【技术实现步骤摘要】
拉杆带刻度的短路活塞
本技术属于微波元器件
,具体涉及一种拉杆带刻度的短路活塞。
技术介绍
微波系统是由许多作用不同的微波无源器件和有源电路组成的,微波元件的功能在于对微波信号进行各种变换。具有代表性的几组微波无源元器件,主要有:连接匹配元件、功率分配元器件、微波谐振元件和微波铁氧体器件,连接匹配元件包括:终端负载元件、微波连接元件、阻抗匹配元件,而终端负载元件包括:短路负载、匹配负载和失配负载。短路负载是实现微波系统短路的器件,对金属波导最方便的短路负载是在波导终端接上一块金属片,但在实际微波系统中往往需要改变终端短路面的位置,即需要一种可移动的短路面,这就是短路活塞。短路活塞又称为短路负载,是一种可调式短路器,在微波系统中的作用是将电磁能量反射回去。短路活塞内部设置有可移动的滑块,由此来改变短路面的位置。目前在微波等离子体化学气相沉积设备(MPCVD)中,在设备要调节负载匹配或要进行等离子体火球调试时,要通过调节短路活塞来调整设备内的微波反射功率。如图1为一种圆柱谐振式微波等离子体化学气相沉积反应腔 ...
【技术保护点】
1.一种拉杆带刻度的短路活塞,其特征在于,包括:腔体、滑块、拉杆,所述滑块具有短路面,所述滑块可滑动地设于所述腔体内,所述拉杆的一端连接所述滑块、另一端伸出所述腔体,所述拉杆的伸出所述腔体的一侧标有刻度线,所述刻度线用于指示所述滑块在所述腔体内的移动位置。/n
【技术特征摘要】
1.一种拉杆带刻度的短路活塞,其特征在于,包括:腔体、滑块、拉杆,所述滑块具有短路面,所述滑块可滑动地设于所述腔体内,所述拉杆的一端连接所述滑块、另一端伸出所述腔体,所述拉杆的伸出所述腔体的一侧标有刻度线,所述刻度线用于指示所述滑块在所述腔体内的移动位置。
2.如权利要求1所述的拉杆带刻度的短路活塞,其特征在于,还包括:紧固旋钮,所述腔体的靠近所述刻度线的一侧设有螺纹孔,所述紧固旋钮与腔体螺纹连接,所述紧固旋钮经由所述螺纹孔固定所述拉杆。
3.如权利要求1所述的拉杆带刻...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄翀,范杰,
申请(专利权)人:长沙新材料产业研究院有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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