阀装置制造方法及图纸

提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14)，隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通，阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2，50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a)，阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。

Valve unit

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】阀装置
本专利技术涉及一种阀装置、使用该阀装置的流量控制装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造方法。
技术介绍
在半导体制造工艺等各种制造工艺中，为了将准确计量后的处理气体向处理腔室供给，使用了将开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体设备集成化而成的流体控制装置。在上述那样的流体控制装置中，代替管接头，使形成有流路的设置块(以下，称为基块)沿着基板的长度方向配置，在该基块上设置包括连接有多个流体设备、管接头的接头块等的各种流体设备，从而实现集成化(例如，参照专利文献1)。在某种流体控制装置中，分别以预定量向多个载气管线的各载气管线添加被流量控制的处理气体。其目的在于：在处理腔室设置多个气体喷出口，搭上流量比被控制了的载气而输送处理气体，从而对晶圆整个面进行均匀的处理。在该情况下，在长度方向上排列的一组各种流体设备的管线的数量需要为处理气体的种类数量乘以载气管线的数量所得的条数，阻碍了小型化、集成化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-3013号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在各种制造工艺中的处理气体的供给控制中，要求更高的响应性，需要使流体控制装置尽可能地小型化、集成化，并设置在更靠近作为流体的供给目的地的处理腔室的位置。半导体晶圆的大口径化等处理对象物的大型化发展，与之相应地也需要增加自流体控制装置向处理腔室内供给的流体的供给流量。在流体控制装置所使用的阀装置中，在块状的阀体直接形成流体流路。伴随着流体控制装置的小型化，当然也需要阀体的小型化。然而，若使阀体小型化，则难以确保流路的流量并且难以将流路最优地配置。另外，在需要使向阀装置的初级侧的流路流入的处理气体通过阀在次级侧分流为许多个而流出的情况下，需要在阀体形成与分流的数量相应的流路，从而需要使阀体大型化。此外，一般而言，在流过处理气体的分流流路中，需要流动氮气等吹扫气体。若在阀体形成通过阀供给吹扫气体的流路，则需要使阀体进一步大型化。另外，在现有的流体控制装置中，分别存在将处理气体分流的接头和使吹扫气体分流的接头，在流体控制装置的每一条管线设有选择流动哪个气体的阀。因此，用于对处理气体和吹扫气体进行切换的阀需要与管线的数量成比例。再者，在该现有的构造中，进行了减小这样的滞留部的努力：在该滞留部中残留、滞留使得在管线中流过气体时气体的置换性变差的原来的气体。但是，难以消除在流路中的气体不流通的区域形成的滞留部。本专利技术的一个目的在于提供一种能够确保所需的流量且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。本专利技术的其他目的在于提供一种能够维持装置的小型化且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。另外，由此提供一种减少阀的总数而小型化了的流体控制装置。本专利技术的其他目的在于提供一种将气体的滞留抑制在最小限度而对气体的置换性进行改善的阀装置。用于解决问题的方案本专利技术的阀装置是具有块状的阀体的阀装置，所述阀体划定：第1收纳凹部以及第2收纳凹部，其分别内置有第1阀元件以及第2阀元件；初级侧流路，其使所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部分别与所述阀体的外部连通；次级侧流路，其使所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部分别与所述阀体的外部连通；以及连通流路，其连接所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部并且使各所述次级侧流路彼此连通，各所述第1阀元件以及第2阀元件选择性地切换与所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部连接的各所述初级侧流路和所述各次级侧流路之间的连通状态。优选的是，能够采用这样的结构：所述阀体划定相对的上表面和底面、以及在所述上表面和底面之间延伸的侧面，各所述第1阀元件以及第2阀元件具有：阀座，其具有形成于一端面的环状的座面、形成于另一端面的环状的密封面、以及形成于所述座面和密封面的内侧并且将所述一端面以及另一端面贯通的流通流路；阀座支承件，其具有与所述阀座的密封面抵接并且对来自该密封面的按压力进行支承的支承面；以及隔膜，其设置为能够与支承于所述阀座支承件的所述阀座的座面抵接和分离，所述隔膜通过该隔膜与所述阀座的座面之间的间隙而使所述阀座的流通流路和对应的所述次级侧流路连通，所述阀座支承件具有：密封面，其与对应的所述收纳凹部的内壁面的一部分协同动作而将对应的所述初级侧流路和所述次级侧流路之间的连通切断；以及迂回流路，其连接所述初级侧流路和所述阀座的流通流路。更加优选的是，能够采用这样的结构：各所述初级侧流路在所述阀体的底面开口，各所述次级侧流路包括在所述阀体内分支为多个的多个分支流路，各所述多个分支流路在所述阀体的上表面、底面以及侧面中的任一者开口。更加优选的是，能够采用这样的结构：所述次级侧流路和所述连通流路沿着所述阀体的长度方向延伸并且形成于共用的轴线上。另外，也能够构成为：一端部与所述第1收纳凹部连接的次级侧流路的另一端部在所述阀体内封闭，一端部与所述第2收纳凹部连接的次级侧流路的另一端部在所述阀体的侧面开口。本专利技术的流量控制装置是对流体的流量进行控制的流量控制装置，其是包括上述阀装置的流量控制装置。本专利技术的流量控制方法是在处理气体的流量控制中使用上述结构的阀装置的流量控制方法。本专利技术的流体控制装置是排列有多个流体设备的流体控制装置，所述多个流体设备包括上述阀装置。本专利技术的半导体制造方法在需要在密闭的腔室内利用处理气体进行处理工序的半导体装置的制造工艺中，在所述处理气体的流量控制中使用上述的阀装置。本专利技术的半导体制造装置具有向处理腔室供给处理气体的流体控制装置，所述流体控制装置包括多个流体设备，所述流体设备包括上述的阀装置。专利技术的效果根据本专利技术，由于构成为在阀体设置收纳凹部，在该收纳凹部收纳阀座支承件，将初级侧流路和次级侧流路之间的连通切断，另一方面，利用阀座支承件的迂回流路连接初级侧流路和支承于阀座支承件的阀座的流通流路，因此初级侧流路和次级侧流路只要与收纳凹部连接即可，能够飞跃性地提高初级侧流路和次级侧流路的配置的自由度。另外，根据本专利技术，通过利用连通流路使第1次级侧流路以及第2次级侧流路彼此连通，能够使分别自各初级侧流路流入的流体通过第1阀元件以及第2阀元件而向与第1收纳凹部连接的次级侧流路和与第2收纳凹部连接的次级侧流路这两者流动，能够将来自各初级侧流路的流体分流为许多个并且也能够实现阀体的小型化。另外，根据本专利技术，对处理气体和吹扫气体进行切换的阀元件被共用于多个流体控制装置的管线，削减流体控制装置的阀元件的总数，能够低成本化。另外，根据本专利技术，由于即使在通过第1阀元件以及第2阀元件中的任一者而使流体流通的情况下，气体也会在各次级侧流路和连通流路的全部流路中流动，因此能够将滞留部的形成抑制在最小限度，能够大幅度地改善流体的置换性。附图说明图1A本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀装置，其是具有块状的阀体的阀装置，其中，/n所述阀体划定：第1收纳凹部以及第2收纳凹部，其分别内置有第1阀元件以及第2阀元件；初级侧流路，其使所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部分别与所述阀体的外部连通；次级侧流路，其使所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部分别与所述阀体的外部连通；以及连通流路，其连接所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部并且使各所述次级侧流路彼此连通，/n各所述第1阀元件以及第2阀元件选择性地切换与所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部连接的各所述初级侧流路和所述各次级侧流路之间的连通状态。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171031 JP 2017-2103911.一种阀装置，其是具有块状的阀体的阀装置，其中，
所述阀体划定：第1收纳凹部以及第2收纳凹部，其分别内置有第1阀元件以及第2阀元件；初级侧流路，其使所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部分别与所述阀体的外部连通；次级侧流路，其使所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部分别与所述阀体的外部连通；以及连通流路，其连接所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部并且使各所述次级侧流路彼此连通，
各所述第1阀元件以及第2阀元件选择性地切换与所述第1收纳凹部以及第2收纳凹部连接的各所述初级侧流路和所述各次级侧流路之间的连通状态。


