【技术实现步骤摘要】
一种适用于多位置顶升顶针的水平可调机构
本技术一种适用于多位置顶升顶针的水平可调机构，属于半导体设备领域。
技术介绍
科技飞速发展，半导体行业日见突出重要的今天，半导体的自动化及要求也越来越高，半导体行业中很多设备都用到了真空机械手传送晶片，然而在真空中配合机械手传送片的机构就是顶针机构。其重要性不言而喻。因为顶针机构一般都是针对特定的机台特定腔体结构及特定设备布局，设计特定的顶针机构。其结构也存在多种多样，应用上都或多或少的存在着各种问题。给设备的使用也造成很大的不变，给客户也造成不小的烦恼。针对诸多老式顶针机构，一般设计结构并不简单，但小问题却不少，比如装配步骤比较复杂，还需要装配的凭经验调节，再装配，比较考验人的经验和动手能力。再如，装配后顶针机构就也很难再调节，很难达到顶针的理想使用状态。常用的一种老式顶针结构，主要包括热台、顶板、顶针、波纹管、连接板、气缸、顶针的驱动气缸与热台独立，气缸可以驱动顶针升或降，热台可以独立升或降，顶针带有蘑菇头，因此当热台上升升高，顶针蘑菇头会跟着热台一起升高，并脱离顶...
【技术保护点】
1.一种适用于多位置顶升顶针的水平可调机构，其特征在于：包括腔室，热台，顶针，顶板,顶针波纹管，气缸，底板座，热台波纹管，顶升机构；所述的腔室内设有热台，热台内设有顶针孔，热台下设有顶板；热台的下端通过热台波纹管与顶升机构相连，热台波纹管底端与顶升机构之间通过法兰相连；顶升机构用于控制热台上下运动；顶针孔内设有顶针，顶针的底端布置在顶板上，顶板的底端设有顶针波纹管，顶针波纹管的底端与气缸相连；顶针波纹管的底端与气缸的驱动端之间设有水平调节机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种适用于多位置顶升顶针的水平可调机构，其特征在于：包括腔室，热台，顶针，顶板,顶针波纹管，气缸，底板座，热台波纹管，顶升机构；所述的腔室内设有热台，热台内设有顶针孔，热台下设有顶板；热台的下端通过热台波纹管与顶升机构相连，热台波纹管底端与顶升机构之间通过法兰相连；顶升机构用于控制热台上下运动；顶针孔内设有顶针，顶针的底端布置在顶板上，顶板的底端设有顶针波纹管，顶针波纹管的底端与气缸相连；顶针波纹管的底端与气缸的驱动端之间设有水平调节机构。
2.根据权利要求1所述的适用于多位置顶升顶针的水平可调机构，其特征在于：所述的水平调节机构包括法兰板，固定螺栓，顶丝，气缸，布置于气缸驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，胡冬冬，程实然，李娜，刘海洋，王铖熠，陈兆超，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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