一种新型移动式锗单晶炉检漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，包括移动机构、检测机构和警报灯，环形检测加持器的内环尺寸与单晶炉炉体的直径相匹配，通过电机动力输出端的齿轮转动带动整个电驱主动位移件沿着限位杆的方向上下移动，从单晶炉的炉顶开始向炉底的方向移动，对整个单晶炉进行环形扫描式检测，硅敏感片环形设置，硅敏感片的移动轨迹形成筒型的检测面，实现漏硅蒸汽的全方位检测，无死角，硅敏感片与警报灯电性连接，当硅敏感片感应到泄漏的硅蒸汽时，触发硅敏感片的警报系统触发，警报灯闪烁提醒工作人员进行维修，工作人员只需进行单次操作即可实现单晶炉炉体的整体检测，减少工作人员的工作量，提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型移动式锗单晶炉检漏装置
本技术涉及单晶炉检漏
，具体为一种新型移动式锗单晶炉检漏装置。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在现有的石墨加热器加热过程中，常常发生由于炉体密封性差二导致的多晶硅等多晶材料泄漏事故，由于硅蒸汽的泄漏无色，工作人员无法及时察觉，所以需要工作人员定期对炉体进行检查，现有的单晶炉检漏装置大多为手持式或者定点检查装置，由工作人员手持检测装置对炉体进行检查，或者定点对易泄漏的位置进行检查，死角多，检测范围不够大，增加了工作人员的工作量，无法及时检查，热场损失高，硅料损耗大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，具备实现漏硅蒸汽的全方位检测，无死角，工作人员只需进行单次操作即可实现单晶炉炉体的整体检测，减少工作人员的工作量，提高检测效率的优点，可以解决现有技术中死角多，检测范围不够大，增加了工作人员的工作量，无法及时检查，热场损失高，硅料损耗大的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，包括移动机构、检测机构和警报灯，移动机构与检测机构固定连接，移动机构包括底部移动轮、同步支底座、限位杆、L型圆弧套板、定位螺母和电驱主动位移件，底部移动轮活动安装在同步支底座的底部，同步支底座的上表面通过法兰固定安装限位杆，限位杆上设有限位螺纹孔，限位螺纹孔的数量与定位螺母的数量相匹配，定位螺母活动安装在L型圆弧套板的外壁上，L型圆弧套板与电驱主动位移件的外壁固定连接，电驱主动位移件包括电驱位移桩、U型平衡架、电机和弧形保持架，电驱位移桩的外壁固定安装U型平衡架，U型平衡架与L型圆弧套板固定连接，电驱位移桩套接在限位杆的外侧，电驱位移桩的右侧安装电机，电机的左端部为动力输出端，电机的右端部与弧形保持架的一端固定连接，弧形保持架套接在检测机构的外侧；检测机构包括环形检测加持器、硅敏感片、安装块和定位孔，环形检测加持器的内壁上固定安装环形设置的硅敏感片，硅敏感片与警报灯电性连接，环形检测加持器的外壁固定安装两组对称设置的安装块，安装块的内部设有三组等距的定位孔，定位孔与定位螺母的位置相匹配。优选的，所述限位杆的右侧面设有轮齿，电机的动力输出端通过锥形齿轮与限位杆的表面轮齿啮合。优选的，所述警报灯固定安装在电驱位移桩的正面外壁上。优选的，所述移动机构设有两组，两组移动机构对称安装在环形检测加持器的两侧。优选的，两组所述移动机构之间通过弧形保持架固定连接，弧形保持架与环形检测加持器的外壁接触连接。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本新型移动式锗单晶炉检漏装置，弧形保持架紧箍在环形检测加持器的外壁上，对环形检测加持器起到限位和支撑作用，环形检测加持器的内环尺寸与单晶炉炉体的直径相匹配，通过电机动力输出端的齿轮转动带动整个电驱主动位移件沿着限位杆的方向上下移动，从单晶炉的炉顶开始向炉底的方向移动，对整个单晶炉进行环形扫描式检测，硅敏感片环形设置，硅敏感片的移动轨迹形成筒型的检测面，实现漏硅蒸汽的全方位检测，无死角，硅敏感片与警报灯电性连接，当硅敏感片感应到泄漏的硅蒸汽时，触发硅敏感片的警报系统触发，警报灯闪烁提醒工作人员进行维修，工作人员只需进行单次操作即可实现单晶炉炉体的整体检测，减少工作人员的工作量，提高检测效率。附图说明图1为本技术的整体结构正视示意图；图2为本技术的移动机构结构示意图；图3为本技术的电机驱动原理示意图；图4为本技术的检测机构结构示意图。图中：1、移动机构；11、底部移动轮；12、同步支底座；13、限位杆；131、限位螺纹孔；14、L型圆弧套板；15、定位螺母；16、电驱主动位移件；161、电驱位移桩；162、U型平衡架；163、电机；164、弧形保持架；2、检测机构；21、环形检测加持器；22、硅敏感片23、安装块；24、定位孔；3、警报灯。