【技术实现步骤摘要】
一种晶圆铁环放置推车
本技术属于半导体晶圆领域，特别涉及一种晶圆铁环放置推车。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。现有技术中，晶圆铁环可以很好的把晶圆固定，使其在生产过程中周转运输时不会把昂贵的晶圆片给弄碰伤、刮花等现象的发生。现有技术中，采用三根截面为圆形的竖直杆将机台上的晶圆铁环的外周固定，但是晶圆铁环的四周还具有四个平面，这四个平面缺少定位组件，导致晶圆铁环的位置容易偏移和移动，当机械手臂来吸取偏移后的铁环时会报警真空异常，原因是机械手臂上的吸嘴未能吸住晶圆铁环导致，从而导致机台无法继续作业，机台存在运行风险。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶圆铁环放置推车，能够方便地转移运输晶圆铁环，防止入料时晶圆铁环的位置偏移，确保机械手臂可以取到晶圆铁环，减少修机时间，提高机台生产效率。本技术的目的是这样实现的：一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环...
【技术保护点】
1.一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面，其特征在于，还包括水平设置的底板，底板下侧设置有至少四个万向轮，底板上设置有摆放架，各片晶圆铁环从上到下依次堆叠放在摆放架上，各晶圆铁环的外圆周方向间隔设置有至少3根定位立杆，每根定位立杆均与晶圆铁环的外边缘相贴合，所述底板的左侧、右侧和后侧均设置有立柱，各立柱上端固定连接有U形顶部支架，每根所述立柱上固定连接有截面为U形的定位件，定位件包括左侧板和右侧板，左侧板和右侧板之间设置有中间板；定位件的左侧板和右侧板分别与相应立柱的左侧面、右侧面相对应，定位件中间板与立...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面，其特征在于，还包括水平设置的底板，底板下侧设置有至少四个万向轮，底板上设置有摆放架，各片晶圆铁环从上到下依次堆叠放在摆放架上，各晶圆铁环的外圆周方向间隔设置有至少3根定位立杆，每根定位立杆均与晶圆铁环的外边缘相贴合，所述底板的左侧、右侧和后侧均设置有立柱，各立柱上端固定连接有U形顶部支架，每根所述立柱上固定连接有截面为U形的定位件，定位件包括左侧板和右侧板，左侧板和右侧板之间设置有中间板；定位件的左侧板和右侧板分别与相应立柱的左侧面、右侧面相对应，定位件中间板与立柱正面相对应，三个定位件中间板的另一侧分别与左定位面、右定位面和后定位面相贴合。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆铁环放置推车，其特征在于，所述摆放架包括两根左右对称的竖直支撑杆，每根支撑杆上均固定连接有水平的支撑条，支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐学飞，陈志远，聂伟，孟强，王坤，苏杨生，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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