分光滤光器模块、分光相机以及电子机器制造技术

技术编号:24706388 阅读:10 留言:0更新日期:2020-06-30 23:45
提供了一种分光滤光器模块、分光相机以及电子机器,可以高速地切换分光波长。该分光滤光器模块具备:分光滤光器,将与输入的驱动电压相应的波长的光从入射光进行分光并输出;驱动部,基于输入的波长指令值输出所述驱动电压;以及驱动控制部,输出所述波长指令值,并且每次被从外部输入触发信号时变更所述波长指令值。

【技术实现步骤摘要】
分光滤光器模块、分光相机以及电子机器
本专利技术涉及一种分光滤光器模块、分光相机以及电子机器。
技术介绍
以往,已知从入射光对规定波长的光进行分光而输出的分光滤光器模块(例如,参照专利文献1)。专利文献1所记载的分光滤光器模块(色度传感器)具备使由测定对象物反射的反射光中的规定波长的光透过的分光滤光器(波长可变干涉滤光器)以及对分光滤光器施加驱动电压的驱动部(电压施加部)。控制该分光滤光器模块的控制装置向驱动部输出指示目标波长的控制信号。通过驱动部基于控制信号对分光滤光器施加驱动电压,分光滤光器使目标波长的光透过。专利文献1:日本特开2014-56072号公报
技术实现思路
然而,专利文献1所记载的分光滤光器模块在将分光滤光器的透过波长切换为多个波长的情况下,例如需要使用USB等控制线来发送控制信号。具体而言,分光滤光器模块需要从控制装置逐个接收指示各个目标波长的控制信号,而进行基于接收的控制信号的运算处理。因此,难以高速地切换分光滤光器模块的透过波长。本专利技术的分光滤光器模块,其特征在于,具备:将与输入的驱动电压对应的波长的光从入射光进行分光并输出的分光滤光器、基于输入的波长指令值输出所述驱动电压的驱动部、以及输出所述波长指令值并且每次被从外部输入触发信号时变更所述波长指令值的驱动控制部。本专利技术的分光滤光器模块,优选为还具备存储统览多个所述波长指令值的波长列表的存储部,所述驱动控制部输出从所述波长列表选择的所述波长指令值,并且每次被输入所述触发信号时切换所选择的所述波长指令值。本专利技术的分光相机的特征在于,具备上述分光滤光器模块、接受从所述分光滤光器进行了分光的光并输出与该光的强度对应的受光信号的受光部、以及输出所述触发信号并且根据所述触发信号的输出定时取入所述受光信号的受光控制部。本专利技术的电子机器的特征在于,具备上述分光滤光器模块以及输出所述触发信号的触发信号输出部。附图说明图1是示出本专利技术的一实施方式所涉及的分光测定装置的简要结构的方框图。图2是示出所述实施方式的分光滤光器的简要结构的剖面图。图3是示出所述实施方式的波长列表的图。图4是示出所述实施方式的驱动控制部的处理的流程图。图5是示出触发信号和分光滤光器的透过波长的时序图的一例。图6是示出所述实施方式的受光控制部的处理的流程图。图7是示出所述实施方式的变形例所涉及的电子装置的简要结构的方框图。图8是示出触发信号和分光滤光器的透过波长的时序图的其它例。附图标记说明1…分光相机,2…分光滤光器模块,21…存储部,22…驱动控制部,23…驱动电路,3…受光传感器,31…受光部,32…受光控制部,5…分光滤光器,51…第一基板,52…第二基板,521…可动部,522…膜片部,53…粘合层,54…第一反射膜,55…第二反射膜,56…静电致动器,561…第一电极,562…第二电极,6…控制部,61…列表生成部,62…重置部,63…受光值处理部,71…光源,72…触发信号输出部,100…分光测定装置,Di…受光值,G…间隙,L…波长列表,Si…受光信号,St…触发信号,Sw…波长指令信号,V…驱动电压,Vc…波长指令值。具体实施方式以下,对本专利技术的一实施方式所涉及的分光测定装置100进行说明。如图1所示,本实施方式的分光测定装置100具备检测规定波长的光的分光相机1以及控制分光相机1的控制部6。分光相机1对由对象物反射的反射光Lr中规定波长的光Ls进行分光,并将基于分光所得的光Ls而获取的受光值Di发送至控制部6。基于从分光相机1输入的受光值Di,控制部6对光谱信息进行分析。由此,分光测定装置100可以进行对象物的颜色的测定或物质分析。这样的分光测定装置100可以被组装进例如打印机或投影仪等电子机器而进行利用。分光相机1的结构分光相机1可以实施对于来自一点的光的分光测定,也可以获取分光图像。