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，包括移动机构1、检测机构2和警报灯3，移动机构1与检测机构2固定连接，移动机构1包括底部移动轮11、同步支底座12、限位杆13、L型圆弧套板14、定位螺母15和电驱主动位移件16，底部移动轮11活动安装在同步支底座12的底部，同步支底座12的上表面通过法兰固定安装限位杆13，限位杆13上设有限位螺纹孔131，限位螺纹孔131的数量与定位螺母15的数量相匹配，定位螺母15活动安装在L型圆弧套板14的外壁上，L型圆弧套板14与电驱主动位移件16的外壁固定连接，电驱主动位移件16包括电驱位移桩161、U型平衡架162、电机163和弧形保持架164，电驱位移桩161的外壁固定安装U型平衡架162，U型平衡架162与L型圆弧套板14固定连接，电驱位移桩161套接在限位杆13的外侧，电驱位移桩161的右侧安装电机163，电机163的左端部为动力输出端，电机163的右端部与弧形保持架164的一端固定连接，弧形保持架164套接在检测机构2的外侧，检测机构2包括环形检测加持器21、硅敏感片22、安装块23和定位孔24，环形检测加持器21的内壁上固定安装环形设置的硅敏感片22，硅敏感片22与警报灯3电性连接，环形检测加持器21的外壁固定安装两组对称设置的安装块23，安装块23的内部设有三组等距的定位孔24，定位孔24与定位螺母15的位置相匹配，限位杆13的右侧面设有轮齿，电机163的动力输出端通过锥形齿轮与限位杆13的表面轮齿啮合，警报灯3固定安装在电驱位移桩161的正面外壁上，移动机构1设有两组，两组移动机构1对称安装在环形检测加持器21的两侧，移动机构1之间通过弧形保持架164固定连接，弧形保持架164与环形检测加持器21的外壁接触连接。工作原理：弧形保持架164紧箍在环形检测加持器21的外壁上，对环形检测加持器21起到限位和支撑作用，环形检测加持器21的内环尺寸与单晶炉炉体的直径相匹配，通过电机163动力输出端的齿轮转动带动整个电驱主动位移件16沿着限位杆13的方向上下移动，从单晶炉的炉顶开始向炉底的方向移动，对整个单晶炉进行环形扫描式检测，硅敏感片22与警报灯3电性连接，当硅敏感片22感应到泄漏的硅蒸汽时，触发硅敏感片22的警报系统触发，警报灯3闪烁提醒工作人员进行维修。综上所述：本新型移动式锗单晶炉检漏装置，弧形保持架164紧箍在环形检测加持器21的外壁上，对环形检测加持器21起到限位和支撑作用，环形检测加持器21的内环尺寸与单晶炉炉体的直径相匹配，通过电机163动力输出端的齿轮转动带动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，包括移动机构(1)、检测机构(2)和警报灯(3)，移动机构(1)与检测机构(2)固定连接，其特征在于：所述移动机构(1)包括底部移动轮(11)、同步支底座(12)、限位杆(13)、L型圆弧套板(14)、定位螺母(15)和电驱主动位移件(16)，底部移动轮(11)活动安装在同步支底座(12)的底部，同步支底座(12)的上表面通过法兰固定安装限位杆(13)，限位杆(13)上设有限位螺纹孔(131)，限位螺纹孔(131)的数量与定位螺母(15)的数量相匹配，定位螺母(15)活动安装在L型圆弧套板(14)的外壁上，L型圆弧套板(14)与电驱主动位移件(16)的外壁固定连接，所述电驱主动位移件(16)包括电驱位移桩(161)、U型平衡架(162)、电机(163)和弧形保持架(164)，电驱位移桩(161)的外壁固定安装U型平衡架(162)，U型平衡架(162)与L型圆弧套板(14)固定连接，电驱位移桩(161)套接在限位杆(13)的外侧，电驱位移桩(161)的右侧安装电机(163)，电机(163)的左端部为动力输出端，电机(163)的右端部与弧形保持架(164)的一端固定连接，弧形保持架(164)套接在检测机构(2)的外侧；/n所述检测机构(2)包括环形检测加持器(21)、硅敏感片(22)、安装块(23)和定位孔(24)，环形检测加持器(21)的内壁上固定安装环形设置的硅敏感片(22)，硅敏感片(22)与警报灯(3)电性连接，环形检测加持器(21)的外壁固定安装两组对称设置的安装块(23)，安装块(23)的内部设有三组等距的定位孔(24)，定位孔(24)与定位螺母(15)的位置相匹配。/n...

【技术特征摘要】
1.一种新型移动式锗单晶炉检漏装置，包括移动机构(1)、检测机构(2)和警报灯(3)，移动机构(1)与检测机构(2)固定连接，其特征在于：所述移动机构(1)包括底部移动轮(11)、同步支底座(12)、限位杆(13)、L型圆弧套板(14)、定位螺母(15)和电驱主动位移件(16)，底部移动轮(11)活动安装在同步支底座(12)的底部，同步支底座(12)的上表面通过法兰固定安装限位杆(13)，限位杆(13)上设有限位螺纹孔(131)，限位螺纹孔(131)的数量与定位螺母(15)的数量相匹配，定位螺母(15)活动安装在L型圆弧套板(14)的外壁上，L型圆弧套板(14)与电驱主动位移件(16)的外壁固定连接，所述电驱主动位移件(16)包括电驱位移桩(161)、U型平衡架(162)、电机(163)和弧形保持架(164)，电驱位移桩(161)的外壁固定安装U型平衡架(162)，U型平衡架(162)与L型圆弧套板(14)固定连接，电驱位移桩(161)套接在限位杆(13)的外侧，电驱位移桩(161)的右侧安装电机(163)，电机(163)的左端部为动力输出端，电机(163)的右端部与弧形保持架(164)的一端固定连接，弧形保持架(164)套接在检测机构(2)的外侧；
所述检测机构(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕远芳，
申请(专利权)人：保定三晶电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13