一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法技术

本发明专利技术公开了一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法，涉及电子精密设备清洗技术领域，本发明专利技术包括如下步骤:待清洗部件分类；待清洗部件损耗情况检查；去膜处理；漂洗和超声波浸泡处理；部件干燥处理；清洗后部件复检；喷砂和熔射处理；部件封装，具有能够有效清除生产设备腔体零部件的精密零部件表面沾染的各种各样的膜层、化学物质，实现精密设备零部件的洗净再生，节约更换时间和成本，提高精密设备工作性能的优点。

A precise cleaning method for cavity parts of production equipment in electronic information industry

【技术实现步骤摘要】
一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法
本专利技术属于电子精密设备清洗
，具体涉及一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法。
技术介绍
电子信息行业中用到大量的精密设备，这些精密仪设备的使用环境需要非常高的洁净度要求。伴随半导体、光电显示技术的大力发展，产品集成度不断提高，电子信息行业生产中用到的精密设备的工作环境及保养维护要求不断提高，从最初的10000级洁净室要求，逐步提升至1000级、100级、10级的洁净室要求。然而，生产设备腔体零部件的精密零部件在经过一段时间的使用之后，表面会沾染各种各样的膜层、化学物质等，直接影响到精密设备的工作性能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于：针对现有技术生产设备腔体零部件的精密零部件在经过一段时间的使用之后，表面会沾染各种各样的膜层、化学物质，难以有效清洗的问题，提供一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法。本专利技术采用的技术方案如下：一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法，包括如下步骤，待清洗部件分类：根据精密零本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法，其特征在于,包括如下步骤，/n待清洗部件分类：根据精密零部件的生产工作环境和外部特征，区分密封面、组装孔、工作面、结构面；/n待清洗部件损耗情况检查：检查所述分类过后的各部件，筛选符合使用标准的各部件；/n去膜处理：根据膜层情况，将所述筛选后的各部件进行物理去膜或化学去膜处理；/n漂洗和超声波浸泡处理：将所述去膜处理后的部件进行去离子水进行漂洗和超声波浸泡作业；/n部件干燥处理：使用氮气或压缩空气将所述漂洗和超声波浸泡处理后的部件吹干；/n清洗后部件复检:对干燥处理后的部件进行平坦度、角度、粗糙度复检，确保各部件符合使用标准；/n喷砂和熔射...

【技术特征摘要】
1.一种电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法，其特征在于,包括如下步骤，
待清洗部件分类：根据精密零部件的生产工作环境和外部特征，区分密封面、组装孔、工作面、结构面；
待清洗部件损耗情况检查：检查所述分类过后的各部件，筛选符合使用标准的各部件；
去膜处理：根据膜层情况，将所述筛选后的各部件进行物理去膜或化学去膜处理；
漂洗和超声波浸泡处理：将所述去膜处理后的部件进行去离子水进行漂洗和超声波浸泡作业；
部件干燥处理：使用氮气或压缩空气将所述漂洗和超声波浸泡处理后的部件吹干；
清洗后部件复检:对干燥处理后的部件进行平坦度、角度、粗糙度复检，确保各部件符合使用标准；
喷砂和熔射处理：将复检后的部件进行喷砂和熔射处理；
部件封装：对经过喷砂和熔射处理后的部件进行氮气包装或真空包装，存储备用。


2.如权利要求1所述的电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法，其特征在于，所述漂洗和超声波浸泡处理步骤以及部件干燥处理步骤均在无尘间进行。


3.如权利要求2所述的电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法，其特征在于，所述无尘间等级为100级或10级。


4.如权利要求1所述的电子信息行业生产设备腔体零部件的精密洗净方法，其特征在于，所述漂洗和超声波浸泡处理的具体条件为：漂洗时间5～10s...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠朝先，邱俊，吕先峰，王佳欣，
申请(专利权)人：四川富乐德科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51