一种靶材检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材检测设备，该检测设备包括底板、垂直固设于该底板第二侧的固定柱、可上下滑动套设于该固定柱上的滑套、可转动套设于该滑套上的轴承、以及与该轴承固定连接并指向该底板方向的千分表，该检测设备还包括固设于该底板顶面第一侧用于夹紧靶材的第一夹板、以及固设于该底板顶面第二侧用于夹紧靶材的第二夹板，该滑套顶端设有贯穿该滑套的至少一个限位螺纹孔、以及与该限位螺纹孔螺接并可与固定柱抵接的限位螺栓。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材检测设备
本技术涉及一种靶材检测设备。
技术介绍
现有的饼状靶材在生产完成后，需要对靶材表面进行平面度检测，而现有技术中所采用平面度检测设备或仪器较为复杂，不便于用户快速进行操作。
技术实现思路
本技术针对现有技术的上述缺陷，提供一种靶材检测设备。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材检测设备，该检测设备包括底板、垂直固设于该底板第二侧的固定柱、可上下滑动套设于该固定柱上的滑套、可转动套设于该滑套上的轴承、以及与该轴承固定连接并指向该底板方向的千分表，该检测设备还包括固设于该底板顶面第一侧用于夹紧靶材的第一夹板、以及固设于该底板顶面第二侧用于夹紧靶材的第二夹板，该滑套顶端设有贯穿该滑套的至少一个限位螺纹孔、以及与该限位螺纹孔螺接并可与固定柱抵接的限位螺栓。在本技术所述的靶材检测设备中，该固定柱表面设有高度刻度线。在本技术所述的靶材检测设备中，该滑套底端设有用于挡止该轴承底端的固定盘。在本技术所述的靶材检测设备中，该底板四周角位置处分别设有用于固定该底板的固定孔。在本技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材检测设备，其特征在于，所述检测设备包括底板、垂直固设于所述底板第二侧的固定柱、可上下滑动套设于所述固定柱上的滑套、可转动套设于所述滑套上的轴承、以及与所述轴承固定连接并指向所述底板方向的千分表，所述检测设备还包括固设于所述底板顶面第一侧用于夹紧靶材的第一夹板、以及固设于所述底板顶面第二侧用于夹紧靶材的第二夹板，所述滑套顶端设有贯穿所述滑套的至少一个限位螺纹孔、以及与所述限位螺纹孔螺接并可与固定柱抵接的限位螺栓。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材检测设备，其特征在于，所述检测设备包括底板、垂直固设于所述底板第二侧的固定柱、可上下滑动套设于所述固定柱上的滑套、可转动套设于所述滑套上的轴承、以及与所述轴承固定连接并指向所述底板方向的千分表，所述检测设备还包括固设于所述底板顶面第一侧用于夹紧靶材的第一夹板、以及固设于所述底板顶面第二侧用于夹紧靶材的第二夹板，所述滑套顶端设有贯穿所述滑套的至少一个限位螺纹孔、以及与所述限位螺纹孔螺接并可与固定柱抵接的限位螺栓。


2.根据权利要求1所述的靶材检测设备，其特征在于，所述固定柱表面设有高度刻度线。


3.根据权利要求1所述的靶材检测设备，其特征在于，所述滑套底端设有用于挡止所述轴承底端的固定盘。


4.根据权利要求1所述的靶材检测设备，其特征在于，所述底板四周角位置处分别设有用于固定所述底板的固定孔。


5.根据权利要求1所述的靶材检测设备，其特征在于，所述第一夹板包括与底板垂直固定连接的第一竖直板、以及与所述第一竖直板顶端固定连接并向第二夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄振，黄松，
申请(专利权)人：苏州东宸先瑞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32