴线上，并且所述管道出气口朝向与所述待测泵口相反一侧。所述外壳的内径为D，所述进气管道口径为0.1D。所述测温口内设有测温热电偶，所述测压口内设有真空计。所述测压口设于外壳轴向方向距离闭合端0.5D位置处。所述外壳上设有两个PIV观测口，且沿着所述外壳轴向看去，第一PIV观测口和第二PIV观测口轴线呈90度，其中第一PIV观测口设于外壳上侧，第二PIV观测口与进气口相对分设于外壳两侧。所述加热丝包括中心加热丝和外加热丝，所述中心加热丝沿着外壳中轴线设置且呈螺旋状，外加热丝设于外壳内壁上且设于反射罩内侧，所述外加热丝呈鼠笼状。述外壳内设有不同长度的陶瓷杆，其中中心加热丝通过沿着外壳径向设置的第一陶瓷杆固定，外加热丝和反射罩通过第二陶瓷杆固定于外壳内壁上。所述外壳一侧设有可打开的第一密封盖，另一侧固设有第二密封盖，所述外壳以及第一密封盖和第二密封盖上均设有水冷管，所述主抽气口和粗抽口均设于外壳上且轴线位于同一平面，并且沿着所述外壳轴向看去，所述主抽气口和粗抽口轴线呈90度。所述外壳一侧设有可打开的第一密封盖，另一侧设有带主抽气口的法兰盘，所述外壳上设有与不同粗抽泵相连的粗抽口和侧抽气口，所述粗抽口和侧抽气口轴线处于同一平面，且沿着所述外壳轴向看去，所述粗抽口轴线与侧抽气口轴线呈90度。本专利技术的优点与积极效果为：1、本专利技术集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身，能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求，同时也保证了测试结果的稳定性和准确性。2、本专利技术上的抽气口分为粗抽口和主抽口，其分别与粗抽泵和主泵进行连接，可实现测试罩内不同压力环境下的气体参数测试。本专利技术外壳上的测压口的位置设于外壳轴向方向距离闭合端0.5D位置处，并且测压口的正负90度方向上无进气或出气源，提高了真空计测量结果的准确性，能够更加真实的反应真空泵测试罩内的实际气体压力情况。本专利技术外壳上设有PIV观测口实现了对真空泵测试罩内部流场的可视化，根据示踪粒子的位移矢量可分析气体具体运动规律。3、本专利技术的进气口与一个进气管道相连，且所述进气管道的出气端折弯使管道出气口位于外壳的中轴线上，并且所述管道出气口朝向与待测泵口相反一侧，避免出现外壳内压力不均匀的情况，为测试罩内提供了一个稳定的气体入口环境，降低了由于不断进气对真空泵测试稳定性产生的影响。4、本专利技术的加热丝分为中心加热丝与外加热丝，分区域加热保证了真空罩内的气体加热均匀，并且外加热丝设置成鼠笼状，中心加热丝设置成螺旋状，增大了加热面积，提高加热效率，另外本专利技术设有反射罩，使加热的效果更集中，而且减少了对外壁的加热，防止外壁温度过高对操作人员造成伤害，并且加热丝与反射罩做成分体多段式，方便对测试罩进行清洁维修时的拆装。附图说明图1为本专利技术实施例一的结构示意图；图2为图1中的A-A剖视图；图3为本专利技术实施例二的结构示意图。其中，1为第一密封盖；2为电极口；3为把手；4为锁紧装置；5为吊环；6为第一PIV观测口；7为测温口；8为安全阀口；9为进气口；10为粗抽口；11为第二密封盖；12为第一待测泵口；13为第二待测泵口；14为外壳；15为主抽口；16为预留口；17为放气口；18为水冷管；19为折页；20为密封槽；21为第一陶瓷杆；22为第二PIV观测口；23为反射罩；24为进气管道；241为管道出气口；25为外加热丝；26为测压口；27为第二陶瓷杆；28为中心加热丝；29为法兰盘；30为侧抽气口。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1～3所示，本专利技术包括外壳14、水冷管18、加热丝和反射罩23，所述外壳14外侧设有往复折弯的水冷管18，且所述水冷管18的进水端和出水端与提供循环冷却水的冷却机构相连，所述冷却机构为本领域公知技术，所述外壳14上设有多个法兰口用于实现各种功能，所述外壳14内部设有反射罩23和加热丝，且所述反射罩23设于外壳14内壁上，所述外壳14一端设有可打开的第一密封盖1，另一端闭合且设有待测泵口。如图1～3所示，所述外壳14上设有的多个法兰口包括进气口9、测温口7、测压口26、PIV观测口、放气口17、安全阀口8、预留口16和多个抽气口，其中不同的抽气口分别与不同的抽气泵连接。