调节阀门装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种调节阀结构及操作方法。所述调节阀结构包括：盖体机构，所述盖体机构包括：具有中央开口的阀门；多个叶片相对于所述中央开口的中心在一开启位置和一关闭位置之间可对称地移动；以及多个杆构件相应地连接所述多个叶片，所述多个杆构件中的每一者以垂直于所述阀门的切线方向设置；以及连接到所述盖体机构的控制器。

【技术实现步骤摘要】
调节阀门装置
本公开总体上涉及调节阀装置，更具体地，涉及用于控制处理室中的排气流的均匀性的调节阀。本申请要求2018年12月20日提交的美国临时专利申请No.62782369的优先权，该临时专利申请通过引用结合在此并且作为说明书的一部分。
技术介绍
在半导体器件制造设备中，摆锤阀通常被设于装备有真空泵系统的制造设备的腔室中来控制气压状态。典型的摆动阀具有圆盘形状。当摆动阀的柄部被沿某个方向(例如，顺时针方向)旋转时，摆动阀可以如同月亮改变月相一般地被电动机以特定速度开启。藉此，处理室中的气体可以由真空泵系统通过摆动阀从处理腔室中排出。然而，因为摆动阀的开口区域的形状不是中心对称的，所以在摆动阀的操作期间可能在腔室中引起气流的紊流。紊流的产生量可能与摆动阀的操作速度呈比例关系。这种气体湍流可能导致制程上问题，例如处理室中部件角度的不对准，并且负面地影响处理制程均匀性，从而导致不期望的缺陷。此外，如果将打开摆动阀的速度放慢，则制程处理时间将会增加，从而影响制造效率。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种调节阀结构及操作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调节阀结构，其特征在于，包括：/n盖体机构，其包括：/n具有中央开口的阀门；/n多个叶片相对于所述中央开口的中心在一开启位置和一关闭位置之间可对称地移动；以及/n多个杆构件相应地连接所述多个叶片，所述多个杆构件中的每一者以垂直于所述阀门的切线方向设置；以及/n连接到所述盖体机构的控制器。/n

【技术特征摘要】
20181220 US 62/7823691.一种调节阀结构，其特征在于，包括：
盖体机构，其包括：
具有中央开口的阀门；
多个叶片相对于所述中央开口的中心在一开启位置和一关闭位置之间可对称地移动；以及
多个杆构件相应地连接所述多个叶片，所述多个杆构件中的每一者以垂直于所述阀门的切线方向设置；以及
连接到所述盖体机构的控制器。


2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，其中所述阀门还包括多个导引轨，其中所述多个杆构件分别设置在所述阀门的所述多个导引轨中。


3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，其中所述多个导引轨道中的每一者具有凸缘，其用于形成所述杆构件的封闭轨道。


4.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，其中所述多个杆构件中的每一者连接到一线性致动器。


5.根据权利要求4所述的结构，其特征在于，其中所述线性致动器为选自包括液压致动器、气动致动器、电致动器、和机械致动器中之一种。


6.根据权利要求1所述的结构，其中当所述盖体机构处...

【专利技术属性】
技术研发人员：金根浩，秋成云，
申请(专利权)人：夏泰鑫半导体青岛有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37