【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体行业外延钟罩清洗设备，尤其是涉及组合式钟 罩清洗机。
技术介绍
本组合钟罩清洗机是一种半导体行业必备的钟罩清洗设备，该设备适用于 世界上任何国家生产的多种外延炉管(石英钟罩)的腐蚀清洗，同时也可清洗其它 可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物。目前的钟罩清洗机分为立式、卧式两 类，为了工艺生产的需要清洗多种石英钟罩时，人们不得不同时购买符合多种 规格尺寸钟罩的清洗机，这大大增加了采购成本及日常使用成本。现有的钟罩 清洗机有如下缺陷1)只能单一使用，增加了生产成本；2)清洗不均匀效果 不佳，使用马达电机带动钟罩旋转，腐蚀清洗效果不好，出现机器故障的机率 大，不安全，成本高。3)腐蚀液/水资源使用量大，导致日常使用成本过高；4) 使用过程中密封性能差，容易让酸液气体腐蚀石英钟罩的外壁，减少钟罩使用寿 命，增加使用方成本。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种组合式钟罩清洗机，该清洗机具 有组合兼容功能，能清洗各类石英钟罩，清洗均匀，且采用世界上最先进的二 流体(气体/液体)腐蚀清洗取代马达电机带动钟罩旋转；清洗过程中密封性能 好，能防止酸液气体腐...
【技术保护点】
一种组合式钟罩清洗机，其特征在于：它包括箱体、卧式石英钟罩清洗机和立式石英钟罩清洗机；所述卧式石英钟罩清洗机设置在箱体内左侧，所述立式石英钟罩清洗机设置在箱体的右侧； 所述卧式石英钟罩清洗机从上到下分为电器搁置区、卧式钟罩清洗区、配套零部件清洗区和储液槽放置区； 所述立式石英钟罩清洗机从上到下分为钟罩清洗区、上下二流体喷淋管路和液体回收区和储液槽放置区。
【技术特征摘要】
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