下载一种晶圆铁环放置推车的技术资料

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本实用新型公开了半导体晶圆领域内的一种晶圆铁环放置推车,包括若干片晶圆铁环,晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面,还包括底板,底板下侧设置有至少四个万向轮,各片晶圆铁环依次堆叠放在摆放架上,各晶圆铁环的外圆周方向...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。

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