该分光相机1具备从入射光对规定波长的光进行分光的分光滤光器模块2以及接受由分光滤光器模块2进行分光的光并输出受光信号Si的受光传感器3。分光滤光器模块2分光滤光器模块2具备分光滤光器5、存储部21、驱动控制部22以及驱动电路23。分光滤光器5例如是波长可变干涉滤光器。如图2所示,该分光滤光器5具有第一基板51以及第二基板52。第一基板51在与第二基板52相对的面上具有例如通过刻蚀形成的电极配置槽511以及反射膜设置部512。第二基板52具有可动部521、以及设置于可动部521的外周并比可动部521厚度小的膜片部522。该第二基板52在膜片部522的外周通过粘合层53被固定于第一基板51。在分光滤光器5中,设置于第一基板51的反射膜设置部512的第一反射膜54与设置于第二基板52的可动部521的第二反射膜55隔着间隙G相对配置。第一反射膜54和第二反射膜55分别具有导电性并构成用于检测间隙G的电容的电容检测部。另外,设置于第一基板51的第一电极561与设置于第二基板52的第二电极562互相相对配置并构成静电致动器56。在第一电极561和第二电极562之间施加了驱动电压V的情况下,第二基板52的膜片部522发生弯曲而可动部521向第一基板51侧位移。由此,间隙G的尺寸变化,与该间隙G的尺寸对应的波长的光从分光滤光器5中透过。在此,分光滤光器5透过的光的波长(透过波长)对应于施加的驱动电压V的值。回到图1,存储部21存储波长列表L作为用于控制分光滤光器5的数据。图3是示出波长列表L的例子的图。在波长列表L中,分别对应于多个测定波长的多个波长指令值Vc(1)~Vc(n)的统览在与测定序号建立对应的状态下被存储。需要指出,本实施方式中的波长指令值Vc是通过分光滤光器5的间隙G检测的静电电容相关的指令值。驱动控制部22例如由微型计算机构成并向驱动电路23输出波长指令信号Sw。波长指令信号Sw包括存储于波长列表L的波长指令值Vc(1)~Vc(n)中的任意的波长指令值Vc(i)。该驱动控制部22在每次输入触发信号St时,将包含于波长指令信号Sw的波长指令值Vc(i)根据波长列表L进行切换。具体而言,驱动控制部22在每次输入触发信号St时,在波长列表L中选择位于当前选择的波长指令值Vc(i)的下一个测定序号的波长指令值Vc(i+1)作为波长指令信号Sw进行输出。另外,在输入了重置信号Sr的情况下,与当前选择的波长指令值Vc无关,驱动控制部22在波长列表L中选择对应于初始的测定序号的波长指令值Vc(1)进行输出。驱动电路23为本专利技术的驱动部,并基于从驱动控制部22输入的波长指令信号Sw所包括的波长指令值Vc,对静电致动器56施加驱动电压V。另外,驱动电路23构成反馈控制系统,以将通过分光滤光器5的间隙G检测出的静电电容变成对应于波长指令值Vc的静电电容的方式,使施加于静电致动器56的驱动电压V进行增减。由此,将分光滤光器5中的间隙G调整为与测定波长本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分光滤光器模块,其特征在于,具备:/n分光滤光器,将与输入的驱动电压对应的波长的光从入射光进行分光并输出;/n驱动部,基于输入的波长指令值输出所述驱动电压;以及/n驱动控制部,输出所述波长指令值,并且每次被从外部输入触发信号时变更所述波长指令值。/n

【技术特征摘要】
20181220 JP 2018-2380511.一种分光滤光器模块,其特征在于,具备:
分光滤光器,将与输入的驱动电压对应的波长的光从入射光进行分光并输出;
驱动部,基于输入的波长指令值输出所述驱动电压;以及
驱动控制部,输出所述波长指令值,并且每次被从外部输入触发信号时变更所述波长指令值。


2.根据权利要求1所述的分光滤光器模块,其特征在于,
还具备:存储部,存储对多个所述波长指令值进行统览的波长列表,
所述驱动控制部输出从所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:佐野朗笠原秀明
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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