2.根据权利要求1所述的阀装置，其中，
所述阀体划定相对的上表面和底面、以及在所述上表面和底面之间延伸的侧面，
各所述第1阀元件以及第2阀元件具有：
阀座，其具有形成于一端面的环状的座面、形成于另一端面的环状的密封面、以及形成于所述座面和密封面的内侧并且将所述一端面以及另一端面贯通的流通流路；
阀座支承件，其具有与所述阀座的密封面抵接并且对来自该密封面的按压力进行支承的支承面；以及
隔膜，其设置为能够与支承于所述阀座支承件的所述阀座的座面抵接和分离，
所述隔膜通过该隔膜与所述阀座的座面之间的间隙而使所述阀座的流通流路和对应的所述次级侧流路连通，
所述阀座支承件具有：密封面，其与对应的所述收纳凹部的内壁面的一部分协同动作而将对应的所述初级侧流路和所述次级侧流路之间的连通切断；以及迂回流路，其连接所述初级侧流路和所述阀座的流通流路。


3.根据权利要求2所述的阀装置，其中，
各所述初级侧流路在所述阀体的底面开口，
各所述次级侧流路包括在所述阀体内分支为多个的多个分支流路，
各所述多个分支流路在所述阀体的上表面、底面以及侧面中的任一者开口。


4.根据权利要求2或3所述的阀装置，其中，
所述次级侧流路和所述连通流路沿着所述阀体的长度方向延伸并且形成于共用的轴线上。


5.根据权利要求4所述的阀装置，其中，
一端部与所述第1收纳凹部连接的次级侧流路的另一端部在所述阀体内封闭，
一端部与所述第2收纳凹部连接的次级侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边一诚，执行耕平，相川献治，中田知宏，松田隆博，篠原努，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP