一种多功能真空泵测试罩制造技术

本发明专利技术涉及真空泵测试领域，具体地说是一种多功能真空泵测试罩，包括外壳、水冷管、加热丝和反射罩，所述外壳外侧设有水冷管，所述外壳内部设有反射罩和加热丝，所述外壳一端设有可打开的第一密封盖，另一端闭合且设有待测泵口；所述外壳上设有进气口、测温口、测压口、PIV观测口和多个抽气口，其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口和与粗抽泵连接的粗抽口。本发明专利技术集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身，能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求，同时其测试结果的稳定性和准确性也得到提高。

A multifunctional vacuum pump test cover

【技术实现步骤摘要】
一种多功能真空泵测试罩
本专利技术涉及真空泵测试领域，具体地说是一种多功能真空泵测试罩。
技术介绍
近年来，随着半导体电子、光伏、平板显示、半导体照明、太阳能光伏等新兴战略行业的大规模兴起，以及化工、制药和食品包装等传统行业的产业升级，各行业对于真空泵的需求越来越多，并且对于真空泵的要求也越来越苛刻，因此为了保证产品质量，真空泵在出厂前的性能测试愈发重要。目前绝大多数真空泵厂家都需要按照相关技术标准对真空泵产品进行抽气性能指标，抽气性能指标包括抽速、极限真空度、电机功率、噪声等多个指标，而目前进行抽气性能测试时所使用的真空泵测试罩，其结构比较简单，在测试结果的准确度及可靠性方面很难得到保障，并且功能相对单一，大多只能对常温下的气体进行测试。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种多功能真空泵测试罩，集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身，能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求，同时也保证了测试结果的稳定性和准确性。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功能真空泵测试罩，其特征在于：包括外壳(14)、水冷管(18)、加热丝和反射罩(23)，所述外壳(14)外侧设有水冷管(18)，所述外壳(14)内部设有反射罩(23)和加热丝，所述外壳(14)一端设有可打开的第一密封盖(1)，另一端闭合且设有待测泵口；所述外壳(14)上设有进气口(9)、测温口(7)、测压口(26)、PIV观测口和多个抽气口，其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口(15)和与粗抽泵连接的粗抽口(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多功能真空泵测试罩，其特征在于：包括外壳(14)、水冷管(18)、加热丝和反射罩(23)，所述外壳(14)外侧设有水冷管(18)，所述外壳(14)内部设有反射罩(23)和加热丝，所述外壳(14)一端设有可打开的第一密封盖(1)，另一端闭合且设有待测泵口；所述外壳(14)上设有进气口(9)、测温口(7)、测压口(26)、PIV观测口和多个抽气口，其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口(15)和与粗抽泵连接的粗抽口(10)。


2.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述进气口(9)与一个进气管道(24)相连，且所述进气管道(24)置于所述外壳(14)内，所述进气管道(24)出气端折弯使管道出气口(241)位于外壳(14)的中轴线上，并且所述管道出气口(241)朝向与所述待测泵口相反一侧。


3.根据权利要求2所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述外壳(14)的内径为D，所述进气管道(24)口径为0.1D。


4.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述测温口(7)内设有测温热电偶，所述测压口(26)内设有真空计。


5.根据权利要求1或4所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述测压口(26)设于外壳(14)轴向方向距离闭合端0.5D位置处。


6.根据权利要求1所述的多功能真空泵测试罩，其特征在于：所述外壳(14)上设有两个PIV观测口，且沿着所述外壳(14)轴向看去，第一PIV观测口(6)和第二PIV观测口(22)轴线呈90度，其中第一PIV观测口(6)设于外壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘坤，张朔熙，王光玉，孔祥玲，刘志东，迟小宇，谢元华，郝明，巴德纯，
申请(专利权)人：东北大学，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21