如图2所示，所述进气口9与一个进气管道24相连，且所述进气管道24置于所述外壳14内，所述进气管道24呈L型且出气端折弯使管道出气口241位于外壳14的中轴线上，并且所述管道出气口241朝向与所述待测泵口相反一侧，以避免出现外壳14内压力不均匀的情况。所述外壳14的内径D根据真空罩的国家标准及外壳的体积进行选取，所述进气管道24口径为0.1D。如图1所示，所述外壳14上设有多个测温口7，每个测温口7内安装测温热电偶，且所述测温口7沿着外壳14轴向等间距设置，且环绕外壳14圆周方向均布，以保证各部分温度测量的精确性。所述测温热电偶为本领域公知技术。如图2～3所示，所述测压口26设于外壳14轴向方向距离闭合端0.5D位置处，并且测压口26周围无进气或出气源口，在所述测压口26内设有真空计用于测量外壳14内压力，所述真空计为本领域公知技术。本专利技术根据测得的温度和压力对真空测试罩内的气体进行温度控制和压力调控，从而可测得真空泵在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功能真空泵测试罩，其特征在于：包括外壳(14)、水冷管(18)、加热丝和反射罩(23)，所述外壳(14)外侧设有水冷管(18)，所述外壳(14)内部设有反射罩(23)和加热丝，所述外壳(14)一端设有可打开的第一密封盖(1)，另一端闭合且设有待测泵口；所述外壳(14)上设有进气口(9)、测温口(7)、测压口(26)、PIV观测口和多个抽气口，其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口(15)和与粗抽泵连接的粗抽口(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多功能真空泵测试罩，其特征在于：包括外壳(14)、水冷管(18)、加热丝和反射罩(23)，所述外壳(14)外侧设有水冷管(18)，所述外壳(14)内部设有反射罩(23)和加热丝，所述外壳(14)一端设有可打开的第一密封盖(1)，另一端闭合且设有待测泵口；所述外壳(14)上设有进气口(9)、测温口(7)、测压口(26)、PIV观测口和多个抽气口，其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口(15)和与粗抽泵连接的粗抽口(10)。


2.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述进气口(9)与一个进气管道(24)相连，且所述进气管道(24)置于所述外壳(14)内，所述进气管道(24)出气端折弯使管道出气口(241)位于外壳(14)的中轴线上，并且所述管道出气口(241)朝向与所述待测泵口相反一侧。


3.根据权利要求2所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述外壳(14)的内径为D，所述进气管道(24)口径为0.1D。


4.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述测温口(7)内设有测温热电偶，所述测压口(26)内设有真空计。


5.根据权利要求1或4所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述测压口(26)设于外壳(14)轴向方向距离闭合端0.5D位置处。


6.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述外壳(14)上设有两个PIV观测口，且沿着所述外壳(14)轴向看去，第一PIV观测口(6)和第二PIV观测口(22)轴线呈90度，其中第一PIV观测口(6)设于外壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘坤，张朔熙，王光玉，孔祥玲，刘志东，迟小宇，谢元华，郝明，巴德纯，
申请(专利权)人：东北大学，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21