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本实用新型一种适用于多位置顶升顶针的水平可调机构，属于半导体设备领域。本实用新型适用于多位置顶升顶针的水平可调机构，腔室内设有热台，热台内设有顶针孔，热台下设有顶板；热台的下端通过热台波纹管与顶升机构相连，热台波纹管底端与顶升机构之间通过法...
该专利属于江苏鲁汶仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器有限公司授权不得商用。

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